一种半成品靶材背板的管理方法技术

本发明专利技术提供一种半成品靶材背板的管理方法，所述方法包括：对所述半成品靶材背板的导电率进行测试，并与检移票的成分进行比较；比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板；对所述半成品靶材背板依次进行清洗、干燥以及包装。所述管理方法可以避免生产过程中出现的半成品靶材背板的混淆隐患，保证产品质量，且所述管理方法高效简便，无需对现有生产工艺进行调整。

【技术实现步骤摘要】
一种半成品靶材背板的管理方法
本专利技术属于靶材制造领域，涉及一种半成品靶材背板的管理方法。
技术介绍
溅射靶材背板(SputteringTargetBackPlate，BP)：金属溅射靶材是溅射沉积技术中用做阴极的材料。该阴极材料在溅射机台中被带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。由于金属溅射靶材往往是高纯的铝、铜、钛、镍、钽及贵金属等比较贵重的材料，所以在其制造时常常使用比较普通的材料来作为背板。背板起到支撑靶材、冷却、降低成本等作用，常用的材料有铝合金(ALBP)、铜合金(CUBP)等。现有技术中靶材背板在使用安装过程中对金属材料特性有非常高的要求，未热等静压焊接焊接前一但背板与Blank配合焊接材料成分未符合要求会导致产品报废，靶材一但出货使用性能和质量均存在风险。CN102203314A公开了一种包含稀土金属或其氧化物的靶的保存方法，用于保存包含稀土金属或其氧化物的靶，在该靶的保存用容器或薄膜状的密封件中，引入与保存的包含稀土金属或它们的氧化物的靶相同的稀土金属的氧化物作为干燥剂，并将所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半成品靶材背板的管理方法，其特征在于，所述方法包括：/n对所述半成品靶材背板的导电率进行测试，并与检移票的成分进行比较；/n比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板；/n对所述半成品靶材背板依次进行清洗、干燥以及包装。/n

【技术特征摘要】
1.一种半成品靶材背板的管理方法，其特征在于，所述方法包括：
对所述半成品靶材背板的导电率进行测试，并与检移票的成分进行比较；
比较正确后将产品编号刻于所述半成品靶材背板；
对所述半成品靶材背板依次进行清洗、干燥以及包装。


2.根据权利要求1所述的管理方法，其特征在于，所述检移票记录所述半成品靶材背板的产品编号以及成分。


3.根据权利要求1或2所述的管理方法，其特征在于，所述比较的方法包括：将测得的所述半成品靶材背板的导电率数据，与所述产品编号以及成分的理论电导率进行比较。


4.根据权利要求1-3任一项所述的管理方法，其特征在于，所述产品编号刻于所述半成品靶材背板的边缘。


5.根据权利要求1-4任一项所述的管理方法，其特征在于，所述清洗为超声波清洗；
优选地，所述超声波清洗时所述半成品靶材背板的焊接面朝向超声设备；
优选地，所述超声清洗的时间不低于10min。


6.根据权利要求5所述的管理方法，其特征在于，所述超声波清洗后吹干所述半成品靶材背板；
优选地，所述吹干依次吹干所述半成品靶材背板的背面、边缘面以及焊接面。


7.根据权利要求1-6任一项所述的管理方法，其特征在于，所述干燥的温度为68～72℃；

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，于江花，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33