一种钛靶材与铝背板的装配方法组成比例

本发明专利技术提供及一种钛靶材与铝背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；(3)对所述铝背板开设散热水道；(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理。所述装配方法使得钛靶材与铝背板的结合率高，个体缺陷率低，冷却水道的设计提高了装配后的靶材的使用性能。

【技术实现步骤摘要】
一种钛靶材与铝背板的装配方法
本专利技术属于靶材的装配领域，涉及一种钛靶材与铝背板的装配方法。
技术介绍
在大规模的光学镀膜领域，常采用靶材组件在基底表面进行等离子体气相沉积(PlasmaVaporDeposition，PVD)镀膜，形成阻挡层。所述靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定强度的背板构成。所述背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。在溅射过程中，靶材组件的工作环境一般较恶劣，例如，靶材组件工作温度较高，可达300℃～500℃；另外，靶材组件的一侧充以冷却水强冷，而另一侧则处于高真空环境下，由此在靶材组件的两侧形成有巨大的压力差；再有，靶材组件处在高压电场、磁场中，受到各种粒子的轰击。在如此恶劣的环境下，如果靶材组件中靶材与背板之间的结合度较差，将导致靶材在受热条件下变形、开裂，甚至与结合的背板相脱落，使得溅射无法正常进行。因此，选择一种有效的焊接方式，使得靶材与背板实现可靠结合，满足长期稳定生产、使用靶材的需要，就显得十分必要。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种钛靶材与铝背板的装配方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：/n(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；/n(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；/n(3)对所述铝背板开设散热水道；/n(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理。/n

【技术特征摘要】
1.一种钛靶材与铝背板的装配方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)对钛靶材以及铝背板进行预处理；
(2)对表面处理后的所述钛靶材以及铝背板进行装配并焊接；
(3)对所述铝背板开设散热水道；
(4)对装配后的钛靶材以及铝背板表面进行表面处理。


2.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述钛靶材的预处理方法包括：对所述靶材的焊接面车削端面和斜面螺纹，对所述靶材的焊接面进行IPA液超声清洗并干燥；
优选地，所述钛靶材的晶粒≤100μm；
优选地，所述端面和斜面螺纹的螺距为(0.4～0.5)*(0.1～0.2)；
优选地，所述超声清洗的时间不低于10min；
优选地，所述干燥为真空干燥，所述真空干燥的真空度不高于0.01Pa，时间不低于60min。


3.根据权利要求1或2所述的装配方法，其特征在于，所述铝背板的预处理方法包括：对所述铝背板的焊接面进行车削无螺纹加工，对所述铝背板的焊接面进行IPA液超声清洗并干燥；
优选地，所述车削后焊接面的粗糙度Ra小于等于0.4μm；
优选地，所述超声清洗的时间不低于10min；
优选地，所述干燥为真空干燥，所述真空干燥的真空度不高于0.01Pa，时间不低于60min。


4.根据权利要求1-3任一项所述的装配方法，其特征在于，所述焊接包括焊接前装配、包套焊接与脱气以及热等静压焊接。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，章丽娜，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33