铝合金产品的制造方法技术

本发明专利技术提供一种铝合金产品的制造方法，包括：提供第一铝合金板和第二铝合金板，第一铝合金板的待焊接面为第一焊接面，第二铝合金板的待焊接面为第二焊接面；第一焊接面为平面，第二焊接面内具有凹槽；或者，第一焊接面和第二焊接面内均具有凹槽；将第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，且在第一焊接面和第二焊接面之间形成由凹槽围成的水道结构，以形成初始铝合金产品；将初始铝合金产品装入包套并对包套进行脱气处理以形成真空包套后，对初始铝合金产品进行热等静压工艺；去除真空包套，获得铝合金产品。本发明专利技术通过对初始铝合金产品进行热等静压工艺，在提高形成的铝合金产品的焊接强度的同时，避免水道结构发生变形甚至堵塞。

Manufacturing method of aluminum alloy products

The present invention provides a method for manufacturing a Aluminum Alloy products, including: providing the first Aluminum Alloy plate and second Aluminum Alloy plate, the first Aluminum Alloy plate to be welded to the first surface of the welding surface, second Aluminum Alloy plate to be welded to second welding welding surface; the first surface is flat, second welding surface having a groove or, the first welding surface; and second welding plane has a groove; the first surface and the second surface welding welding is fit, and the formation of channel structure surrounded by grooves between the first surface and the second welding welding surface, to form the initial Aluminum Alloy products; the initial Aluminum Alloy product into the bag and the pack of degassing to form a vacuum bag after hot isostatic pressing process of initial Aluminum Alloy products; removal of vacuum package, get Aluminum Alloy products. Through the hot isostatic pressing technology for the initial aluminum alloy products, the invention can improve the welding strength of the aluminum alloy products while avoiding the deformation and even blockage of the waterway structure.

【技术实现步骤摘要】
铝合金产品的制造方法
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种铝合金产品的制造方法。
技术介绍
6061铝合金是经热处理预拉伸工艺生产的高品质铝合金产品，具有加工性能极佳、优良的焊接性、电镀性、抗腐蚀性、高韧性及加工后不变形、材料致密无缺陷、易于抛光、上色膜容易、氧化效果极佳等优良特点，现已广泛应用于自动化机械零件、精密加工、模具制造、电子及精密仪器等。随着产品工艺的不断升级，许多6061铝合金产品为了达到良好的抗高温变形性能，内部采用复杂水道结构设计。在所述6061铝合金产品的使用过程中，连续不断的冷却水流入所述水道结构中，以可以带走所述6061铝合金产品表面大量的热量，实现产品持久的抗高温变形能力，从而提高所述6061铝合金产品的使用寿命，节约成本。但是，现有技术形成的铝合金产品的良率有待提高。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种铝合金产品的制造方法，提高铝合金产品的良率。为解决上述问题，本专利技术提供一种铝合金产品的制造方法，包括：提供第一铝合金板和第二铝合金板，所述第一铝合金板的待焊接面为第一焊接面，所述第二铝合金板的待焊接面为第二焊接面；所述第一焊接面为平面，所述第二焊接面内具有凹槽；或者，所述第一焊接面和第二焊接面内均具有凹槽；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，且在所述第一焊接面和第二焊接面之间形成由凹槽围成的水道结构，以形成初始铝合金产品；将所述初始铝合金产品装入包套并对所述包套进行脱气处理以形成真空包套后，对所述初始铝合金产品进行热等静压工艺；去除所述真空包套，获得铝合金产品。可选的，所述第一铝合金板和第二铝合金板的材料为6061铝合金。可选的，所述热等静压工艺的步骤包括：将所述真空包套放置于热等静压炉中；使所述热等静压炉进行升温，直至达到工艺温度；在升温后，使所述热等静压炉进行升压，直至达到预设环境压强；在所述工艺温度和预设环境压强下进行保温保压。可选的，所述热等静压工艺的参数包括：工艺温度为530℃至630℃，预设环境压强为4MPa至10MPa，在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为2小时至5小时。可选的，在所述热等静压工艺的步骤中，向所述热等静压炉中通入氩气，用于产生4MPa至10MPa的气压。可选的，对所述包套进行脱气处理的步骤包括：将所述初始铝合金产品放置于包套后，对所述包套进行脱气处理，脱气处理后所述真空包套内的真空度至少为1E-3Pa，且在所述热等静压工艺过程中使所述真空包套保持密封状态。可选的，所述脱气处理的工艺温度为100℃至120℃，脱气时间为2.5小时至3.5小时。可选的，将所述初始铝合金产品装入包套后，对所述包套进行脱气处理之前，所述制造方法还包括：采用氩弧焊接的方式密封所述包套；在所述包套引出一脱气管；在所述脱气处理的步骤中，通过所述脱气管对所述包套进行脱气。可选的，采用氩弧焊接的方式密封所述包套后，对所述包套进行脱气处理之前，所述制造方法还包括：采用氦泄漏方法检测氩弧焊接后所述包套的密闭性。可选的，所述包套的材料为铝。可选的，完成所述热等静压工艺后，去除所述真空包套前，所述制造方法还包括：对所述真空包套进行去压冷却。可选的，提供第一铝合金板和第二铝合金板后，形成所述初始铝合金产品之前，所述制造方法还包括：分别对所述第一焊接面和第二焊接面进行机械加工；完成所述机械加工后，对所述第一铝合金板和第二铝合金板进行超声波清洗处理；完成所述超声波清洗处理后，对所述第一铝合金板和第二铝合金板进行干燥处理。可选的，采用金刚石刀片分别对所述第一焊接面和第二焊接面进行车削加工，加工至所述第一焊接面和第二焊接面的表面光洁度为0.4μm至0.8μm。可选的，对所述第一铝合金板和第二铝合金板进行超声波清洗处理的步骤包括：将所述第一铝合金板和第二铝合金板置于酒精中进行超声波清洗处理，超声波清洗处理的时间为15分钟至25分钟。可选的，对所述第一铝合金板和第二铝合金板进行干燥处理的步骤包括：采用真空干燥箱进行所述干燥处理，干燥温度为25℃至35℃，所述干燥箱的真空度至少为1E-2Pa，干燥时间为50分钟至70分钟。可选的，所述第一铝合金板和第二铝合金板用于形成靶材背板；获得铝合金产品的步骤中，获得带水道结构的靶材背板。与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下优点：本专利技术将初始铝合金产品装入包套并对所述包套进行脱气处理以形成真空包套后，通过对所述初始铝合金产品进行热等静压工艺，可以实现所述第一铝合金板和第二铝合金板的大面积焊接；此外，所述热等静压工艺的压强、温度和工艺时间控制合理，在提高形成的铝合金产品的焊接强度的同时，避免所述水道结构发生变形甚至堵塞，从而可以提高所述铝合金产品的良率和性能，形成的铝合金产品的焊接结合率能够高达95％以上，因此可以避免所述铝合金产品在使用过程中发生脱焊。可选方案中，提供第一铝合金板和第二铝合金板后，形成所述初始铝合金产品之前，采用金刚石刀片分别对所述第一焊接面和第二焊接面进行车削加工，以提高所述第一焊接面和第二焊接面的表面光洁度，并将所述第一铝合金板和第二铝合金板置于酒精中进行超声波清洗处理，以去除表面油污或杂质；随后采用真空干燥箱对所述第一铝合金板和第二铝合金板进行干燥处理，在达到干燥目的的同时，防止所述第一铝合金板和第二铝合金板表面被氧化，以提高第一焊接面和第二焊接面的表面原子活性，为后续热等静压工艺提供良好的界面态，从而有利于提高所述第一铝合金板和第二铝合金板的焊接结合强度。附图说明图1是本专利技术铝合金产品的制造方法一实施例的流程示意图；图2至图8是图1所示实施例中各步骤的结构示意图。具体实施方式由
技术介绍
可知，铝合金产品的良率有待提高。分析其原因在于：6061铝合金产品为了达到良好的抗高温变形性能，内部采用复杂水道结构设计。在所述6061铝合金产品的使用过程中，连续不断的冷却水流入所述水道结构中，从而可以带走产品表面大量的热量。其中，6061铝合金产品的焊接通常采用真空钎焊、熔化铅焊、中间层连接焊接及液相扩散焊等方法。通过以上焊接方式形成的6061铝合金产品，使形成的铝合金产品的焊接强度较高时，容易导致水道结构发生变形甚至堵塞，从而导致通水流量不足，影响产品散热，进而容易引起所述铝合金产品温度过高而报废等问题；当解决水道变形或堵塞的问题时，容易存在焊接强度不够等问题，从而容易导致所述铝合金产品在使用过程中发生脱焊。因此，难以在满足焊接强度要求的同时，对水道变形进行管控。为了解决上述问题，本专利技术提供一种铝合金产品的制造方法，包括：提供第一铝合金板和第二铝合金板，所述第一铝合金板的待焊接面为第一焊接面，所述第二铝合金板的待焊接面为第二焊接面；所述第一焊接面为平面，所述第二焊接面内具有凹槽；或者，所述第一焊接面和第二焊接面内均具有凹槽；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，且在所述第一焊接面和第二焊接面之间形成由凹槽围成的水道结构，以形成初始铝合金产品；将所述初始铝合金产品装入包套并对所述包套进行脱气处理以形成真空包套后，对所述初始铝合金产品进行热等静压工艺；去除所述真空包套，获得铝合金产品。本专利技术将初始铝合金产品装入包套并对所述包套进行脱气处理以形成真空包套后，通过对所述初始铝合金产品进行热等静压工艺，可以实现所述第一铝合金板和第二铝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝合金产品的制造方法，其特征在于，包括：提供第一铝合金板和第二铝合金板，所述第一铝合金板的待焊接面为第一焊接面，所述第二铝合金板的待焊接面为第二焊接面；所述第一焊接面为平面，所述第二焊接面内具有凹槽；或者，所述第一焊接面和第二焊接面内均具有凹槽；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，且在所述第一焊接面和第二焊接面之间形成由凹槽围成的水道结构，以形成初始铝合金产品；将所述初始铝合金产品装入包套并对所述包套进行脱气处理以形成真空包套后，对所述初始铝合金产品进行热等静压工艺；去除所述真空包套，获得铝合金产品。

【技术特征摘要】
1.一种铝合金产品的制造方法，其特征在于，包括：提供第一铝合金板和第二铝合金板，所述第一铝合金板的待焊接面为第一焊接面，所述第二铝合金板的待焊接面为第二焊接面；所述第一焊接面为平面，所述第二焊接面内具有凹槽；或者，所述第一焊接面和第二焊接面内均具有凹槽；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，且在所述第一焊接面和第二焊接面之间形成由凹槽围成的水道结构，以形成初始铝合金产品；将所述初始铝合金产品装入包套并对所述包套进行脱气处理以形成真空包套后，对所述初始铝合金产品进行热等静压工艺；去除所述真空包套，获得铝合金产品。2.如权利要求1所述的铝合金产品的制造方法，其特征在于，所述第一铝合金板和第二铝合金板的材料为6061铝合金。3.如权利要求1所述的铝合金产品的制造方法，其特征在于，所述热等静压工艺的步骤包括：将所述真空包套放置于热等静压炉中；使所述热等静压炉进行升温，直至达到工艺温度；在升温后，使所述热等静压炉进行升压，直至达到预设环境压强；在所述工艺温度和预设环境压强下进行保温保压。4.如权利要求3所述的铝合金产品的制造方法，其特征在于，所述热等静压工艺的参数包括：工艺温度为530℃至630℃，预设环境压强为4MPa至10MPa，在所述工艺温度和预设环境压强下的工艺时间为2小时至5小时。5.如权利要求4所述的铝合金产品的制造方法，其特征在于，在所述热等静压工艺的步骤中，向所述热等静压炉中通入氩气，用于产生4MPa至10MPa的气压。6.如权利要求3所述的铝合金产品的制造方法，其特征在于，对所述包套进行脱气处理的步骤包括：将所述初始铝合金产品放置于包套后，对所述包套进行脱气处理，脱气处理后所述真空包套内的真空度至少为1E-3Pa，且在所述热等静压工艺过程中使所述真空包套保持密封状态。7.如权利要求1所述的铝合金产品的制造方法，其特征在于，所述脱气处理的工艺温度为100℃至120℃，脱气时间为2.5小时至3.5小时。8.如权利要求1所述的铝合金产品的制造方法，其特征在于，将所述初始铝合金产品装入包...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，王学泽，吴东青，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33