本发明涉及一种处理基材的设备。根据本发明，利用向该基材上喷射高温和高压的蒸汽清洗该基材。设置蒸汽产生器在该基材上连续提供蒸汽。在利用蒸汽清洗之后，可以利用刷子清洗。

提供了一种用于将功能水提供至处理单元的供应系统，该处理单元使用所述功能水来处理衬底。在该系统中，在功能水生成器中生成的功能水通过功能水输送管提供至分配器。之后，在处理单元执行处理时，将功能水提供至处理单元，而在处理单元未执行处理时，功能...

本发明提供了沉积有机化合物的设备，以在基底上沉积预定的有机膜。该设备包括沉积室、设置在沉积室内部并且支撑基底以使基底的沉积表面朝下的支撑构件、在其中安装有有机蒸发器以将有机化合物蒸镀到基底的沉积表面上的蒸发器安装部分，以及与蒸发器安装部...

本发明提供了一种用于执行划线过程的划线单元，在该划线过程中，将单元基底从形成有所述单元基底的板子中分离出来。所述划线单元包括兆声振动器，所述兆声振动器向轮子施加兆声振动从而使所述单元基底的断裂面平滑。因此，就能在清洁已分离出来的所述单元...

本发明提供了一种设置有反应室和扩散板的碳纳米管制备装置。所述扩散板设置有板子和位于所述板子的边缘上的气体引导部，在所述板子的中心部分中限定有催化剂供应孔，通过该催化剂供应孔供应金属催化剂。所述气体引导部将源气体引导至所述板子的中心部分，...

本发明提供一种制造碳纳米管的设备和使用该设备制造碳纳米管的方法，其中串联配置多个碳纳米管合成单元，以连续地进行碳纳米管合成过程。因此，可以合成具有一致质量的碳纳米管。

一种合成碳纳米管的装置，包括：　　　　反应管，用于定义让碳纳米管在其中生产的生产空间；　　　　用于加热所述反应管的加热单元；　　　　船形容器，在处理过程中，所述船形容器位于所述生产空间内，在所述船形容器上装载复合衬底；以及　　　　具有喷...

本发明涉及一种碳纳米管制备系统。该碳纳米管制备系统包括反应管，其中供应有金属催化剂和含碳气体并通过热解在该金属催化剂上生长碳纳米管；排放管道，沿该排放管道从该反应管排放含有在该金属催化剂上生长的碳纳米管的气体；以及碳纳米管捕集设备，其安...

本发明披露一种用于制造碳纳米管的反应室、一种用于制造碳纳米管的装置、以及一种用于制造碳纳米管的系统。该反应室包括反应炉、进气口、出气口、以及传热件。反应炉具有用于容纳基板的箱形结构，其中反应炉提供用于在基板上形成碳纳米管的空间。进气口具...

一种包括反应室、承载料盒、传送部、加热器、供气部和排气部的合成碳纳米管的装置。所述碳纳米管是在反应室中合成的。反应室具有基本垂直的长轴。承载料盒承载多个基板。传送部沿着基本平行于长轴的方向，将承载料盒装入反应室或从反应室中取出。加热器加...

在生成碳纳米管（ＣＮＴ）的装置和方法中，将工艺室加热至目标温度并将催化剂粉末送入已加热的工艺室。催化剂粉末在工艺室内按第一方向运动。源气按与该第一方向相反的第二方向送入工艺室，以使源气延缓催化剂粉末在第一方向上的运动，并使其与催化剂粉末...

在一种碳纳米管制造方法中，将设置为容纳基底的船形部放置在合成碳纳米管的合成空间的外部。将所述基底装载入所述船形部。然后将所述船形部传送至所述合成空间。在所述合成空间内的所述基底上进行碳纳米管合成处理以形成所述碳纳米管。由此，所述碳纳米管...

一种用于生产碳纳米管的系统，该系统包括在其中实施在合成基底上生产碳纳米管的工艺的反应室；布置在反应室的一侧并设有用于向／从反应室装载／卸载合成基底的第一输送器的台站部分；安装在所述台站部分内以用于向／从反应室装载／卸载合成基底的第一输送...

一种传送基片的装置中，分区壁以垂直方向设在所述壳体中，以将所述壳体的内部空间分为第一空间与第二空间。压力生成部件，其将所述第一空间分为上空间与下空间，并且其可在所述第一空间中以垂直方向移动以使所述上空间与所述下空间交替生成正压与负压。基...

一种基底传送装置，包括多个成排布置的轴和安装在各个所述轴上以随所述轴一起旋转的传送辊。引导单元被设置成这样：当基底通过所述传送辊的旋转而传送时，所述引导单元防止基底在侧向上摇动。所述引导单元包括：内环，它形成有让所述轴插入其中的通孔；外...

生成超声振动的装置及方法中，在超声振动生成器中生成的超声振动经由材料层传递以控制所述超声振动的强度及方向。清洗晶片的装置及方法中，清洗溶液供给器将用于清洗所述晶片的清洗溶液供给至所述晶片上。超声振动生成器生成超声振动。所述超声振动经由传...

本发明关于一种喷嘴构件、具有该喷嘴构件的处理液供给装置及利用该喷嘴构件供给处理液的方法。在供给处理液的喷嘴构件中，喷嘴构件包括壳体，设置在所述壳体内的多个供给单元，不同的处理液通过各个供给单元流到基板上，以及分别与所述供给单元连接的多个...

本发明提供一种用于制备混合蚀刻溶液的液体混合供给方法，其中将硫酸、过氧化氢、超纯水以及氢氟酸混合到一起。该液体混合供给方法包括：将特定液体化学品供给到混合罐，使得该特定液体化学品以ｐｐｍ单位混合；以及以预定比将至少两种液体化学品和超纯水...