【技术实现步骤摘要】
一种延长靶材寿命的处理方法
本专利技术涉及靶材领域，具体涉及一种延长靶材寿命的处理方法。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，永久磁铁在靶材料表面形成250-350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵...
【技术保护点】
1.一种延长靶材寿命的处理方法，其特征在于，所述方法包括：将靶材依次进行抛光处理、滚花处理及喷砂处理。/n
【技术特征摘要】
1.一种延长靶材寿命的处理方法，其特征在于，所述方法包括：将靶材依次进行抛光处理、滚花处理及喷砂处理。
2.如权利1所述的方法，其特征在于，所述抛光处理后靶材表面的粗糙度Ra≤0.4μm。
3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述滚花处理指对靶材的溅射靶的侧面距离上表面3mm处和溅射表面边缘外径和内径的差值为13mm的圆环。
4.如权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述滚花处理中滚花的花纹包括50TPI网状花纹和/或25TPI网状花纹；
优选地，所述花纹为50TPI网状花纹，所述50TPI网状花纹的滚花纹深度为110-180μm；
优选地，所述花纹为25TPI网状花纹，所述25TPI网状花纹的滚花纹深度为160-230μm。
5.如权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述喷砂处理指靶材的溅射靶的侧面距离上表面3mm处至距离中心点182.5mm的靶材正面进行喷砂处理。
6.如权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述喷砂处理的时间为3-15min。
7.如权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，所述喷砂处理中喷头与靶材表面的距离为10-15cm；
优选地，所述喷砂处理中的作业压强为0.3...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，章丽娜，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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