本发明公开了一种基板处理装置及包括其的基板处理系统及基板处理方法，根据本发明的实施例的基板处理装置包括：多个显影腔室，排列成一列；以及喷嘴单元，包括设置在所述多个显影腔室中的至少任一个而向基板供应显影液的多个显影液供应喷嘴，所述喷嘴单元...

本发明提供一种加热单元、包括其的基板处理装置以及基板处理设备。可以是，加热单元包括：加热板，设置在加热空间内，并用于以支承基板的状态加热基板；以及固定部，用于固定所述加热板的位置，所述固定部包括：多个固定部件，沿着所述加热板的周缘以一定...

本发明公开了化学液体去除单元、去除残留的化学液体的方法以及用于供应化学液体的装置。化学液体去除单元可以从喷墨头去除残留的化学液体。化学液体去除单元可以包括：表面张力提供部，被配置成利用表面张力从喷墨头的喷嘴面去除残留的化学液体；驱动部，...

本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：电极板，其被施加电力；离子阻挡器，其位于所述电极板的底侧，在所述离子阻挡器上形成有多个顶孔，并且所述离子阻挡器接地；喷头，其位于所述离子阻挡器的底侧，并且在所述喷头上形成有多个底孔...

提供了在运输车和装载端口之间递送容器的容器递送单元以及包括该容器递送单元的物流运输系统。物流运输系统包括：容器运输单元，安装在半导体制造厂中，容器运输单元运输装载有半导体衬底的容器；装载端口单元，装载或卸载容器；半导体制造装备，连接到装...

本发明的实施例提供一种在利用微波的热处理工艺中能够以低费用调节基板的热分布的热处理装置以及其工作方法。根据本发明的使用微波的热处理装置包括：腔室，形成基板的热处理空间；基板支承单元，位于所述热处理空间的下部并支承所述基板；以及微波单元，...

提供了一种基底处理设备和基底处理方法，基底处理设备和基底处理方法能够防止抽吸孔由于在基底浮动和被印刷时所产生的气流而堵塞，并且基底处理设备包括：基底台，用于支撑基底；以及处理液喷射装置，安装在基底台上方以将处理液喷射到基底上，其中，基底...

本发明的实施例提供一种对基板进行表面处理以及可以有效地执行处理腔室的清洗的等离子体生成模组、其工作方法以及包括其的等离子体处理装置。根据本发明的等离子体处理装置中，在处理空间用于形成等离子体的等离子体生成模组包括：电源，用于形成所述等离...

本发明提供了即使在基板变形时也能够控制夹具稳定吸附基板的基板处理装置及方法，该基板处理装置包括：悬浮台，用于使基板悬浮；升降销，可升降地安装在悬浮台中；基板对准器，用于对准从悬浮台悬浮的基板；夹具，用于真空吸附经对准的基板；以及控制器，...

本公开涉及一种可以冲洗过滤器的过滤器冲洗设备和过滤器冲洗方法，该过滤器冲洗设备可以包括：主体，其中能够安装至少一个过滤器；去离子(DI)水供应单元，能够以期望时间间隔选择性地向安装在主体中的过滤器供应具有不同温度的多种类型的DI水，从而...

本发明涉及根据分别设置药液供应喷嘴和气体供应喷嘴提高基板的干燥性能的包括喷嘴单元的基板处理装置及基板处理方法。喷嘴单元，包括：第一喷嘴，向基板上喷出液；第一驱动模组，移动所述第一喷嘴；第二喷嘴，向基板上喷出气体；以及第二驱动模组，被相对...

本发明涉及基板加热装置和利用其的基板处理装置，更详细地涉及构造改善成能够有效地冷却端子条的基板加热装置和利用其的基板处理装置。本发明提供一种基板加热装置，用于加热基板，其特征在于，所述基板加热装置包括：加热部，是配置于所述基板的下方的热...

提供了一种液体化学品罐模块和一种液体化学品供应设备，液体化学品罐模块包括：罐体，具有能够储存液体化学品的储存空间；气体喷射器，用于将不活泼气体喷射到液体化学品中以减少罐体的液体化学品中的溶解氧；以及控制器，用于向气体喷射器施加控制信号以...

本发明构思提供一种干燥设备及基板处理设备。基板处理设备包含：第一腔室，具有供应端口，以用于供应处理流体；第二腔室，与第一腔室结合限定处理空间；支承构件，用以支承处理空间中的基板；及挡板单元，安装在第一腔室中以面向供应端口，且其中挡板单元...

本发明提供一种能够在扩张晶圆时使晶粒之间的间隙变得均匀的晶圆扩张装置和方法以及晶粒键合系统，可以包括：晶圆台，对晶圆被贴附于切割胶带上的晶圆环进行支撑；支撑环，形成于所述晶圆台，支撑所述切割胶带；切割胶带扩张装置，形成于所述晶圆台上，至...

本发明提供了一种为了形成半导体器件而拾取由晶圆通过切割工序被单片化的晶粒并键合至基板的晶粒键合装置及晶粒键合方法，可以包括：键合模块，由从粘合于切割胶带上的晶圆拾取晶粒并移送至中间台的拾取单元、和对移送至所述中间台的所述晶粒进行拾取并键...

本发明提供一种能够迅速且大量地处理小型尺寸的半导体封装件的封装件分类装置和方法以及封装件处理系统，可以包括：封装件引导装置，将封装件整体上倾斜地从第一位置引导至第二位置；和封装件收集装置，收集引导至所述第二位置的所述封装件；所述封装件引...

本发明构思提供了一种传送机器人系统。本发明构思的实施方式提供了一种传送机器人系统和传送机器人系统驱动方法，其中可以防止移动机器人的瓶颈现象，因为在移动机器人的自主驱动期间，提前识别了移动机器人的地图内不存在的新障碍物，并且未通过所述新障...

本公开提供了能够对大尺寸基板执行高分辨率像素印刷的喷墨头单元以及包括该喷墨头单元的基板处理装置。基板处理装置包括：处理单元，支承和移动基板；喷墨头单元，对基板执行像素印刷；以及门架单元，使喷墨头单元在基板之上移动，其中，喷墨头单元包括：...

本发明提供了能够增加印刷的自由度并且能够针对每个单元评价工艺的多模型印刷方法。多模型印刷方法包括：登记用于在玻璃衬底的第一区域中喷墨印刷第一尺寸的第一单元的第一作业；登记用于在玻璃衬底的第二区域中喷墨印刷与第一尺寸不同的第二尺寸的第二单...