The invention provides a clamping device and a target material processing device, relating to the technical field of clamping equipment, including a moving component and a clamping component; the clamping component is fixed on the moving component, the moving component is used to drive the clamping component to a selected position; the clamping component comprises a plurality of clamping wheels, and a plurality of clamping wheels. The clamping wheels can cooperate with the clamping workpiece, and the plurality of the clamping wheels can respectively be extended between adjacent clamping claws in the lathe clamp. Using clamping device to clamp workpiece can reduce labor intensity, improve efficiency and convenience, and moving component can drive workpiece to the selected position. It can improve the stability of the workpiece clamping position, reduce the probability of workpiece distorting and prevent the workpiece from scratching, thus improving the workpiece. The convenience and stability of clamping.
【技术实现步骤摘要】
装夹装置及靶材加工装置
本专利技术涉及装夹设备
,尤其是涉及一种装夹装置,以及一种具有该装夹装置的靶材加工装置。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。在靶材加工过程中,需要将工件夹持在机床的夹具上,再对工件进行加工。现有技术中,利用人工将工件夹持在机床的夹具上,然而人工装夹的劳动强度较大,效率较低,便捷性差,并且人工夹装时需要肉眼判断工件是否夹持到位,极易造成工件装歪,最终导致工件夹伤,因此工件夹装的便捷性和稳定性较差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种装夹装置及靶材加工装置,以解决现有技术中的工件夹装的便捷性和稳定性较差的技术问题。本专利技术提供的装夹装置,包括移动组件和夹持组件;所述夹持组件固定在所述移动组件上,所述移动组件用于带动所述夹持组件移动至选定的位置;所述夹持组件包括多个夹持轮,多个所述夹持轮能够配合夹持工件,且多个所述夹持轮分别能够伸入车床夹具中相邻的夹爪之间。进一步地,所述夹持组件还包括安装盘和多个卡爪;每个所述卡爪分别与所述安装盘滑动连接,每个所述卡爪分别能够沿所述安装盘的径向滑动,每个所述卡爪远离所述安装盘的一端分别固定设有所述夹持轮,且多个 ...
【技术保护点】
1.一种装夹装置,其特征在于,包括移动组件和夹持组件;所述夹持组件固定在所述移动组件上,所述移动组件用于带动所述夹持组件移动至选定的位置;所述夹持组件包括多个夹持轮,多个所述夹持轮能够配合夹持工件,且多个所述夹持轮分别能够伸入车床夹具中相邻的夹爪之间。
【技术特征摘要】
1.一种装夹装置,其特征在于,包括移动组件和夹持组件;所述夹持组件固定在所述移动组件上,所述移动组件用于带动所述夹持组件移动至选定的位置;所述夹持组件包括多个夹持轮,多个所述夹持轮能够配合夹持工件,且多个所述夹持轮分别能够伸入车床夹具中相邻的夹爪之间。2.根据权利要求1所述的装夹装置,其特征在于,所述夹持组件还包括安装盘和多个卡爪;每个所述卡爪分别与所述安装盘滑动连接,每个所述卡爪分别能够沿所述安装盘的径向滑动,每个所述卡爪远离所述安装盘的一端分别固定设有所述夹持轮,且多个所述卡爪沿所述安装盘的周向均匀间隔设置。3.根据权利要求2所述的装夹装置,其特征在于,所述卡爪与所述夹持轮可拆卸地连接。4.根据权利要求2所述的装夹装置,其特征在于,所述夹持组件还包括驱动件,所述驱动件用于驱动所述卡爪沿所述安装盘的径向滑动。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚力军,潘杰,王学泽,泮旭阳,
申请(专利权)人:宁波江丰电子材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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