本发明提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法包括对高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料；对所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料；对所述研磨后高纯镍蒸...

本发明提供一种延长钨钛靶材寿命的方法，所述方法包括：对焊接后的钨钛靶材以及铜背板的溅射面的边缘进行车削斜角处理，对喷砂区域进行遮蔽处理；对溅射面斜面进行铣削花纹处理；去除遮蔽物对喷砂区域进行喷砂处理；对钨钛靶材以及铜背板进行抛光处理。所...

本发明提供了一种提高含钨靶材焊接结合率的方法，所述方法包括以下步骤：将含钨靶材的焊接面进行清洗处理，然后采用物理气相沉积法对靶材的溅射面进行镀膜，得到镀膜靶材；将镀膜靶材和背板的焊接面上浸润钎料后焊接，得到靶材组件。本发明所述方法针对传...

本实用新型提供了一种环件角度检具，所述环件角度检具包括检测套与插销；所述检测套的内环面设置有至少5个轴向凹槽；所述轴向凹槽经过贯穿孔连通于检测套的外环面；所述轴向凹槽的位置与待测环件的凸块位置相适配；所述插销的尺寸与贯穿孔的尺寸相适配。...

本发明涉及一种对于粉末压结类靶材焊接面的镀镍方法，所述镀镍方法包括：将表面处理后的粉末压结类靶材放入物理气相沉积炉内，采用钛靶对粉末压结类靶材焊接面依次进行PVD轰击处理、PVD镀钛膜处理，采用镍靶对钛膜的表面进行PVD镀镍膜处理，得到...

本发明涉及一种对于粉末压结类靶材焊接面的镀镍方法，所述镀镍方法包括：将表面处理后的粉末压结类靶材放入物理气相沉积炉内，对粉末压结类靶材焊接面先采用钛靶进行PVD轰击处理，再采用镍靶进行PVD镀膜处理，得到带有镍膜的粉末压结类靶材。本发明...

本实用新型提供了一种靶材环件的包装结构，所述包装结构包括靶材环件、真空包装袋和模具，所述靶材环件呈中空薄壁结构，放置于真空包装袋内，所述模具间隔真空包装袋放置于靶材环件的中空结构中，并与靶材环件的内壁相接触。本实用新型所述包装结构通过将...

本发明提供一种钼靶材与背板的扩散焊接方法，所述焊接方法包括：对所述钼靶材的焊接面进行车削端面螺纹和台阶端面螺纹处理；对所述背板进行机加工台阶凹型槽处理；对所述钼靶材的焊接面进行超声清洗以及干燥处理；将所述钼靶材以及所述背板进行装配，依次...

本实用新型涉及一种用于晶圆光刻的盖盘，所述盖盘为凹型结构；所述凹型结构的底部设置有凹槽；所述凹槽中心处设置有通孔；所述凹型结构的中心线和所述凹槽的中心线相重合；所述凹型结构的侧面距离所述凹形结构的底面6‑7mm的位置设置有与底面相平行的...

本实用新型提供了一种半导体用散热盘检漏装置，所述检漏装置包括依次连接的进液管路、散热盘和出液管路，所述散热盘内部设有流道，所述散热盘表面设有进液口和出液口。本实用新型所述检漏装置通过将散热盘连接至进、出液管路中，通过对流体流经散热盘前后...

本实用新型提供了一种管件内径直线度和圆度的检测装置，所述检测装置包括检测平台、检测设备、数据收集设备、夹持组件和移动组件，待测管件水平设置于检测平台上，所述检测设备设置于夹持组件的一端，伸入待测管件的内部，所述数据收集设备设置于夹持组件...

本发明提供一种高纯硅靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括：对所述硅靶材的焊接面进行镀镍处理；在所述焊接面放置焊料以及铜丝，将所述硅靶材与背板装配，加热进行钎焊，加压条件下使焊料充分浸润焊接面，冷却后完成钎焊。所述钎焊方法可以解决硅靶...

本实用新型涉及一种一体式热板，所述一体式热板包括主体和与之相配合的盖板；所述主体内设置热介质通道；所述热介质通道的内表面设置有氧化铝层；所述盖板的厚度≤1mm；所述主体底面的厚度≤1mm。本实用新型通过优化结构，采用了主体与盖板设计，用...

本实用新型提供了一种具有防脱落结构的靶材组件，所述具有防脱落结构的靶材组件包括靶材与背板；所述靶材的上表面边缘为第一防脱落区；所述靶材的侧面分为第二防脱落区与第三防脱落区；所述背板的上表面设置有第四防脱落区；所述第四防脱落区内设置有至少...

本实用新型提供了一种防松动钽件，所述防松动钽件包括钽环主体以及与钽环主体连接的至少3个导电凸结体；所述导电凸结体的基底与钽环主体连接，导电凸结体远离基底的一端设置有凹槽；所述凹槽内设置有螺纹固定柱，所述螺纹固定柱开设有螺纹固定孔；所述螺...

本发明涉及一种辉光放电质谱中高纯铟的制样方法，所述制样方法包括：将高纯铟样品首先进行压片处理，得到高纯铟片；对所述高纯铟片进行刺孔处理，之后依次进行第一酸处理、第二酸处理、第三酸处理及漂洗，得到待测高纯铟样品。本发明提供的辉光放电质谱中...

本发明提供一种检测AlSc合金成分的方法，所述方法包括混合AlSc合金与混合酸，加热，得到混合溶液，放置于电感耦合等离子体发射光谱仪中进行检测；所述混合酸包括体积比为(2.5～3.5):1的盐酸与硝酸；所述盐酸的浓度为38～42wt％；...

本发明提供一种检测NiCr合金成分的方法，所述方法包括第一混合NiCr合金与盐酸，加热，再与硫酸进行第二混合，得到混合溶液，放置于电感耦合等离子体发射光谱仪中进行检测；所述盐酸和硫酸的体积比为(1.8～2.2):1；所述盐酸的浓度为38...

本发明提供一种检测Ti

本发明提供了一种高纯钽靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将高纯钽源置于氢化炉中并抽真空，抽真空后通入氢气加热，待氢化炉内压力不再下降后，停止加热，得到氢化钽源；将得到的氢化钽源破碎，然后依次进行冷等静压、脱气处理以及热等静压，得...