定位装置及三坐标测量仪制造方法及图纸

本发明专利技术涉及产品测量技术领域，提供一种定位装置及三坐标测量仪。该定位装置包括三个定位部，三个定位部均固定在工作台上，三个定位部在工作台上呈三角形分布且分布位置与产品的表面的形状相匹配，通过将产品的表面同时与三个定位部相接触，能够使产品被固定在工作台上的由三个定位部所确定的预设位置。在产品的位置固定后，可以对产品进行后续处理，并使后续的处理流程得到简化。该三坐标测量仪包括测量仪本体以及上述定位装置，定位装置固定在测量仪本体的工作台上。使用该三坐标测量仪对产品的三维尺寸进行多次测量时，可以通过定位装置对产品进行定位，无需每次建立测量坐标系，测量效率较高。

【技术实现步骤摘要】
定位装置及三坐标测量仪
本专利技术涉及产品测量
，具体而言，涉及一种定位装置及三坐标测量仪。
技术介绍
晶圆载具(WaferCarrier)是半导体制造领域用于承载晶圆的一种装置，常见为圆盘状。为检测晶圆载具的加工质量，可以利用三坐标测量仪对晶圆载具的尺寸进行测量。三坐标测量仪是一种能够自动测量产品的三维尺寸的设备，常见的三坐标测量仪可以分为接触式、非接触式以及接触式与非接触式等类型。在测量时，将晶圆载具放置在三坐标测量仪的工作台上的某一位置，三坐标测量仪需要首先在该位置处建立起一个测量坐标系，然后才能基于该坐标系进行自动测量。然而，多次测量时每次晶圆载具在工作台上放置的位置并不一定相同，导致每次测量时三坐标测量仪都要在晶圆载具的放置位置处建立一个新的测量坐标系，需要耗费较长的时间，造成测量效率低下。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种定位装置及三坐标测量仪，以解决上述技术问题。本专利技术的实施例通过以下技术方案实现：第一方面，本专利技术实施例提供一种定位装置，用于对放置在工作台上的产品进行定位，包括：三个定位部，三个定位部均固定在工作台上，三个定位部在工作台上呈三角本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种定位装置，用于对放置在工作台上的产品进行定位，其特征在于，包括：三个定位部，所述三个定位部均固定在所述工作台上，所述三个定位部在所述工作台上呈三角形分布且分布位置与所述产品的表面的形状相匹配，通过将所述产品的表面同时与所述三个定位部相接触，能够使所述产品被固定在所述工作台上的由所述三个定位部所确定的预设位置。

【技术特征摘要】
1.一种定位装置，用于对放置在工作台上的产品进行定位，其特征在于，包括：三个定位部，所述三个定位部均固定在所述工作台上，所述三个定位部在所述工作台上呈三角形分布且分布位置与所述产品的表面的形状相匹配，通过将所述产品的表面同时与所述三个定位部相接触，能够使所述产品被固定在所述工作台上的由所述三个定位部所确定的预设位置。2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述产品为圆盘状，所述三个定位部的连线构成的三角形的外接圆与所述产品的圆面相匹配。3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括：连接部，所述三个定位部均设置在所述连接部上，所述连接部固定在所述工作台上。4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述连接部为L型，所述三个定位部中的第一定位部以及第二定位部凸出设置在所述连接部的第一侧边上，所述三个定位部中的第三定位部凸出设置在所述连接部的不同于所述第一侧边的第二侧边上。5.根据权利要求4所述的定位装...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，陈文庆，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33