下载划线单元、板子划线装置、划线方法和基底制造方法的技术资料

文档序号:1458586

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本发明提供了一种用于执行划线过程的划线单元,在该划线过程中,将单元基底从形成有所述单元基底的板子中分离出来。所述划线单元包括兆声振动器,所述兆声振动器向轮子施加兆声振动从而使所述单元基底的断裂面平滑。因此,就能在清洁已分离出来的所述单元基底...
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