【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种液体化学品罐模块和一种包括液体化学品罐模块的液体化学品供应设备，并且，更具体地，涉及一种能够向基底处理设备供应用于处理基底的液体化学品的液体化学品罐模块和一种包括液体化学品罐模块的液体化学品供应设备。
技术介绍
1、执行诸如光刻、蚀刻、灰化和沉积的各种工艺以制造半导体器件(semiconductordevices)或液晶显示器。在这些工艺中，由于在基底上的电路图案的小型化要求，器件特性和产量对颗粒和污染物更加敏感。因此，在每种工艺之前或之后执行用于去除颗粒和污染物的清洁工艺。可以依次执行作为腔室中的清洁工艺的多个化学工艺、冲洗工艺和干燥工艺，并且可以通过在清洁工艺期间诱导干净的空气在腔室中向下流动来将在清洁工艺中生成的污染物或颗粒和烟雾排放到外部。
2、在基底的清洁工艺中，可以使用各种类型的液体化学品以去除基底上的污染物，并且可以通过定位于基底上方的喷洒喷嘴将液体化学品喷洒到基底上。可以通过包括液体化学品罐模块的液体化学品供应设备将待通过喷洒喷嘴来喷洒的用于基底的清洁工艺的液体化学品控制到适合于工艺条件的目标温度，并且然后将所述液体化学品供应到基底处理设备的喷洒喷嘴。
3、然而，根据上述液体化学品罐模块和包括液体化学品罐模块的液体化学品供应设备，在基底的清洁工艺期间，在液体化学品罐模块内部的氧可能逐渐增加并且因此残留在内部的液体化学品中的溶解氧也可能逐渐增加。因此，先进沉积材料(adm)蚀刻速率(er)和化学er可能降低并且因此可能引起基底缺陷。例如，当使用诸如adm的液体化学品时，在液
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种液体化学品罐模块和一种包括液体化学品罐模块的液体化学品供应设备，所述液体化学品罐模块能够通过在对基底的清洁工艺期间防止液体化学品罐模块内部的氧的增加来减少残留在液体化学品罐模块内部的液体化学品中的溶解氧。然而，以上描述仅是示例，并且本专利技术的范围不局限于此。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种液体化学品罐模块，液体化学品罐模块包括：罐体，具有能够储存液体化学品的储存空间；气体喷射器，用于将不活泼气体喷射到储存在储存空间中的液体化学品中以减少储存在罐体的储存空间中的液体化学品中的溶解氧；以及控制器，用于向气体喷射器施加控制信号以控制通过气体喷射器喷射的不活泼气体的流量，其中，气体喷射器包括：气体管道，在罐体的高度方向上穿过罐体的表面延伸到储存空间中，并且至少部分地浸在储存在储存空间中的液体化学品中，以将不活泼气体从罐体的外部供应到储存空间中；以及多个喷射喷嘴，沿着气体管道的延伸方向以预定间隙提供，以将不活泼气体喷射到储存空间或储存在储存空间中的液体化学品中。
3、气体喷射器可以包括安装在罐体中的多个气体喷射器。
4、多个气体喷射器可以包括：第一气体喷射器，安装在罐体的一侧处，以将不活泼气体喷射到储存空间或储存在储存空间中的液体化学品中；以及第二气体喷射器，安装在罐体的另一侧处以面对第一气体喷射器，以将不活泼气体喷射到储存空间或储存在储存空间中的液体化学品中。
5、液体化学品罐模块还可以包括传感器，传感器用于感测储存在罐体的储存空间中的液体化学品的液位。
6、传感器可以包括多个液位传感器，多个液位传感器与多个喷射喷嘴相对应、安装在气体管道上并且分别定位为与多个喷射喷嘴相邻以感测液体化学品。
7、多个喷射喷嘴可以包括：第一喷射喷嘴，从储存空间的底表面起以预定高度提供于气体管道上，以便以与底表面相邻的高度定位；以及第二喷射喷嘴，提供于气体管道上的第一喷射喷嘴上方，以便与第一喷射喷嘴以第一间隙间隔开，并且多个液位传感器可以包括：第一液位传感器，安装在气体管道上的第一喷射喷嘴上方，以便与第一喷射喷嘴相邻并与第一喷射喷嘴以小于第一间隙的第二间隙间隔开；以及第二液位传感器，安装在气体管道上的第二喷射喷嘴上方，以便与第二喷射喷嘴相邻并与第二喷射喷嘴以第二间隙间隔开。
8、多个喷射喷嘴还可以包括第n喷射喷嘴，第n喷射喷嘴提供于气体管道上的第n-1喷射喷嘴上方，以便与第n-1喷射喷嘴以第一间隙间隔开，并且多个液位传感器还可以包括第n液位传感器，第n液位传感器安装在气体管道上的第n喷射喷嘴上方，以便与第n喷射喷嘴相邻并与第n喷射喷嘴以第二间隙间隔开。
9、多个液位传感器可以安装在第一气体喷射器和第二气体喷射器中的至少一者上。
10、传感器可以包括液体高度传感器，液体高度传感器安装在罐体的上侧处以便以非接触方式测量储存在储存空间中的液体化学品的液位。
11、控制器可以从传感器接收液体化学品的液位信息并且向气体喷射器施加控制信号，使得通过来自多个喷射喷嘴之中的浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的流量高于通过来自多个喷射喷嘴之中的未浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的流量。
12、控制器可以基于液体化学品的液位信息来反馈-控制通过浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的流量，使得通过浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的总流量恒定地保持，而不管浸在液体化学品中的喷射喷嘴的数量基于液体化学品的液位的变化如何变化。
13、当浸在液体化学品中的喷射喷嘴的数量由于液体化学品的液位的增加而增加时，控制器可以向气体喷射器施加控制信号以降低通过浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的流量，使得通过浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的总流量恒定地保持。
14、当浸在液体化学品中的喷射喷嘴的数量由于液体化学品的液位的降低而减少时，控制器可以向气体喷射器施加控制信号以增加通过浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的流量，使得通过浸在液体化学品中的喷射喷嘴喷射的不活泼气体的总流量恒定地保持。
15、控制器可以向气体喷射器施加控制信号，使得不活泼气体通过浸在液体化学品中的喷射喷嘴以第一流量均等地喷射并且通过未浸在液体化学品中的喷射喷嘴以第二流量均等地喷射，并且使得第一流量高于第二流量。
16、多个喷射喷嘴可以基于气体管道的延伸方向垂直于气体管道提供，以在与储存在罐体的储存空间中的液体化学品的表面平行的方向上喷射不活泼气体。
17、多个喷射喷嘴可以基于气体管道的延伸方向以与气体管道成预定角度向上倾斜，以朝向储存在罐体的储存空间中的液体化学品的表面斜向地喷射不活泼气体。
18、多个喷射喷嘴可以以与气体管道成40°至50°的预定角度向上倾斜。
19、根据本专利技术的另一方面，提供了一种液体化学品供应设备，液体化学品供应设备包括：第一液体化学品罐，用于向用于处理基底的基底处理设备供应液体化学品；以及第二液体化学品罐，通过至少一条循环管线连接到第一液体化学品罐以使液体化学品循环到第一液体化学品罐，并将液体化学品控制本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种液体化学品罐模块，包括：
2.根据权利要求1所述的液体化学品罐模块，其中，所述气体喷射器包括安装在所述罐体中的多个气体喷射器。
3.根据权利要求2所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个气体喷射器包括：
4.根据权利要求3所述的液体化学品罐模块，还包括传感器，所述传感器用于感测储存在所述罐体的所述储存空间中的所述液体化学品的液位。
5.根据权利要求4所述的液体化学品罐模块，其中，所述传感器包括多个液位传感器，所述多个液位传感器与所述多个喷射喷嘴相对应、安装在所述气体管道上并且分别定位为与所述多个喷射喷嘴相邻以感测所述液体化学品。
6.根据权利要求5所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个喷射喷嘴包括：
7.根据权利要求6所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个喷射喷嘴还包括第n喷射喷嘴，所述第n喷射喷嘴提供于所述气体管道上的第n-1喷射喷嘴上方，以便与所述第n-1喷射喷嘴以所述第一间隙间隔开，并且
8.根据权利要求5所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个液位传感器安装在所述第一气体喷射器和所述第
9.根据权利要求4所述的液体化学品罐模块，其中，所述传感器包括液体高度传感器，所述液体高度传感器安装在所述罐体的上侧处以便以非接触方式测量储存在所述储存空间中的所述液体化学品的所述液位。
10.根据权利要求4所述的液体化学品罐模块，其中，所述控制器从所述传感器接收所述液体化学品的液位信息并且向所述气体喷射器施加控制信号，使得通过来自所述多个喷射喷嘴之中的浸在所述液体化学品中的喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的流量高于通过来自所述多个喷射喷嘴之中的未浸在所述液体化学品中的喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的流量。
11.根据权利要求10所述的液体化学品罐模块，其中，所述控制器基于所述液体化学品的所述液位信息来反馈-控制通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的所述流量，使得通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的总流量恒定地保持，而不管浸在所述液体化学品中的喷射喷嘴的数量基于所述液体化学品的所述液位的变化如何变化。
12.根据权利要求11所述的液体化学品罐模块，其中，当浸在所述液体化学品中的喷射喷嘴的所述数量由于所述液体化学品的所述液位的增加而增加时，所述控制器向所述气体喷射器施加控制信号以降低通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的所述流量，使得通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的所述总流量恒定地保持。
13.根据权利要求11所述的液体化学品罐模块，其中，当浸在所述液体化学品中的喷射喷嘴的所述数量由于所述液体化学品的所述液位的降低而减少时，所述控制器向所述气体喷射器施加控制信号以增加通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的所述流量，使得通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的所述总流量恒定地保持。
14.根据权利要求11所述的液体化学品罐模块，其中，所述控制器向所述气体喷射器施加控制信号，使得所述不活泼气体通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴以第一流量均等地喷射并且通过未浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴以第二流量均等地喷射，并且使得所述第一流量高于所述第二流量。
15.根据权利要求1所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个喷射喷嘴基于所述气体管道的所述延伸方向垂直于所述气体管道提供，以在与储存在所述罐体的所述储存空间中的所述液体化学品的表面平行的方向上喷射所述不活泼气体。
16.根据权利要求1所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个喷射喷嘴基于所述气体管道的所述延伸方向以与所述气体管道成预定角度向上倾斜，以朝向储存在所述罐体的所述储存空间中的所述液体化学品的表面斜向地喷射所述不活泼气体。
17.根据权利要求16所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个喷射喷嘴以与所述气体管道成40°至50°的所述预定角度向上倾斜。
18.一种液体化学品供应设备，包括：
19.根据权利要求18所述的液体化学品供应设备，其中，所述循环管线包括：
20.一种液体化学品罐模块，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种液体化学品罐模块，包括：
2.根据权利要求1所述的液体化学品罐模块，其中，所述气体喷射器包括安装在所述罐体中的多个气体喷射器。
3.根据权利要求2所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个气体喷射器包括：
4.根据权利要求3所述的液体化学品罐模块，还包括传感器，所述传感器用于感测储存在所述罐体的所述储存空间中的所述液体化学品的液位。
5.根据权利要求4所述的液体化学品罐模块，其中，所述传感器包括多个液位传感器，所述多个液位传感器与所述多个喷射喷嘴相对应、安装在所述气体管道上并且分别定位为与所述多个喷射喷嘴相邻以感测所述液体化学品。
6.根据权利要求5所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个喷射喷嘴包括：
7.根据权利要求6所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个喷射喷嘴还包括第n喷射喷嘴，所述第n喷射喷嘴提供于所述气体管道上的第n-1喷射喷嘴上方，以便与所述第n-1喷射喷嘴以所述第一间隙间隔开，并且
8.根据权利要求5所述的液体化学品罐模块，其中，所述多个液位传感器安装在所述第一气体喷射器和所述第二气体喷射器中的至少一者上。
9.根据权利要求4所述的液体化学品罐模块，其中，所述传感器包括液体高度传感器，所述液体高度传感器安装在所述罐体的上侧处以便以非接触方式测量储存在所述储存空间中的所述液体化学品的所述液位。
10.根据权利要求4所述的液体化学品罐模块，其中，所述控制器从所述传感器接收所述液体化学品的液位信息并且向所述气体喷射器施加控制信号，使得通过来自所述多个喷射喷嘴之中的浸在所述液体化学品中的喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的流量高于通过来自所述多个喷射喷嘴之中的未浸在所述液体化学品中的喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的流量。
11.根据权利要求10所述的液体化学品罐模块，其中，所述控制器基于所述液体化学品的所述液位信息来反馈-控制通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的所述流量，使得通过浸在所述液体化学品中的所述喷射喷嘴喷射的所述不活泼气体的总流量恒定地保持，而不管浸在所述...
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