一种区分高纯铝与铝合金的方法技术

本发明专利技术提供一种区分高纯铝与铝合金的方法，所述方法通过采用电导率仪对高纯铝和铝合金进行区分，无需测量高纯铝或铝合金中的铝含量，即可鉴别出高纯铝，较现有区分高纯铝和铝合金的光谱方法，制样简单，操作流程简便，且检测周期短，能够较好地解决现有技术中检测速度慢的问题，可较好地跟上大规模生产的需求，具有较高的工业应用价值。

A method to distinguish high purity aluminum from aluminum alloy

【技术实现步骤摘要】
一种区分高纯铝与铝合金的方法
本专利技术涉及分析检测
，尤其涉及一种区分高纯铝与铝合金的方法。
技术介绍
超高纯铝，是指纯度在99.999％(5N)及以上的铝。超高纯铝主要用于制作溅射靶材，进而用于半导体镀膜，所镀铝薄膜由于具有电阻率较低、易沉积、易刻蚀、工艺成熟等优点，成为集成电路、分立器件、液晶显示等领域的关键材料。其中CN110205590A和CN107119244A均公开了超高纯铝在溅射靶材上的运用。但是，超高纯铝的纯度和不纯物含量直接影响铝薄膜的性能，从而影响相关半导体元件的使用性能。因此，在制备铝薄膜混料时需要严格把控铝的纯度，目前常用的区分原料中铝合金和超高纯铝的方法是直读光谱法(OpticalEmissionSpectrometer，OES)和辉光放电质谱法(GlowDischargeMassSpectrometry，GDMS)。其中，直读光谱仪一般采用电火花、电弧或者辉光放电的方式把样品打成蒸气进行激发的，精度高，但是在进样系统上要求非常严格，没有好的进样系统就只能做溶液样品。而辉光放电质谱是利用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种区分高纯铝与铝合金的方法，其特征在于，所述方法采用电导率仪对高纯铝和铝合金进行区分。/n

【技术特征摘要】
1.一种区分高纯铝与铝合金的方法，其特征在于，所述方法采用电导率仪对高纯铝和铝合金进行区分。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法对高纯铝和铝合金进行区分的标准包括：电导率大于等于设定值的为高纯铝，电导率小于设定值的为铝合金。


3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述区分方法包括如下步骤：
(1)利用电导率仪测得高纯铝样品的电导率值，将所述高纯铝样品的电导率值减0.1～0.2MS/m后计为所述设定值；
(2)利用电导率仪测量未知样品的电导率，电导率大于等于设定值的为高纯铝，电导率小于设定值的为铝合金。


4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述设定值为36～38MS/m。


5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，步骤(1)和步骤(2)中所述电导率仪测量的方法包括如下步骤：
(1’)开机预热；
(2’)利用标准块进行电导率仪的校准；
(3’)利用电导率仪对样品进行测量。


6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，步骤(1’)所述预热的时间为1～60min，优选为30～50min。


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【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，钟伟攀，罗明浩，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33