滚花刀和滚花系统技术方案

本发明专利技术提供一种滚花刀和滚花系统，包括：刀杆，刀杆包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的压花端，刀杆用以实现机床进给；滚花单元，滚花单元套装在刀杆上，用于对环件结构断口进行表面滚花处理；锁紧装置，位于刀杆的压花端，用于使滚花单元固定于刀杆上。本发明专利技术通过刀杆实现滚花单元与机床的连接，滚花单元套装在刀杆上，并通过锁紧装置进行固定。滚花单元与刀杆之间配合，通过机床进给，使滚花单元与环件结构断口表面产生挤压，实现滚花单元对环件结构断口表面的滚花处理。通过机床进给滚花刀能够使对环件结构断口的环纹进行标准化处理，提高产品的合格率和稳定性，降低异常率，降低产品制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械加工领域，特别涉及一种滚花刀和滚花系统。
技术介绍
在半导体溅射工艺中，为了提高溅射沉积的均匀性，通常在溅射设备中安置环件结构，以约束溅射粒子的运动轨迹，也就是说，所述环件结构在溅射过程中起到聚焦高能量粒子的作用。具体的，参考图1，示出了现有技术中溅射设备的结构示意图。溅射靶材10设置于待沉积表面11的上方，环件结构12设置于溅射靶材10与待沉积表面11之间。高能粒子13轰击溅射靶材10产生的颗粒物部分落在待沉积表面11上，还有部分被吸附在环件结构断口12的表面。现有技术在环件结构12断口的表面设置有凹凸的花纹，提高环件结构断口12表面的粗糙程度，以增加环件结构对颗粒物的吸附能力。而环件结构断口表面的花纹是否标准，对所述环件结构在溅射过程中能否较好地实现聚焦高能粒子具有很大的影响。现有技术中往往采用滚花工艺在所述环件结构断口12表面压滚花纹。但是现有技术中常采用的手动滚花方法无法实现标准化，影响产生花纹的合格率及稳定性。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种滚花刀和滚花系统，以实现滚花方法的标准化，提高滚花花纹的合格率以及稳定性。为解决上述问题，本专利技术提供一种滚花刀，包括：刀杆，所述刀杆包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的压花端，所述刀杆用以实现机床进给；滚花单元，所述滚花单元套装在所述刀杆上，用于对所述环件结构断口进行表面滚花处理；锁紧装置，位于所述刀杆的压花端，用于使所述滚花单元固定于所述刀杆上。可选的，所述滚花刀还包括套装在所述刀杆上且位于滚花单元和锁紧装置之间的至少1个垫片。可选的，所述滚花刀还包括套装在所述刀杆上且位于滚花单元和锁紧装置之间的弹簧垫片。可选的，所述滚花单元包括至少1个滚花轮，所述滚花轮套装在所述刀杆上，并能够绕所述刀杆转动。可选的，所述滚花轮呈环形，包括外圆周面和内圆周面，所述外圆周面上设置有凹凸的花纹。可选的，所述花纹包括斜纹。可选的，所述滚花单元包括第一滚花轮和第二滚花轮，所述第一滚花轮外圆周面上的斜纹与所述第二滚花轮外圆周面上的斜纹倾斜方向相反，用于在环件结构断口上形成网状花纹。可选的，所述外圆周面上设置有环绕所述滚花轮轴线的凹槽，所述花纹位于所述凹槽内。可选的，所述凹槽沿滚花轮径向的截面为弧形。可选的，所述弧形凹槽的曲率半径在1.7mm到1.8mm范围内。可选的，所述刀杆压花端的端面内设置有螺孔，所述螺孔内有内螺纹，所述锁紧装置表面设置有外螺纹，所述锁紧装置通过螺旋方式实现与所述刀杆的连接。本专利技术还提供一种滚花系统，包括：本专利技术所提供的滚花刀；与所述滚花刀相连的机床，用于对所述滚花刀施加进给以实现对所述环件结构断口的表面滚花处理。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术通过刀杆实现滚花单元与机床的连接，滚花单元套装在所述刀杆上，并通过锁紧装置进行固定。所述滚花单元与刀杆之间配合，通过机床进给，使滚花单元与环件结构断口表面产生挤压，实现滚花单元对环件结构断口表面的滚花处理。通过机床进给滚花刀能够使对环件结构断口的环纹进行标准化处理，提高产品的合格率和稳定性，降低异常率，降低产品制造成本。可选的，本专利技术可选方案中，所述滚花单元包括第一滚花轮和第二滚花轮，所述第一滚花轮和所述第二滚花轮上的斜纹方向相反，通过分别采用两个滚花轮进行两次滚花处理，能够使滚花后所述环件结构断口表面的花纹交叉，产生网状花纹。附图说明图1是现有技术中溅射设备的结构示意图；图2至图6是本专利技术滚花刀一实施例的结构示意图；图7是本专利技术滚花系统一实施例的使用示意图。具体实施方式由
技术介绍
可知，现有技术中采用手动滚花方法处理环件结构断口无法实现滚花标准化，容易产生滚花不均匀等问题。现结合现有技术中环件滚花工艺的过程分析原因：现有技术中，对环件结构断口的滚花处理中，基本是通过手动滚花实现的。但是手动滚花无法实现滚花效果的标准化，容易出现花纹不均匀等缺点。而且手动滚花步骤较多，过程复杂。此外，进行手动滚花的滚花技术人员，需要长时间的学习和实践，才熟练掌握手动滚花的技术，对产能的提高造成较大影响。为解决所述技术问题，本专利技术提供一种滚花刀，包括：刀杆，所述刀杆包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的压花端，所述刀杆用以实现机床进给；滚花单元，所述滚花单元套装在所述刀杆上，用于对所述环件结构断口进行表面滚花处理；锁紧装置，位于所述刀杆的压花端，用于使所述滚花单元固定于所述刀杆上。本专利技术通过刀杆实现滚花单元与机床的连接，滚花单元套装在所述刀杆上，并通过锁紧装置进行固定。所述滚花单元与刀杆之间配合，通过机床进给，使滚花单元与环件结构断口表面产生挤压，实现滚花单元对环件结构断口表面的滚花处理。通过机床进给滚花刀能够使对环件结构断口的环纹进行标准化处理，提高产品的合格率和稳定性，降低异常率，降低产品制造成本。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施例做详细的说明。参考图2和图3，其中图2示出了本专利技术滚花刀一实施例的结构示意图，图3示出了图2中所示滚花刀的拆解示意图。需要说明的是，所述滚花刀用于对溅射工艺中使用的环件结构断口进行表面滚花处理，所述滚花刀通过机床进给实现滚花处理。具体的，所述滚花刀包括：刀杆100，所述刀杆包括用于与机床(图中未示出)相连的安装端(图中未示出)和未连接机床的压花端，所述刀杆100用于实现机床进给。具体的，本实施例中，所述刀杆100为圆柱形，所述刀杆100与机床相连的一端为安装端(图中未标示)，用以传递机床的进给。结合参考图4，示出了图2中刀杆100中A-A’线的剖视图。所述刀杆100未连接机床一端为压花端(图中未标示)，所述压花端的端面内设置有螺孔101。所述螺孔101内设置有内螺纹，用于与锁紧装置500相配合实现锁紧功能。继续参考图2和图3，所述滚花刀还包括套装在所述刀杆100上的滚花单元200，用于对所述环件结构断口进行表面滚花处理。具体的，所述滚花单元200包括至少一个滚花轮210，所述滚花轮210套装在所述刀杆100上，并能够以所述刀杆100为轴进行转动。本实施例中，所述滚花轮210呈环形，包括外圆周面201和内圆周面202。其中，所述内圆周面202形成一中心通孔，用于安装所述刀杆100，所述滚花轮210可以在垂直所述刀杆100的平面内，做以所述刀杆100为轴线的自转。所述滚花轮210与所述刀杆100之间活动配合，所述滚花轮210与环件结构断口产生挤压，并通过机床进给，实现滚花轮210的自转。需要说明的是，为了使所述滚花轮210套装在所述刀杆100上，所述刀杆100的压花端需所述滚花轮210的中心通孔相匹配。也就是说，所述刀杆100压花端的直径比所述刀杆100其他部分的直径小，且略小于所述滚花轮210内圆周面202的直径，以便于实现所述滚花轮210的装配以及所述滚花轮210在所述刀杆100上的转动。此外，所述刀杆100压花端的长度H12略大于所述滚花轮210的厚度H21，以便于调整所述滚花轮210沿刀杆100方向上的位置。还需要说明的是，为了避免所述环件结构断口过于“尖锐”，而导致在溅射过程中发生放电现象，所述环件结构的断口为弧形设计。因此，为了与所述环件结构断口表面形状相匹配，本实施例中，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滚花刀，用于对溅射工艺中使用的环件结构断口进行表面滚花处理，所述滚花刀通过机床进给实现滚花处理，其特征在于，包括：刀杆，所述刀杆包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的压花端，所述刀杆用以实现机床进给；滚花单元，所述滚花单元套装在所述刀杆上，用于对所述环件结构断口进行表面滚花处理；锁紧装置，位于所述刀杆的压花端，用于使所述滚花单元固定于所述刀杆上。

【技术特征摘要】
1.一种滚花刀，用于对溅射工艺中使用的环件结构断口进行表面滚花处理，所述滚花刀通过机床进给实现滚花处理，其特征在于，包括：刀杆，所述刀杆包括用于与机床相连的安装端和未连接机床的压花端，所述刀杆用以实现机床进给；滚花单元，所述滚花单元套装在所述刀杆上，用于对所述环件结构断口进行表面滚花处理；锁紧装置，位于所述刀杆的压花端，用于使所述滚花单元固定于所述刀杆上。2.如权利要求1所述的滚花刀，其特征在于，所述滚花刀还包括套装在所述刀杆上且位于滚花单元和锁紧装置之间的至少1个垫片。3.如权利要求1所述的滚花刀，其特征在于，所述滚花刀还包括套装在所述刀杆上且位于滚花单元和锁紧装置之间的弹簧垫片。4.如权利要求1所述的滚花刀，其特征在于，所述滚花单元包括至少1个滚花轮，所述滚花轮套装在所述刀杆上，并能够绕所述刀杆转动。5.如权利要求4所述的滚花刀，其特征在于，所述滚花轮呈环形，包括外圆周面和内圆周面，所述外圆周面上设置有凹凸的花纹。6.如权利要求5所述的滚花刀，其特征在于，所述花纹包...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，大岩一彦，王学泽，唐邵坷，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33