本实用新型提供一种薄壁件的装夹结构，所述装夹结构设置有基台和盖板，基台包括底座和从底座中心向上凸起的凸台，并通过贯穿盖板伸入凸台内的固定装置将凸台与盖板固定，采用上下夹持的方式实现对薄壁件的装夹，不仅能够实现快速装夹，而且使薄壁件在加工...

本发明涉及一种避免反溅射层剥离的SIP系列靶材及其用途。所述SIP系列靶材包括阴极金属，所述阴极金属边缘的倒角半径R≥4mm。针对现有技术中，常规的SIP系列靶材，阴极金属与反溅射层间的界面设计并不能很好地缓解因热膨胀系数差异而产生的界...

本发明涉及一种靶材平面度检测工具及其加工方法，所述方法包括：选取刚材依次进行切割、焊接及磨削，得到所述平面度检测工具；所述检测工具的平面度小于0.03mm；所述检测工具的平行度小于0.03mm。本发明所制备得到的检测工具，检测效率高，使...

一种靶材的清洗方法，包括以下步骤：提供靶材；对所述靶材进行喷洒清洗。通过向所述靶材表面喷射清洗剂进行清洗，在清洗的过程中，不会产生摩擦，有效解决了靶材在清洗过程中造成表面擦伤的问题，提升了靶材表面的光洁度。进一步的，还可以向所述靶材表面...

本发明涉及一种带有氧化铝涂层的高纯石墨工具及其制备方法和用途，所述高纯石墨工具包括高纯石墨基体和氧化铝涂层，所述氧化铝涂层涂覆在所述高纯石墨基体的表面，所述高纯石墨基体的石墨纯度≥4N，其中所述氧化铝涂层采用喷涂方法进行制备，尤其适用于...

本发明涉及一种预测靶材使用寿命的方法，所述方法包括以下步骤：(1)使用三维扫描的方法，获取靶材溅射前和溅射后的形貌图，采用靶材溅射前和溅射后的形貌图结合制得表面侵蚀曲线，从所述表面侵蚀曲线中得到靶材的原始厚度和靶材的最小剩余厚度；(2)...

一种靶材的铜合金背板的制作方法，包括以下步骤：提供铜合金熔液；将所述铜合金熔液进行浇注，并在浇注时进行浇注搅拌。通过所述浇注搅拌，使所述铜合金熔液能够在锭模内产生流动，减少了所述铜合金熔液与所述锭模的接触压力，同时，所述锭模内各个位置的...

本发明涉及一种高纯铝靶材的焊接方法，所述方法包括如下步骤：(1)将高纯铝靶材和背板组装后置于包套中并将包套密封；(2)对密封后的包套依次进行抽真空及脱气处理，之后进行第一焊接；(3)第一焊接完成后，去除包套，对高纯铝靶材和背板进行第二焊...

本发明涉及一种锅形靶材加工成型方法，所述方法包括：将待冲压板坯进行加热，之后与下模具组装并安装上模具得到待冲压件，所述待冲压件经冲压得到锅形靶材；其中，所述冲压中加压的速率为20‑50mm/s。可制得合格的锅形靶材，使得通过该方法制得的...

本发明涉及一种提高靶材镀膜均匀性的方法，所述方法包括：将焊接完成的靶材依次进行整平、车削及抛光处理。本发明中，通过靶材加工工艺的改进达到去除表面应力层的目的，改善靶材在溅射初期过程中存在的镀膜均匀性不良问题，同时也提高了其在集成电路制造...

本发明提供了一种旋转靶材的装配方法。所述方法包括：将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接，相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙，在每个所述拼接缝隙中设置多个第一支撑件；每个所述第一支撑件均一部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，另一部分位...

本发明提供一种冷却盘体及其制备方法，所述冷却盘体内部的水道为圆环形水道和米字型水道的组合形状，所述米字型水道为圆环形水道内部，且所述米字型水道的各分支分别独立地与所述圆环形水道连通。所述冷却盘体通过对内部水槽的结构优化，提高了冷却水的循...

本发明提供了一种金属蒸发料的表面处理方法，所述方法包括以下步骤：将金属蒸发料采用有机溶剂进行超声波清洗；将超声波清洗后的金属蒸发料进行酸洗，酸洗所用酸洗液为无机混合酸；将酸洗后的金属蒸发料再次进行超声波清洗后干燥处理。本发明所述方法通过...

本实用新型涉及一种靶材清洗架，所述靶材清洗架包括底板、竖板、顶板和斜板；所述竖板包括第一竖板和第二竖板；所述斜板包括第一斜板和第二斜板；所述第一竖板和第二竖板垂直设置于所述底板两端；所述顶板与所述底板平行设置并与所述第一竖版和第二竖板的...

本发明提供了一种自动贴覆喷砂遮蔽层的方法，所述方法包括利用激光定位。本发明提供的自动贴覆喷砂遮蔽层的方法利用激光定位所需喷砂靶材需要遮蔽的边界，进而实现靶材非喷砂区域自动贴覆喷砂遮蔽层，因而可以达到快速遮蔽靶材非喷砂区，提高生产效率的目的。

一种工作台及其使用方法，工作台包括：置物平台，所述置物平台上包括至少一个检测区域，各所述检测区域用于容纳第一检测目标和第二检测目标；第一检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第一检测目标对应的检测区域内，检测第一检测目标存在与否；第...

一种靶材的处理方法，包括：提供靶材以及清洗液，所述清洗液为化学溶剂；将所述靶材放入所述清洗液浸泡处理。使用化学方法处理所述靶材，使所述靶材与所述清洗液发生化学反应，从而所述靶材表面的残留物会被溶解在所述清洗液中，从而达到去除所述靶材表面...

一种靶材合金背板的制作方法，包括：向熔炼设备内通入保护气体，所述保护气体压强为1标准大气压到50标准大气压；对所述熔炼设备中的第一金属进行熔化。通过向熔炼设备中通入保护气体，避免设备中含有杂质，减少待熔炼金属溶化后内部的杂质；所述保护气...

一种靶材的处理装置及处理方法，所述处理装置包括清洗架，所述清洗架内部设有通气管；所述通气管侧壁上具有通孔。处理方法中包括提供靶材；将所述靶材放置于清洗架内；所述通气管内气体通过所述通孔对所述靶材表面进行处理。通过所述通气管的作用使得所述...

一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供背板；在所述背板部分表面依次形成第一中间层和靶材；在所述靶材的顶部及侧壁表面形成第二中间层，且所述第二中间层覆盖所述背板暴露的表面；对所述背板、所述第一中间层及所述靶材进行焊接处理，以形成靶材...