一种靶材的制作方法，包括：提供第一靶材坯料；对所述第一靶材坯料进行锻打，形成第二靶材坯料；对所述第二靶材坯料进行静压，形成第三靶材坯料；对所述第三靶材坯料进行压延，形成第四靶材坯料；对所述第四靶材坯料进行热处理，形成靶材。采用本发明的技...

一种背板的形成方法和背板。其中背板的形成方法包括：提供底板和盖板，所述底板面向所述盖板一侧的表面为底板顶面，所述底板顶面为平面，所述盖板底面为平面，所述盖板的底部具有冷却水道槽状结构；所述冷却水道槽状结构与所述底板组成冷却水道；利用钎焊...

一种靶材焊接夹具和靶材焊接方法，所述靶材焊接夹具包括：盖板和基座。所述基座包括上端开口的凹槽；盖板覆盖在凹槽上方，且在盖板和基座之间设有固定机构。在采用靶材焊接夹具进行靶材焊接过程中，背板放置在基座的凹槽内，且背板的焊接面朝上，靶材坯料...

一种钛聚焦环的制造方法，包括：提供高纯钛锭；对所述高纯钛锭进行加工形成钛条；对所述钛条进行整平处理；对所述钛条进行切割形成钛板条；对所述钛条或者所述钛板条进行热处理；对所述钛板条进行加工形成钛聚焦环。所述制造方法通过对钛条进行了整平处理...

一种靶材的机械加工方法，包括：对靶材坯料溅射面和背面的平面整平加工工艺，以及对于靶材坯料各个侧面的侧面加工工艺，从而使得靶材坯料的厚度达预定厚度，靶材坯料溅射面和背面的平面尺寸达到预定平面尺寸。其中，对靶材坯料溅射面和背面的平整化处理工...

一种钨靶材组件的焊接方法，包括：提供钨靶材和铜背板；在所述钨靶材的焊接面车削螺纹；在所述铜背板中形成凹槽；将所述钨靶材安装至所述凹槽中；采用热等静压法将所述钨靶材和铜背板进行焊接。所述焊接方法通过在钨靶材焊接面车削螺纹，在铜背板中形成凹...

一种钼硅靶材的制作方法，包括：提供钼粉末和硅粉末，将所述钼粉末和所述硅粉末进行混合，形成钼硅混合粉末；采用热压工艺将所述钼硅混合粉末烧结成型，形成钼硅靶材。采用本发明的方法形成的钼硅靶材的致密度很高、内部组织结构和内部晶粒尺寸均匀，纯度...

一种靶材组件的制作方法和靶材组件，其中靶材组件的制作方法，包括：提供第一靶材组件坯料，所述第一靶材组件坯料包括背板和固定在背板上的靶材；对所述第一靶材组件坯料进行第一机械加工，形成第二靶材组件坯料，所述第二靶材组件坯料的背板表面光滑；对...

一种靶材的喷砂方法，包括：提供靶材，所述靶材包括喷砂区；对所述喷砂区进行两次以上的喷砂处理，且前一次喷砂处理中采用的砂粒尺寸大于后一次喷砂处理中采用的砂粒尺寸。本发明可以精确控制喷砂的粗糙度，避免喷砂的粗糙度过低或过高，且能够保证喷砂区...

一种铬靶材的制造方法，包括：采用热压烧结工艺，在预设温度为1100～1300℃，预设压强大于30MPa的条件下，对铬粉末进行致密化处理，形成铬靶材坯料；之后冷却所述铬靶材坯料，形成铬靶材。采用上述技术方案，可形成致密度高达99.5%，平...

一种背板的形成方法和背板。其中背板的形成方法包括：提供底板、盖板和接头，所述底板具有容纳所述盖板的凹槽，所述盖板底部具有冷却水道，所述盖板顶部具有容纳所述接头的接头安装槽，所述接头安装槽与所述冷却水道的进水口和出水口相通；利用钎焊工艺将...

一种靶材的形成方法，包括：提供具有第一厚度的第一靶材坯体；对所述第一靶材坯体进行至少两次粗车，形成具有第二厚度的第二靶材坯体；对所述第二靶材坯体进行精车，得到靶材。本发明提供的靶材的形成方法有利于得到溅射速率稳定的靶材。

一种靶材组件及其形成方法，其中靶材组件的形成方法包括：提供靶材和背板，在所述靶材背面具有凸部，在所述背板上表面具有凹槽，或者在所述靶材背面具有凹槽，在所述背板上表面具有凸部；将所述靶材背面与背板上表面进行焊接，所述凸部嵌入所述凹槽。与现...

本发明提供一种金相腐蚀剂及金相组织显示方法，其中，金相组织的显示方法，包括：提供铌或铌合金金相试样；对所述铌或铌合金金相试样进行机械研磨；对机械研磨后的铌或铌合金金相试样进行机械抛光；将机械抛光后的铌或铌合金金相试样浸入金相腐蚀剂，所述...

一种钨靶材的制作方法，包括：提供钨靶材坯料，所述钨靶材坯料包括溅射面和背面；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行粗磨；采用金刚石砂轮对所述溅射面和所述背面进行半精磨；采用金刚石砂轮对所述溅射面进行精磨。本发明钨靶材的制作方法能够减少...

本发明提供一种溅射靶材及其制作方法，所述溅射靶材包括：靶材组件，具有溅射面以及围绕所述溅射面的密封面；密封槽，开设于所述靶材组件密封面上，用于容纳密封部件；多于4个的排气槽，开设在所述靶材组件的密封面上，所述排气槽与所述密封槽相连通，用...

本发明提供了一种钽靶材的制造方法。包括，先对钽锭进行热锻处理，之后对所述热锻处理后的钽锭进行一次退火工艺，形成第一钽靶材坯料；对所述第一钽靶材坯料进行轧制处理，形成第二钽靶材坯料；对所述第二钽靶材坯料进行二次退火工艺，获得钽靶材。采用上...

一种焊接平台的加热板及焊接平台的制作方法、焊接平台，其中，焊接平台，用于焊接靶材与背板，包括：底座，所述底座具有支撑面；位于所述支撑面的至少两个加热板，相邻的加热板之间具有间隔。本发明提供的焊接平台使操作人员操作叉车臂伸入所述间隔，在间...

一种靶材组件的制造方法，包括以下步骤：提供靶材与背板；对所述靶材的焊接面进行加工，在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出；对所述背板的焊接面...

本发明提供了一种赛隆陶瓷靶材的制作方法。包括：提供包括氮化硅、氧化铝、氮化铝、助烧剂以及导电剂的原料粉末；并将所述原料粉末混合均匀后，进行热压烧结处理，形成赛隆陶瓷靶材。采用本发明制得的赛隆陶瓷具有良好的导电性和导热性能，从而在线丝切割...