划线单元、板子划线装置、划线方法和基底制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于执行划线过程的划线单元，在该划线过程中，将单元基底从形成有所述单元基底的板子中分离出来。所述划线单元包括兆声振动器，所述兆声振动器向轮子施加兆声振动从而使所述单元基底的断裂面平滑。因此，就能在清洁已分离出来的所述单元基底之前省略打磨所述单元基底的断裂面边缘的过程。

Scribing unit, board scribing device, scribing method, and substrate manufacturing method

The present invention provides a scribe unit for performing a scribing process in which a cell substrate is separated from a board forming a unit substrate. The scribing unit includes a mega acoustic vibrator that applies a mega acoustic vibration to the wheel so that the fracture surface of the unit substrate is smooth. Therefore, it is possible to omit the process of polishing the edge of the fracture surface of the unit substrate before cleaning the separated cell substrate.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在加工板子时用到的装置和方法。更具体地说，本发 明涉及对形成有多个单元基底的板子进行划线的划线单元；具有该划线 单元的划线装置；以及划线方法和使用该划线方法制造基底的方法。
技术介绍
最近，具有多种功能和更高数据处理速度的数据处理装置迅速发 展起来。每个这些数据处理装置都包括被设置成用于显示运算信息的显 示器。虽然通常将阴极射线管(CRT)用作显示器，但近几年对诸如薄 膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)或有机发光二极管显示器(OLED)等 平板显示器的使用也有所增加。通常，用于监视器或电视(TV)机中的多个单元基底被设置在大 尺寸的板子上。因此，需要有一种将单元基底从大尺寸的板子上分离出 来的处理方法。将大尺寸的板子分离成单元基底的方法包括通过使用金刚石轮 子在板子上形成垂直裂纹的划线过程，和通过使用切断杆向形成有裂纹 的部分施加作用力从而将板子分离成多个单元基底的切断过程。然而，如果使用传统装置来执行划线过程，则单元基底的断裂面 边缘会变得粗糙。因此，需要进行用于打磨单元基底的断裂面边缘的打 磨过程以使断裂面变得平滑。打磨过程导致了所需时间的增加。
技术实现思路
本专利技术的示例性实施例涉及用于切割工件的划线单元。在一示例性实施例中，所述划线单元可以包括与所述工件接触从而在所述工件 的表面中形成裂纹的划线器；被构造成用于支撑所述划线器的支撑件； 以及被构造成用于向所述划线器提供振动的振动器。本专利技术的示例性实施例涉及板子划线装置，所述板子划线装置用 于在将单元基底从形成有所述单元基底的所述板子中分离出来之前执行 划线过程。在一示例性实施例中，所述装置可以包括在其上放置所述 板子的支撑部件；划线单元，其被构造成用于对放置在所述支撑部件上 的所述板子进行划线；第一运动单元，其被构造成用于使所述划线单元 或所述支撑部件沿第一方向作直线运动；以及第二运动单元，其被构造 成用于使所述划线单元沿垂直于所述第一方向的第二方向作直线运动， 其中所述划线单元包括划线器，其与工件接触从而在所述工件的表面 中形成裂纹；被构造成用于支撑所述划线器的支撑件；和被构造成用于 向所述划线器提供振动的振动器。本专利技术的示例性实施例涉及对工件进行划线的方法。在一示例性 实施例中，所述方法可以包括使划线器与所述工件接触；以及使所述 工件和所述划线器作相对运动，其中在划线过程中向所述划线器施加振 动。本专利技术的示例性实施例涉及基底制造方法。在一示例性实施例中，所述方法可以包括执行通过划线器对形成有单元基底的板子进行划线的划线过程；执行使所述单元基底从已划线的所述板子中分离出来的切断过程；以及执行用于清洁所述单元基底的清洁过程，其中，当对所述板子进行划线时，通过向所述划线器施加振动来执行所述划线过程；并且在所述切断过程和所述清洁过程之间执行清洁过程，而不必执行用于 打磨所述单元基底的断裂面的打磨过程。附图说明图1是描述用于平板显示器的板子的例子的立体图，在所述板子 中形成有多个单元基底。图2描述了本专利技术用于将板子分离成多个单元基底的装置。 图3是描述本专利技术一个实施例的划线装置的立体图。图4是图3中示出的划线单元的立体图。图5A和图5B是分别描述图4中示出的轮子的不同例子的主视 图。图6是图3中示出的划线单元的局部截面图。图7A和图7B是对照地示出了在不施加兆声振动时执行划线过程 的情况下的单元基底的断裂面，和在施加兆声振动时执行划线过程的情 况下的单元基底的断裂面。图8是描述本专利技术一个实施例的平板显示器制造方法的流程图。 具体实施例方式下面参照附图对本专利技术作更加全面的描述，在这些附图中示出了本 专利技术的优选实施例。然而，本专利技术可以用很多不同的形式实施，而不应当被 理解为受此处描述的实施例的限制。相反，提供这些实施例是为了使本发 明的公开彻底和完整，并且充分地向本领域技术人员传达本专利技术的范围。 在附图中，为清楚起见扩大了各个层和区域的厚度。虽然本专利技术的实施例指定用于平板显示器的板子10作为待切割 工件，但本专利技术并不限于此并且可以应用于其它类型的工件。图1描述了板子10的例子，图2描述了用于将图1中所示的板子 IO分离为多个单元基底10a的装置1。板子IO可以是用于薄膜晶体管液 晶显示器(TFT-LCD)的板子，或者是用于有机发光二极管显示器(OLED) 的板子，这些板子都是用于平板显示器的板子类型。如图1所示，板子 IO大致呈矩形板的形状，并且在板子IO中形成有多个单元基底10a。图 2中所描述的装置1将板子10分离为多个单元基底10a。参照图2,装置1包括装载部件12、划线部件14、切断部件16 和卸载部件18，它们按照上述列出的顺序而布置成一排。板子IO通过装 载部件12放入装置1中。在板子IO经过划线部件14和切断部件16时 被分离为多个单元基底IO之后，通过卸载部件18将单元基底IO放置到 外部。划线部件14通过使用划线器420而在板子10上形成垂直裂纹。 切断部件16通过使用切断杆(图中未示出)而向板子10上形成有裂纹的部分施加作用力，以便从板子10中分离出单独的单元基底10a。图3是设置在图2示出的划线部件14中的划线装置14a的立体图。 如图3所示，划线装置14a包括工作台120、第一运动单元200、第二运 动单元300、划线单元400和旋转单元500。板子10在划线过程中被放 置在工作台100上。工作台IOO包括平坦且大致呈矩形形状的顶面。工作台100的顶 面面积与板子10的面积相同，或者大于板子10的面积。在工作台100 的顶面上形成有多个连接至真空管的孔，从而通过真空压力将板子10固 定在工作台100上。工作台IOO上可以安装有夹具(图中未示出)，从 而辅助地将板子10固定在工作台100上。划线单元400在放置于工作台IOO上的板子IO上划线，从而形成 裂纹。如图4所示，划线单元400包括划线器420、支撑件440、振动器 460和加压部件480。划线器420在划线过程中直接与板子IO接触。由 金刚石制成的轮子作为划线器420使用。在轮子420的中心处形成有通 孔424。轮子420的边缘设置得很锋利。如图5A所示，轮子420的边缘 可以设置为圆形。视需要，如图5B所示，在轮子420的边缘422处沿轮 子420的外周可以形成有轮齿422a。在使用图5B所示的轮子420的情 况下，划线过程的效率会更高。轮子420受支撑件440支撑。图6是轮子420安装在支撑件440 上的结构截面图。如图6所示，支撑件440包括本体442和轴销444。在 本体442的底面处形成有沿一个方向穿过本体442的凹槽442a。轴销444 呈具有圆形横截面的长杆形状。轴销444沿垂直于凹槽442a长度方向的 方向布置在凹槽442a中。轴销444的两端都被安装成固定在本体442上。 轴销444穿过在轮子420中形成的通孔424。当轮子420借助于轴销444 而受到支撑时，轮子420的一部分置于凹槽442a中，其它部分从支撑件 440向下突出。加压部件480向轮子420施加压力，从而当轮子420和板子10 相互接触时允许轮子420以恒定的作用力压迫板子10。在一示例性实施 例中，加压部件480布置在支撑件440的上方，并使用气动压力向下压迫支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于切割工件的划线单元，所述划线单元包括：　　　　与所述工件接触从而在所述工件的表面中形成裂纹的划线器；　　　　被构造成用于支撑所述划线器的支撑件；以及　　　　被构造成用于向所述划线器提供振动的振动器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金相吉，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]