本申请的发明专利技术是可将误装不应该使用的轮片的失误排除的基板加工系统及该基板加工系统中使用的刀片保持具的安装方法。该安装方法包含如下步骤：按照刻划加工的各个种类，将使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的轮片(12e)的容许型式信息(26)建立关联而存储的刻划配方(SD)设定在连接于基板加工装置(A)的电脑(19)中；选择刻划配方(SD)；决定适合于所选择的刻划配方(SD)中所包含的容许型式信息(26)的轮片(12e)；及读取载置在规定的载置场所的刀片保持具(12)的代码(12i)，取出所述刀片保持具(12)并安装在基板加工装置(A)上。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本申请的专利技术是可将误装不应该使用的轮片的失误排除的。该安装方法包含如下步骤：按照刻划加工的各个种类，将使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的轮片(12e)的容许型式信息(26)建立关联而存储的刻划配方(SD)设定在连接于基板加工装置(A)的电脑(19)中；选择刻划配方(SD)；决定适合于所选择的刻划配方(SD)中所包含的容许型式信息(26)的轮片(12e)；及读取载置在规定的载置场所的刀片保持具(12)的代码(12i)，取出所述刀片保持具(12)并安装在基板加工装置(A)上。【专利说明】
本专利技术涉及一种在刀片保持具安装着轮片(也称为刀轮或刻划轮)且使用轮片时与刀片保持具一并安装而使用的基板加工装置中的刀片保持具的安装方法。而且，本专利技术涉及一种包含所述基板加工装置及对该基板加工装置进行刀片保持具的安装的刀片保持具安装机械手的基板加工系统。此处，所谓轮片，是指圆周脊线上形成着剖面V字型刀尖且通过在使刀尖压接于载置在平台(table)上的基板的表面的状态下转动而加工基板的加工工具。而且，所谓刻划加工，是指在基板形成条纹状的切槽的加工，通过使用在刀尖以固定间距形成着切口的带有槽的轮片而加工较深的切槽来一下子切断的情况也包含在刻划加工中。
技术介绍
以往，已知有利用轮片在由玻璃、硅、陶瓷、半导体等脆性材料构成的基板或贴合基板(以下简称为“基板”)的表面形成沿着预刻划线的划线(切断用的槽)或从预切断线完全切断的基板加工装置(参照例如专利文献1、专利文献2)。图18是表示所述专利文献等中揭示的以往的基板加工装置的一例的概略立体图。该基板加工装置B包含载置并保持成为加工对象的基板W的水平的平台31。平台31构成为可通过内置马达的旋转驱动部32而在水平面内转动且可沿着水平的轨道33在Y方向上移动。该Y方向上的移动是通过利用马达34进行旋转的螺杆轴35而进行。基板加工装置B中，以横跨平台31的方式设置着包含一对支柱36、36及以将这些支柱36、36连接的方式沿X方向水平延伸的导杆37的桥部38。在导杆37设置着沿X方向水平延伸的导件39，刻划头40配置成可沿着导件39在X方向上移动。刻划头40在X方向上的移动是通过马达41的驱动而进行。包含轮片42e的刀片保持具42经由保持具接头43可装卸地安装在刻划头40上。在刻划头40的内部组装着可实现保持具接头43的升降的升降机构。在如上文所述的构成下，一面将轮片42e按压于载置在平台31上的基板W—面使轮片42e与平台31中的一者或两者移动，由此，可在X-Y方向上对基板W进行刻划而形成刻划槽或进行切断。图19及图20是表示以往的刀片保持具42及保持具接头43的构成的图。刀片保持具42包含大致圆柱状的主体部42a、及相对于主体部42a的轴心平行且相互对称地形成在主体部42a的一端(下端)的一对平坦面42b、42b，此外，与该平坦面42b平行地形成的切槽42c沿着主体部42a的轴心形成在这一对平坦面42b、42b之间。在该切槽42c内，经由相对于主体部42a的轴心正交的轮轴42d而旋转自如地安装着轮片42e。在一对平坦面42b中的一个面上标印着对用来按种类识别安装在该刀片保持具42的轮片42e的型式信息或对每一刀片保持具赋予的管理编号(固体的识别信息)等管理上有用的数据进行编码而记录的代码42i。例如，在专利文献3中揭示有如下技术:对装置的控制部准备用来对使用的每一刀片保持具(赋予了管理编号)记录、更新轮片的累积移行距离的管理平台，当使用特定的管理编号的刀片保持具时，更新其轮片的累积移行距离而管理刀片保持具的更换时期。而且，在主体部42a的另一端(上端)设置着安装在保持具接头43时用于定位的安装部42f。安装部42f包含切削主体部42a而形成的平面部42g与倾斜面42h。平面部42g与主体部42a的轴心平行,且与位于下方的一对平坦面42b正交。而且，主体部42a是由铁等磁性金属构成。保持具接头43在上部包含轴承43a，下部成为保持刀片保持具42的保持部43b。在保持部43b设置着朝向下方开口的剖面大致圆形的开口部43c，在其内部深处部安装着磁铁43 j。此外，在开口部43c的内部设置着在开口部的与轴心相离的部位沿与该轴心垂直的方向延伸的用于定位的平行销43d。该平行销43d是当刀片保持具42插入于开口部43c时，与刀片保持具42的倾斜面42h接触而以使得刀片保持具42的方向或姿势固定的方式进行定位 。将刀片保持具42安装在保持具接头43时，如图18所示，使刀片保持具42从其安装部42f插入保持具接头43的开口部43c而进行。当将安装部42f插入于保持具接头43的开口部43c时，平行销43d与刀片保持具42的倾斜面42h接触而定位，并且刀片保持具42的上端部被磁铁43j磁性吸附而保持。由此，可在刀片保持具42的姿势朝向固定方向的状态下简单地安装在保持具接头43上。更换轮片42e时，抵抗磁铁的磁力从保持具接头43的开口部43c拉拔刀片保持具42，与刀片保持具一并更换。新安装的刀片保持具42是通过利用另外设置的读取器(reader)读取标印在平坦面42b上的记录着刀片固有数据的代码42 i而选择。国际公开编号W02007/063979公报日本专利特开2011-218815号公报国际公开编号W02008/149515公报
技术实现思路
当轮片移行规定的移行距离而达到更换时期时、或需要其他规格的轮片时，是在使基板加工装置B停止之后，进行刀片保持具的更换。具体而言，从刻划头的保持具接头卸除刀片保持具之后，通过利用读取器读取代码而从保管的刀片保持具中选择所期望的刀片保持具，将该选择的刀片保持具安装在保持具接头上。若如上文所述的安装操作由操作人员通过手工操作而进行，则比较费事，因此，利用机械手自动地进行较为方便。在利用机械手进行安装操作的情况下，为了从多个刀片保持具中选择所希望的刀片保持具，必需以容易利用读取器读取具备代码的刀片保持具的平坦面且容易利用机械手拉出的方式配置。在此情况下，由于刀片保持具包含直径约2_~3_的较小的轮片，故要求稳定地载置在例如载置台等上，以使在代码面露出的状态下轮片不会受损。而且，为了利用机械手选择并抓住刀片保持具且直接搬运至刻划头的保持具接头而进行安装，必需考虑载置台与机械手的相关的组装。然而，以往，未揭示适于利用如上文所述的机械手进行刀片保持具的自动安装的系统构成，而一直未解决。而且，对于利用机械手进行刀片保持具的自动安装时的问题之一，可列举对机械手进行操作人员在安装时误选其他刀片保持具的输入的问题。S卩，从预先储存在平台附近的多个刀片保持具中决定安装的刀片保持具时，只要正确地输入特定欲安装的刀片保持具的代码的信息，则机械手可通过利用读取器读取代码而取出正确的刀片保持具，但若操作人员进行的输入本身产生错误，则即便利用机械手进行自动安装，也选择并安装错误的刀片保持具。因此，本专利技术的目的在于提供一种不进行基于操作人员的误输入的安装操作而可将利用本来不应该使用的轮片的刻划排除的刀片保持具的安装方法、及使用该安装方法的基板加工系统。而且，本专利技术的目的在于提供一种可比以往更加确实地避免使用有可能引起产品不良的轮片而可有效本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板加工系统，其特征在于包含：基板加工部，在保持轮片并且标有记录着识别该轮片的种类的型式的代码的刀片保持具安装在可装卸该刀片保持具的刻划头的保持具接头的状态下进行刻划加工；刀片保持具安装机械手，从载置在规定的载置场所的多个刀片保持具中取出用于所述刻划加工的刀片保持具并安装在所述保持具接头上；及控制部，进行利用所述基板加工部进行刻划加工的控制及利用所述刀片保持具安装机械手进行刀片保持具在保持具接头中的安装的控制；且该系统包含：数据保持部，按照刻划加工的各个种类来存储刻划配方，该刻划配方中使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的型式的轮片的容许型式信息建立关联；输入部，进行制成所述刻划配方时的输入；配方选择部，选择所存储的刻划配方的任一配方；及读取器，读取标在所述刀片保持具的代码；所述控制部进行如下控制：根据所选择的刻划配方的容许型式信息，决定保持着适合的轮片的刀片保持具，并且利用所述读取器读取标在载置场所的刀片保持具的代码而利用所述刀片保持具安装机械手将适合的刀片保持具安装在所述保持具接头上。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高松生芳，三浦善孝，富永圭介，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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