本发明涉及一种晶圆锁紧环的制备方法，所述制备方法先将圆柱状钛锭依次进行锻伸处理、第一热处理、热轧处理和第二热处理得到钛热轧件，然后经过粗车加工将所述钛热轧件的中心部位掏空，随后进行第三热处理得到钛环件，最后将所述钛环件按照目标尺寸进行精...

本实用新型提供了一种辉光放电质谱用样品夹，所述辉光放电质谱用样品夹包括样品夹主体；所述样品夹主体设置有置物凹槽；所述置物凹槽内设置有夹持件，所述置物凹槽的内壁设置有与夹持件配合的紧固件；所述夹持件在紧固件的作用下沿水平方向移动。本实用新...

本实用新型提供一种靶材背板及钛靶材组件，所述靶材背板包括背板焊接面和与所述背板焊10接面相背的背板冷却面；所述背板冷却面设置有以靶材背板的圆心为中心呈中心对称分布的至少两个螺旋水槽；所述螺旋水槽的槽宽为9～10mm；通过上述结构和尺寸设...

本实用新型涉及一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。本实用新型通过对环件表面花纹形状及花纹表面的改变，使得该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

本实用新型提供了一种热等静压用包套，所述热等静压用包套包括套体、上盖板和下盖板；所述套体为上下端均开口的结构，所述上盖板和所述套体的上端开口形状相同，所述下盖板和所述套体的下端开口形状相同；所述上盖板和所述下盖板均为平面板状结构，所述上...

本发明涉及一种钒钨合金靶坯的制备方法，所述钒钨合金靶坯中钒和钨的质量比为(10.06‑10.16):1；所述制备方法包括如下步骤：按配方将钒粉和钨粉在转速为500‑600r/min下进行球磨，之后加入模具中夯实后进行烧结，得到所述钒钨合...

本发明提供一种延长环件寿命的处理方法，所述处理方法包括：对环件依次进行固溶、时效和滚花处理；所述滚花处理包括对环件的外圆周面、圆环形外端面以及外圆周面与圆环形外端面的圆角连接处进行滚花处理；本发明通过将固溶、时效和滚花处理结合起来，利用...

本发明提供了一种环形背板的加工方法，所述方法包括以下步骤：将锭材进行镗孔处理，得到芯材和空心锭材；将得到的空心锭材进行切断处理，然后进行精加工，得到规定尺寸的环形背板。本发明所述方法通过对锭材整体进行镗孔处理，可以得到大尺寸的芯材，便于...

本发明提供了一种晶圆固定环及其制备方法与应用，所述晶圆固定环包括底面凹槽以及贯通所述底面凹槽的通孔；所述通孔的侧壁对称设置有至少2个突出部；所述晶圆固定环顶面包括依次设置的喷砂区域与熔射区域；所述喷砂区域为由通孔侧壁向晶圆固定环侧壁延伸...

本发明提供了一种带尖角结构件的真空包装方法，所述真空包装方法包括：将带尖角结构件的尖角位置包裹包装膜，在尖角处对折形成双层包装结构；将处理后的结构件置于第一包装袋后抽真空，抽真空过程中通入保护性气体进行置换，直至抽真空完成；抽真空后，将...

本发明提供一种薄壁零部件装夹加工的方法，所述方法包括：采用液态石蜡对薄壁零部件进行装夹，冷却至液态石蜡凝固后，对所述薄壁零部件进行加工，能够实现对薄壁零部件整体的装夹，有效缓解了加工过程中零部件变形的问题，具有减缓震动的优势。

本实用新型提供一种化学机械抛光垫及抛光装置，所述化学机械抛光垫通过在旋转中心设置中心凹槽，加强了对研磨液的留存能力，能够有效疏散抛光过程中产生的热量，降低了抛光垫中心的温度，从而最终缓解了抛光垫脱胶的问题并提高了抛光垫的使用寿命；包含所...

本发明提供一种铝靶材与铝合金背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对所述铝合金背板进行固溶处理和时效处理，得到硬度增强铝合金背板；(2)对步骤(1)得到的所述硬度增强铝合金背板的焊接面进行车削螺纹，并对所述铝靶材以及铝合金背板进行...

本发明涉及一种靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：在靶材的焊接面机加工出凸台；在背板的焊接面机加工与凸台对应的嵌槽，并在嵌槽的底面机加工至少2个环形凸齿；组合靶材与背板，使靶材的凸台嵌入背板的嵌槽中，然后进行热等静压焊接，得到...

本发明涉及一种钽靶材焊接面的处理方法，钽靶材焊接面由从外到内的第一圆环、第二圆环和圆面组成；所述处理方法包括：对所述第一圆环进行熔射处理，对所述第二圆环进行喷砂处理，对所述圆面依次进行喷砂处理和熔射处理。本发明提供的处理方法，通过采用对...

本发明提供了一种包套组装焊接的方法，所述方法包括以下步骤：将包套的环形侧壁与下盖板组装后依次进行气体保护焊和激光焊接，得到包套半成品；将待焊接组件或待成型粉末装入包套半成品中；将包套半成品与上盖板组装后依次进行气体保护焊和激光焊接，再进...

本实用新型提供了一种圆形靶材组件，所述圆形靶材组件包括靶坯以及与靶坯连接的背板；所述背板的焊接面环绕靶坯，镜像分布有至少12个垫圈孔；所述至少12个垫圈孔与圆形靶材组件中心轴的距离相等；所述垫圈孔为凸台状垫圈孔，凸台状垫圈孔的小径端远离...

本发明涉及一种圆形钛靶材和背板的焊接整形一体化方法，所述一体化方法包括：分别在圆形钛靶材的焊接面和背板的焊接面上浸润熔化的焊料，并将两者的焊接面相贴合，且所述圆形钛靶材位于所述背板的上方；在所述圆形钛靶材的上方放置垫块，并在所述垫块的上...

本发明涉及一种超高纯铜或铜合金中晶粒的细化方法，所述细化方法包括：将超高纯铜或铜合金坯料加热，之后依次进行第一等径角挤压和第二等径角挤压。本发明提供的方法，通过采用特定的等径角挤压过程，使得晶粒细化至5μm以下，进而保证靶材采用细化后的...

本发明涉及一种二氧化硅靶坯的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将二氧化硅粉末进行烘干，之后加入到烧结模具内进行夯实，得到生坯；(2)将步骤(1)得到的所述生坯进行热压烧结，除去磨具，得到所述二氧化硅靶坯；其中，所述热压烧结包括依...