一种避免边缘长瘤的靶材结构，包括：靶材，包括与带电粒子发生碰撞的溅射面，所述溅射面的尺寸与所述带电粒子束宽相当；背板，用于固定所述靶材。本发明通过使所述溅射面尺寸与所述带电粒子束宽相当，使所述靶材结构的溅射面位于带电粒子撞击密度较大的中...

一种加工螺纹的方法、靶材组件的制作方法以及靶材组件，靶材组件的制作方法包括：在对靶材和背板进行焊接之前，在靶材的焊接面上涂布润滑剂，对所述焊接面进行车削加工，在所述焊接面上形成螺纹，在所述焊接面上形成螺纹的步骤中，所述润滑剂能够在车削加...

本发明提供一种滚花刀和滚花系统，包括：刀杆，刀杆包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的压花端，刀杆用以实现机床进给；滚花单元，滚花单元套装在刀杆上，用于对环件结构断口进行表面滚花处理；锁紧装置，位于刀杆的压花端，用于使滚花单元固定于刀...

一种钼钛靶材的制造方法，包括：提供钼粉和钛粉；将所述钼粉和所述钛粉进行混合，形成混合粉末；采用保温温度为1200℃～1300℃的真空热压工艺将所述混合粉末制成钼钛靶材坯料；将所述钼钛靶材坯料制成钼钛靶材。本发明通过采用真空热压工艺，将经...

一种铬钼靶材的制造方法，包括：提供铬粉和钼粉；将所述铬粉和所述钼粉进行混合，形成混合粉末；采用保温温度为1300℃～1400℃的真空热压工艺将所述混合粉末制成铬钼靶材坯料；将所述铬钼靶材坯料制成铬钼靶材。本发明通过采用真空热压工艺，将经...

一种靶材结构的制作方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为铌或铌合金；对所述靶材表面进行活化处理；用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将具有所述金属镀层的靶材焊接至背板。在铌或铌合金靶材的焊接面上化学镀形成金属镀层，利...

一种表面翘曲度测量装置及方法，其中表面翘曲度测量装置包括：基座；架设在基座上的移动机构；测量机构，包括：测量部和从测量部伸出的探针；测量部与移动机构连接，探针用于接触待测表面、并受待测表面的压力而朝测量部内移动，测量部用于测量探针的移动...

一种靶材的回收方法，提供靶材组件，所述靶材组件包括背板和与所述背板连接的靶材；提供磨床，所述磨床具有载物台和磨头，所述载物台的台面与所述磨头的磨削面相对，将所述靶材组件放置在所述载物台上，所述靶材与所述载物台接触，所述磨头与所述背板接触...

本发明提供一种CrMo合金的成型方法，包括：提供Cr粉末、Mo粉末和包套；混合Cr粉末和Mo粉末，形成CrMo混合粉末；将CrMo混合粉末放置入包套中，对所述CrMo混合粉末进行预压；封闭包套并抽真空；对所述包套内CrMo混合粉末进行热...

本发明提供一种环件结构及其制作方法，环件结构包括：环形体部，环形体部的外圆周面与两个圆环形端面之间，以及内圆周面与两个圆环形端面之间均呈圆角连接，圆角的圆角半径小于外圆周面宽度的一半。环件结构的制作方法包括：形成环形体部；进行倒角处理，...

本发明提供一种靶材检测平台、靶材检测装置以及靶材检测方法，所述靶材检测平台为长方体；在所述靶材检测平台的上表面设有两个沿长方形上表面的宽度方向，且相互平行的条形凹槽，用于在叉车将靶材放置在靶材检测平台上表面时，容纳叉车的叉条。因此，在采...

本发明提供一种钨钛靶材组件的焊接方法，包括：提供钨钛靶材、铜背板和中间层；将所述钨钛靶材、中间层和铜背板置于真空包套内并使所述中间层与所述钨钛靶材的待焊接面和铜背板的待焊接面贴合；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材、中间层和铜背板焊接在一起...

一种保持环的制作方法，包括：提供受损保持环，所述受损保持环包括环状基盘和与所述环状基盘粘合的受损树脂环，所述受损树脂环的高度有所减小；将所述环状基盘与所述受损树脂环分离；提供非受损树脂环；将所述环状基盘与所述非受损树脂环粘合。采用本发明...

一种冷却液循环系统，包括：储液箱，包括储液箱入液口和储液箱出液口；进液泵，包括进液泵入液口和进液泵出液口，进液泵入液口与储液箱出液口连接；真空热压炉，包括真空热压炉入液口和真空热压炉出液口，进液泵出液口与真空热压炉入液口连接；地下冷却液...

本发明提供了一种透光基板的镀膜方法，包括采用晶粒尺寸小于或等于50μm的靶材，进行磁控溅射工艺，在透光基板的表面形成镀膜层，在磁控溅射工艺中，因为靶材较小的晶粒尺寸，在体积恒定的靶材内，增加了晶界数量，因为在晶界上的原子之间作用力较大，...

本发明提供一种金属铬的结构显示方法，包括：在提供金属铬后，以采用体积百分比浓度为30～40％的盐酸作为浸蚀液，对金属铬进行浸蚀处理。体积百分比浓度为30～40％的盐酸可有效地溶解金属铬表面的非晶相，并基于各晶粒间原子排列规律性较差，且具...

一种靶材的脱焊方法，包括：提供靶材，所述靶材包括靶坯和背板，所述靶坯内嵌焊接于所述背板中，内嵌焊接有所述靶坯的背板表面为背板正面，所述背板的另一面为背板背面；提供油压机，所述油压机包括油压机平台和油压机机头；将所述靶材悬空固定在油压机平...

本发明提供一种靶材加工方法，包括：提供靶材，靶材包括待喷砂区域以及不需要喷砂的保留区域；至少在靶材保留区域靠近待喷砂区域的部分，以及部分待喷砂区域粘贴保护层；去除位于待喷砂区域的保护层，以完全露出靶材的待喷砂区域；对靶材的待喷砂区域进行...

一种钛靶材的溅射表面加工方法，包括：对溅射表面进行第一进给，第一进给过程的进给量小于等于0.6mm；对溅射表面进行至少一次第二进给，至钛靶材厚度达到目标厚度，每次第二进给过程的进给量小于第一进给过程的进给量。在本方案中，第一进给过程的进...

本发明提供了一种靶材组件结构和磁控溅射系统。所述靶材组件结构包括：背板和固定在所述背板的焊接面上的靶材。在所述背板的焊接面上，设有环绕所述靶材的密封圈；在所述背板的焊接面上，位于所述靶材的周侧设有垫片，所述垫片凸起于所述焊接面；而且所述...