本实用新型涉及一种长寿命溅射靶材组件，所述长寿命靶材组件包括阶梯状靶材与环形背板；所述阶梯状靶材包括靶材基板以及凸出于靶材基板溅射面的凸块，靶材基板的中心与凸块的中心同心；所述靶材基板的侧壁与环形背板的内壁连接。本实用新型通过选用环状背...

本发明涉及一种溶解钼铌合金样品的混合酸，所述混合酸由体积比为1:(2‑3):(2‑2.5)的硝酸、氢氟酸和甲基磺酸组成；所述硝酸的质量浓度为65‑70％；所述氢氟酸的质量浓度为33‑36％；所述甲基磺酸的质量浓度为30‑45％。本发明提...

本发明涉及一种钨硅靶坯的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将硅化钨粉和硅粉进行混合，得到混粉；(2)将步骤(2)得到混粉进行热压烧结，得到所述钨硅靶坯；所述热压烧结包括依次进行的第一升温、第二升温和加压处理。本发明提供的方法，通...

本发明涉及一种平面度≤0.03mm不锈钢棒材的加工方法，所述加工方法包括如下步骤：(1)对棒材进行依次进行热处理和研磨，得到中间料；(2)将步骤(1)得到的中间料依次进行粗加工和精加工，得到所述不锈钢棒材；所述精加工中夹具的上端面设置有...

本发明涉及一种电镀阳极材料含硫镍珠的表面清洗方法，先将待清洗的电镀阳极材料含硫镍珠放入化学清洗剂中进行化学清洗，然后将化学清洗得到的含硫镍珠进行机械研磨清洗，进而完成电镀阳极材料含硫镍珠的表面清洗。本发明所述表面清洗方法针对电镀阳极材料...

本发明涉及一种钽靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：对焊接面设置螺纹的钽靶材进行熔射处理，对背板的焊接面进行喷砂处理，之后将熔射处理后的钽靶材和喷砂处理后的背板进行热等静压焊接，得到钽靶材组件。本发明提供的焊接方法，通过对钽靶材表面设...

本发明提供了一种钼靶焊接方法，所述钼靶焊接方法包括如下步骤：(1)将焊料分别放置于升温后的背板焊接面以及升温后的钼靶焊接面；(2)使焊料均布于背板焊接面以及钼靶焊接面；(3)使用圆盘钢丝刷对均布有焊料的钼靶焊接面进行表面处理；(4)对步...

本发明涉及一种C‑SiC溅射靶材的形貌组分检测方法，所述形貌组分检测方法包括对C‑SiC溅射靶材依次进行抛光和喷金，之后进行SEM及EDS检测。本发明提供的检测方法，通过对检测前样品的合理预处理如抛光和喷金，可以准确的观察到靶材的微观结...

本发明涉及一种环件中滚花深度的检测方法，所述检测方法包括：对深度仪进行点检，若点检中深度仪示数为1.47‑1.54mm，开始滚花深度的检测；滚花深度检测中选择至少8个位点进行测试。本发明中，通过点检及选取合适的检测位点数，实现了环件中滚...

本实用新型涉及一种背板检测检具，所述检具包括底板和检测件；所述检测件垂直设置于所述底板上；所述检测件包括第一检测件、第二检测件、第三检测件及第四检测件；所述第一检测件、第二检测件、第三检测件及第四检测件分布于同一圆上；所述第一检测件和所...

本实用新型提供一种靶材背板的装夹装置，所述靶材背板的装夹装置通过改进装夹的齿形结构，并增设第三齿形夹块组，增加了工件的放置位置，不仅提高了清洗效率，而且有效克服了工件产品较多时滞留现场出现的氧化问题以及大量产品占用设备产能和现场空间的问...

本实用新型提供了一种铸造机的冷却水进水装置，所述装置包括管路系统和控制系统；所述管路系统包括进水总路和至少2条进水支路，所述进水总路的出口端与每条所述进水支路的入口端连接；所述铸造机设置的结晶器数目与所述进水支路的数目相同，每个所述结晶...

本发明涉及一种钨靶材与铜锌合金背板的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括如下步骤：(1)对钨靶材粗糙度Ra≤3μm的焊接面进行镀钛膜处理，之后依次对镀膜后钨靶材进行清洗和干燥处理；(2)将步骤(1)干燥后的钨靶材和铜锌合金背板装配后置于包...

本发明公开了一种超高纯铜系靶材与背板的焊接方法，所述焊接方法包括：将带有螺纹的背板焊接面进行镀膜处理，然后与超高纯铜系靶材进行装配；将装配好的超高纯铜系靶材和背板放入包套，将所述包套封口后抽真空；将抽真空后的包套进行热等静压处理，完成超...

本发明涉及一种铝靶材与铝背板的钎焊方法，所述铝背板的焊接面设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第二凹槽；所述第一凹槽的直径等于所述铝靶材的直径；所述铝靶材焊接面设置有与所述铝背板焊接面第二凹槽相配合的凸起；所述钎焊方法包括如下步骤：(1...

本发明涉及一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钨粉、钛粉与硅粉按照质量比例混合均匀，得到钨钛硅混合粉；(2)将所述钨钛硅混合粉装入模具并封口；(3)在1280～1320℃下进行热压烧结处理，得到钨钛硅合...

本发明涉及一种钽铝合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钽粉和铝粉按照质量比例混合均匀，得到钽铝混合粉；(2)将所述钽铝混合粉装入模具并封口；(3)在1050～1150℃下进行热压烧结处理，得到钽铝合金溅射靶材粗品；...

本发明涉及一种WTi合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括：将W粉、高纯Ti粉和低纯Ti粉放入不锈钢内衬混粉机中进行混合，然后装入模具并封口；依次经过热压烧结处理、机加工得到WTi合金溅射靶材。所述制备方法采用现有技术易得的原材料粉末...

本发明提供一种钛铝合金靶材及其焊接的方法，所述钛铝合金靶材组件焊接的方法通过在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层，并在钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，降低了扩散焊接的难度，提高了钛铝合金靶材与背板的焊接强度并减少了焊接过程...

本发明提供一种钼靶材与背板的钎焊方法，所述方法包括所述钼靶材与所述背板凹槽外侧的平台进行平焊。所述钎焊方法可以解决下沉槽结构焊接，焊接后台阶上焊料少，导致局部脱焊的问题，焊接整体结合率高，单个缺陷率低。