钽环滚花表面粗糙度控制方法技术

本发明专利技术提供了一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，涉及半导体的技术领域，包括在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。本发明专利技术的目的在于提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。

Surface Roughness Control Method of Ta Ring Rolling

The invention provides a surface roughness control method for tantalum ring knurling, which relates to the technical field of semiconductor, including polishing the workpiece surface after knurling; checking the consistency of the pattern plane on the workpiece after polishing; confirming that the roughness of the workpiece surface is tested after polishing, and confirming the consistency of the workpiece surface roughness. The object of the invention is to provide a method for controlling the surface roughness of tantalum ring knurling, polishing the surface pattern of the ring, making the surface roughness of the ring consistent and the pattern level flat, thereby improving the service performance of the product in the client.

【技术实现步骤摘要】
钽环滚花表面粗糙度控制方法
本专利技术涉及半导体
，尤其是涉及一种钽环滚花表面粗糙度控制方法。
技术介绍
环件是参与半导体溅射的材料，在PVD镀膜过程中和靶材一起参与溅射，在溅射过程中环件上的花纹起到原子吸附作用。缺点：在环件表面滚花后花纹粗糙度不均匀，也就是花纹凹凸不平，产品表面某颗花纹偏高突出会造成“尖端放电”，偏低会造成表皮脱落，客户端使用性能不稳定。因此，需要对环件表面花纹进行处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整是本领域技术人员亟待解决的问题。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本专利技术的总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。为实现上述目的，本专利技术提供以下技术方案：本专利技术提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，包括：在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。进一步地，所述在滚花后的工件表面进行抛光包括：用机床的Y轴方向来控制抛光刀具对工件表面的抛光力度。进一步地，所述抛光后检查工件上的花纹平面是否一致包括：用移动放大镜检查工件上的花纹平面是否一致。进一步地，所述钽环滚花表面粗糙度控制方法还包括：工件上的花纹平面不一致，再次进行抛光。进一步地，所述对工件表面进行粗糙度检测包括：用粗糙度检测仪对工件表面进行粗糙度检测。进一步地，所述在滚花后的工件表面进行抛光包括：将砂纸粘在所述抛光刀具上。进一步地，所述抛光刀具包括刀柄、调节组件、抛光刀主体和计量装置；所述抛光刀主体通过调节组件安装于所述刀柄上；所述计量装置安装于所述抛光刀主体上用于计量所述抛光刀主体对工件表面的抛光力度。进一步地，所述调节组件包括弹性元件和导向件；所述弹性元件设置在所述刀柄与所述抛光刀本体之间，用于调节所述抛光刀本体与所述刀柄之间的作用力，以调节所述抛光刀主体对工件表面的抛光力度；所述导向件设置在所述弹性元件内部或者套设在所述弹性元件外部。进一步地，所述导向件与所述刀柄滑动连接，且所述导向件与所述刀柄通过限位件限位。进一步地，所述计量装置包括刻度尺，所述刻度尺与所述刀柄滑动连接，所述刀柄上设有与所述刻度尺上刻度线匹配的刻度线。本专利技术提供的钽环滚花表面粗糙度控制方法具有以下有益效果：本专利技术提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，包括：在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。现有技术环件表面滚花后花纹粗糙度不均匀，也就是花纹凹凸不平，产品表面某颗花纹偏高突出会造成“尖端放电”，偏低会造成表皮脱落，客户端使用性能不稳定，采用本专利技术提供的钽环滚花表面粗糙度控制方法可避免此缺陷。利用本方法对产品表面花纹进行抛光处理后使得产品表面平整一致，粗糙度一致均匀。本专利技术提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的钽环滚花表面粗糙度控制方法的框图；图2为本专利技术实施例提供的抛光刀具的结构示意图。图标：1-刀柄；2-抛光刀主体；3-调节组件；4-计量装置；31-弹性元件；32-导向件；41-刻度尺。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。图1为本专利技术实施例提供的钽环滚花表面粗糙度控制方法的框图；图2为本专利技术实施例提供的抛光刀具的结构示意图。请参照图1和图2，下面将结合附图对本专利技术实施例提供的钽环滚花表面粗糙度控制方法作详细说明。本专利技术的实施例提供了一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，包括：在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。现有技术环件表面滚花后花纹粗糙度不均匀，也就是花纹凹凸不平，产品表面某颗花纹偏高突出会造成“尖端放电”，偏低会造成表皮脱落，客户端使用性能不稳定，采用本专利技术的实施例提供的钽环滚花表面粗糙度控制方法可避免此缺陷。利用本方法对产品表面花纹进行抛光处理后使得产品表面平整一致，粗糙度一致均匀。本专利技术的实施例提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。本实施例可选的方案中，更进一步地，在滚花后的工件表面进行抛光包括：用机床的Y轴方向来控制抛光刀具对工件表面的抛光力度。本实施例可选的方案中，更进一步地，抛光后检查工件上的花纹平面是否一致包括：用移动放大镜检查工件上的花纹平面是否一致。在至少一个实施例中，用移动放大镜检查工件上的花纹平面是否一致的标准按照抛光SOP执行。其中：SOP(StandardOperatingProcedure三个单词中首字母的大写)即标准作业程序，就是将抛光的标准操作步骤和要求以统一的格式描述出来，用来指导和规范日常的工作。本实施例可选的方案中，更进一步地，钽环滚花表面粗糙度控制方法还包括：工件上的花纹平面不一致，再次进行抛光。在至少一个实施例中，用移动放大镜检查工件上的花纹平面是否一致的标准按照抛光SOP执本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，包括：在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。

【技术特征摘要】
1.一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，包括：在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。2.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述在滚花后的工件表面进行抛光包括：用机床的Y轴方向来控制抛光刀具对工件表面的抛光力度。3.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述抛光后检查工件上的花纹平面是否一致包括：用移动放大镜检查工件上的花纹平面是否一致。4.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述钽环滚花表面粗糙度控制方法还包括：工件上的花纹平面不一致，再次进行抛光。5.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述对工件表面进行粗糙度检测包括：用粗糙度检测仪对工件表面进行粗糙度检测。6.根据权利要求2所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述在滚花后的工件表面进行抛光包...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，毛杰，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33