本发明提供一种薄壁件的装夹结构，所述装夹结构设置有基台和盖板，基台包括底座和从底座中心向上凸起的凸台，并通过贯穿盖板伸入凸台内的固定装置将凸台与盖板固定，采用上下夹持的方式实现对薄壁件的装夹，使薄壁件在加工过程中不发生振动，可保障薄壁件...

本发明涉及一种靶材与背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)在背板坯料的焊接面加工与靶材配套的焊接槽，得到预加工背板；(2)预热步骤(1)所得预加工背板，然后在焊接槽内铺设钎料，升温使钎料熔化后压入靶材；(3)在步骤(2)所述靶...

本发明涉及一种高纯钛粉的制备方法，所述方法以超高纯钛靶材加工过程中产生的废屑和/或边角料为原料，经去油、去氧化皮、加氢破碎和脱氢处理，得到所述高纯钛粉，所述方法解决了超高纯钛靶材加工过程中产生的废屑和/或边角料的处理问题，且制备得到的高...

本发明提供了一种通用型氦泄漏检测夹具、其使用方法及应用，所述的氦泄漏检测夹具包括支撑杆，支撑杆的一端固定抽气短管，另一端设置可沿支撑杆移动的紧固组件；所述的抽气短管包括抽气端和紧固端，所述的抽气端管口外接抽真空装置，待测产品置于紧固端和...

本发明提供一种冷却盘体，所述冷却盘体包括设置有凹槽的基体以及与所述基体上方连接的盖板，所述凹槽为冷却液流动通道，所述冷却液流动通道内部设置有至少一个冷却隔板，所述冷却隔板与所述盖板的下表面以及所述冷却液流动通道的内壁相连。所述冷却盘体通...

本发明提供了一种靶材的清洗方法，所述靶材的清洗方法包括如下步骤：(1)靶材表面涂覆清洁剂，然后进行刷洗；(2)超声波清洗刷洗后的靶材；(3)使用惰性气体吹干超声波清洗后靶材表面的水分，然后进行真空干燥处理，得到清洗完成的靶材。所述靶材的...

本发明提供了一种钽环及制备方法、包含钽环的溅射装置及其应用，所述钽环包括环件以及设置在环件表面的花纹，所述花纹呈锥形凹坑状；锥形凹坑状花纹具有较大的比表面积，当在用于溅射过程中，能够附着较大量的溅射源，并且具有较好的附着力，此外花纹呈现...

本发明涉及一种铝靶材和含铜背板的钎焊焊接方法，所述钎焊焊接方法包括采用不同的焊料分别对铝靶材和含铜背板进行浸润处理，之后将二者结合，完成焊接过程，本发明所述方法焊接得到的铝靶材和含铜背板的焊接件的焊接强度明显提高，其焊接强度达70‑10...

本发明提供了一种高纯铝熔炼铸造用涂料及其制备方法和用途，所述涂料按质量百分含量由20％～30％的氧化铝、1％～3％的聚乙烯醇和余量水组成；本发明通过省略涂料中的表面活性剂、除氧化铝外的其他耐火材料、助溶剂和溶剂，解决了现有涂料本身对铝液...

本发明提供了一种高纯铜靶材的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括如下步骤：准备高纯铜靶材与背板，并在背板的焊接面加工螺纹；将金属粉末均匀设置于背板的螺纹面；将高纯铜靶材与背板组合后放入金属包套，然后对金属包套进行脱气处理，然后对脱气处理后...

本发明提供了一种检测台、检测工件以及三坐标测量机，涉及检测工具技术领域。该检测台包括工作台和定位柱，工作台设置有多个定位孔，定位柱的数量为多个，至少两个定位柱能够穿过工件的不同安装孔并与对应的定位孔插接配合，定位柱能够与工件可拆卸连接；...

一种靶材刻字工装夹具，包括工装台，至少一个夹紧装置及旋转机构；其中，所述旋转机构固定安装于所述工装台侧面，所述夹紧装置固定设置在所述工装台侧面。使所述旋转机构与所述夹紧装置的配合，带动所述工装台旋转，以配合激光头的朝向进行刻字工作，当将...

本实用新型提供一种靶材辅具组件，包括：旋转件和至少两个待焊接组件，所述待焊接组件分立设置于所述旋转件表面，所述旋转件带动所述待焊接组件旋转。本实用新型有助于提高待焊接组件的焊接效率。

本发明提供了一种钴靶坯整平方法及夹具，涉及半导体溅射靶材制备的技术领域。其中，本发明提供的钴靶坯整平方法包括：将钴靶坯夹紧于夹具相互平行的两个平面之间；沿垂直于平面的方向通过夹具对钴靶坯施加压力，并重新固定夹具以使两个平面再次夹紧钴靶坯...

本发明提供了一种背板与高纯金属靶材的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括如下步骤：准备高纯金属靶材与背板，并在背板的焊接面上加工螺纹；组合高纯金属靶材与背板，并将组合材料放置于金属包套中；对装入组合材料的金属包套进行脱气处理，然后将金属包...

本发明提供了一种冷却盘体中水道的表面处理方法及冷却盘体的制造方法，涉及水道表面处理技术领域，以缓解了现有技术中存在的水冷盘中的冷却水道的内壁容易被腐蚀的技术问题。该表面处理方法包括以下步骤：使容器的出液口对准冷却盘体中的水道的进口，在压...

本发明提供了一种靶材与背板的焊接方法，所述方法包括如下步骤：准备靶材与背板，在硬度较高的材料的焊接面上加工螺纹；组合靶材与背板，并将组合材料放置于金属包套中；对装入组合材料的金属包套进行脱气处理，然后将金属包套进行密封；加热密封后的金属...

本发明提供一种压块放置装置及压块放置方法，涉及靶材焊接技术领域，压块放置装置包括：支架组件和承载组件；承载组件连接于支架组件，并被支架组件架起于待压工件上方；承载组件用于固定压块，且多个压块能够同时脱离承载组件并掉落于待压工件上。压块放...

本发明提供了一种冷却水道的制作方法及冷却水道，涉及冷却水道加工技术领域。该冷却水道的制作方法包括如下步骤：焊接前机械加工：将冷却水道底板及冷却水道盖板分别按照图纸进行加工；焊接面研磨：将冷却水道底板及冷却水道盖板的焊接面进行机械研磨；真...

本发明提供了一种管靶脱焊装置及其使用方法，所述装置包括脱焊台和加热组件，所述脱焊台包括脱焊底板和竖直固定于脱焊底板上的空心管，待脱焊管靶套在空心管外侧；所述加热组件包括加热棒和至少一个加热环，所述加热棒设置于所述空心管内部，所述加热环自...