基板的截断检测装置和基板的截断检测方法制造方法及图纸

提供基板的截断检测装置和基板的截断检测方法，将保持于保持膜的状态的基板截断为多个小片材后，能按照截断线检测并判定该基板是否在保持于保持膜的状态下被切实地截断为小片材。本发明专利技术是在将保持于保持膜(9)的状态的基板(1)截断为多个小片材(2)后检测基板的截断是否成功的装置(3)，具有：推顶部件(4)，其以与基板一主面对置的方式配备，且从一主面推顶截断为多个的小片材；照明单元(5)，其以与基板另一主面对置的方式配备，且对被推顶的小片材(2)照射照明光(IL)；摄像单元(6)，其配备于基板另一主面侧，且拍摄在被推顶的小片材反射的反射光(SL)；截断检测单元(7)，其利用由摄像单元拍摄的图像来检测基板的截断是否成功。元拍摄的图像来检测基板的截断是否成功。元拍摄的图像来检测基板的截断是否成功。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板的截断检测装置和基板的截断检测方法


[0001]本专利技术涉及一种在将基板截断为多个小片材后检测该基板的截断是否成功的技术。

技术介绍

[0002]以往，例如在对脆性材料基板等基板进行截断时，存在以下的方法：在划线工序中，在基板上形成划分线，之后在断裂工序中，沿着划分线截断基板；利用切割刀具进行切削(切割)而截断基板。在划线工序中，存在以下的方法：在划线装置上设置基板，利用划线工具在基板上呈格子状形成划分线；通过激光照射，沿着截断线呈格子状形成划分线(包含变质层、槽等)。在断裂工序中，在断裂装置上例如将形成有划分线的面作为下表面来设置基板，从划分线的正上方将刀具(断裂刀)压接于基板的上表面，并推压划分线的背面。沿着垂直方向产生裂缝，并沿着划分线截断基板，来制造多个小片材(例如，参照专利文献1等)。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本公开专利公报“特开2017
‑
212451号公报”
技术实现思路

(一)要解决的技术问题
[0004]另外，对于通过断裂、切割而截断为多个小片材后的基板而言，虽然基本上都截断为多个小片材，但是在极少情况下，也会有基板未被截断的部位。以往，即使在将多个小片材各自分离时，也就是说，使基板成为各单片时，也存在未分离的小片材。例如可举出：两个以上的多个小片材未分离的状态等。
[0005]该基板粘贴于在切割环(环状的环部件)上贴附的粘接膜的中心部分(根据需要，其相反的面(背面)可被保护用片保护)，因此，如果不将它们拆下就无法知道基板未被截断的部位。因此寻求如下技术：在基板装配于切割环、粘接膜(根据情况，或者是保护用片)等保持部件的状态下，也就是说，在即将从粘接膜上取下基板之前(即将分离成各小片材之前)，检测断裂后的基板是否被截断。作为这样的技术，也提出了扩展粘接膜来检测截断状态的方案，但是该方案是作为基板整体进行检测的技术，难以按照各截断线切实地检测截断状态。
[0006]因此，本专利技术针对上述问题做出，其目的在于，提供一种基板的截断检测装置和基板的截断检测方法，在将保持于保持膜的状态的基板截断为多个小片材之后，能够按照截断线来检测并判定该基板是否在保持于保持膜的状态下切实地被截断为小片材。(二)技术方案
[0007]为了实现上述目的，在本专利技术中记述以下的技术方案。
关于本专利技术的基板的截断检测装置，其在将保持于保持膜的状态的基板截断为多个小片材后，检测所述基板的截断是否成功，其特征在于，具有：推顶部件，其以与所述基板的主面对置的方式配备，且从主面推顶所述基板；照明单元，其以与所述基板的主面对置的方式配备，且对所述基板的被推顶的部分照射照明光；摄像单元，其对在所述基板的被推顶的部分反射的反射光或者透过在所述基板的被推顶的部分形成的间隙的透射光进行拍摄；以及截断检测单元，其利用由所述摄像单元拍摄的图像来检测所述基板的截断是否成功。
[0008]优选地，可以是，所述推顶部件是长条的部件，且从所述基板推顶：从所述基板沿着推顶部件排成一列的多个所述小片材或者排成彼此相邻的两列的多个所述小片材之间的截断线部分。优选地，可以是，所述推顶部件以与所述基板的一主面对置的方式配备，且构成为推顶截断为多个的所述小片材；所述照明单元以与所述基板的另一主面对置的方式配备，且构成为对被推顶的所述小片材照射照明光；以及所述摄像单元配备于所述基板的另一主面侧，且构成为拍摄在被推顶的所述小片材反射的反射光。
[0009]优选地，可以是，所述推顶部件以与所述基板的一主面对置的方式配备，且构成为推顶彼此相邻的小片材之间的截断线部分；所述照明单元以与所述基板的另一主面对置的方式配备，且构成为对所述截断线部分照射照明光；以及所述摄像单元配备于所述基板的另一主面侧，且构成为拍摄在被推顶的所述截断线部分反射的反射光。
[0010]优选地，可以是，所述推顶部件以与所述基板的一主面对置的方式配备，且推顶彼此相邻的小片材之间的截断线部分；所述照明单元以与所述基板的一主面或另一主面对置的方式配备，且对所述截断线部分照射照明光；以及所述摄像单元配备于所述基板的与所述照明单元对置的主面相反的主面侧，且对透过在被推顶的所述截断线部分形成的间隙的透射光进行拍摄。
[0011]优选地，可以是，所述截断检测单元当检测出以与所述小片材的宽度相同的宽度沿着所述推顶部件连续的呈一条筋状发光的所述反射光的线图像时，则判定为沿着排成一列的小片材的两侧或单侧的线的截断处理成功；当检测出沿着所述推顶部件不连续的所述反射光的线图像、或者具有比所述小片材的宽度宽的宽幅部的所述反射光的线图像时，则判定为在所述排成一列的小片材的两侧或单侧的线中的与所述宽幅部交叉的部分存在未截断部分。
[0012]优选地，可以是，所述截断检测单元当在所述截断线部分沿着所述推顶部件未检测出基于所述小片材的所述反射光时，则判定为沿着所述截断线部分的截断处理成功；当沿着所述推顶部件检测出基于所述小片材的所述反射光时，则判定为在所述截断线部分存在未截断部分。优选地，可以是，当检测出所述间隙呈一条线状且以规定的亮度以上发光的所述透射光的线图像时，则判定为截断处理成功；当检测出所述间隙不连续地发光或小于规定的亮度的所述透射光的线图像时，则判定为在所述基板上存在未截断部分。
[0013]优选地，可以是，所述推顶部件具有透光性；所述照明单元从所述基板的一主面侧或另一主面侧对所述推顶部件照射所述照明光；所述摄像单元从所述基板的所述照明单元的相反侧对透过所述推顶部件及所述间隙的所述透射光进行拍摄。优选地，可以是，所述推顶部件具备所述照明单元；所述摄像单元从所述基板的所
述推顶单元的相反侧对从所述推顶部件透过所述间隙的所述透射光进行拍摄。
[0014]优选地，可以是，在上述的基板的截断检测装置中，构成为，在推顶所述推顶部件并对沿着X轴方向及与X轴方向正交的Y轴方向的截断线进行了截断的所述基板中的、X轴方向的截断线的截断进行检测的情况下，沿着X轴方向配置并推顶所述推顶部件来推顶：在X轴方向上排成一列的所述小片材或者排成彼此相邻的两列的小片材之间的截断线部分，并对被推顶的小片材的两侧或单侧的截断线或者被推顶的截断线部分的截断线的截断进行检测，之后，使所述基板和所述推顶部件在Y轴方向上相对移动，推顶所述推顶部件来推顶：相邻的排成一列的小片材或者相邻的截断线部分，并对被推顶的小片材的两侧或单侧的截断线或者被推顶的截断线部分的截断线的截断进行检测；同样地，在对Y轴方向的截断线的截断进行检测的情况下，沿着Y轴方向配置并推顶所述推顶部件来推顶：在Y轴方向上排成一列的所述小片材或者排成相邻的两列的小片材之间的截断线部分，并对被推顶的小片材的两侧或单侧的截断线或者被推顶的截断线部分的截断线的截断进行检测，之后，使所述基板和所述推顶部件在X轴方向上相对移动，并对相邻的排成一列的小片材的两侧或单侧的截断线或者相邻的截断线部分的截断线的截断进行检测。
[0015]关于本专利技术的基板的截断检测方法，在将保持于保持膜的状态的基板截断本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板的截断检测装置，其在将保持于保持膜的状态的基板截断为多个小片材后，检测所述基板的截断是否成功，其特征在于，具有：推顶部件，其以与所述基板的主面对置的方式配备，且从主面推顶所述基板；照明单元，其以与所述基板的主面对置的方式配备，且对所述基板的被推顶的部分照射照明光；摄像单元，其对在所述基板的被推顶的部分反射的反射光或者透过在所述基板的被推顶的部分形成的间隙的透射光进行拍摄；以及截断检测单元，其利用由所述摄像单元拍摄的图像来检测所述基板的截断是否成功。2.根据权利要求1所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述推顶部件是长条的部件，且从所述基板推顶：从所述基板沿着推顶部件排成一列的多个所述小片材或者排成彼此相邻的两列的多个所述小片材之间的截断线部分。3.根据权利要求1所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述推顶部件以与所述基板的一主面对置的方式配备，且构成为推顶截断为多个的所述小片材；所述照明单元以与所述基板的另一主面对置的方式配备，且构成为对被推顶的所述小片材照射照明光；以及所述摄像单元配备于所述基板的另一主面侧，且构成为拍摄在被推顶的所述小片材反射的反射光。4.根据权利要求1所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述推顶部件以与所述基板的一主面对置的方式配备，且构成为推顶彼此相邻的小片材之间的截断线部分；所述照明单元以与所述基板的另一主面对置的方式配备，且构成为对所述截断线部分照射照明光；以及所述摄像单元配备于所述基板的另一主面侧，且构成为拍摄在被推顶的所述截断线部分反射的反射光。5.根据权利要求1所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述推顶部件以与所述基板的一主面对置的方式配备，且推顶彼此相邻的小片材之间的截断线部分；所述照明单元以与所述基板的一主面或另一主面对置的方式配备，且对所述截断线部分照射照明光；以及所述摄像单元配备于所述基板的与所述照明单元对置的主面相反的主面侧，且对透过在被推顶的所述截断线部分形成的间隙的透射光进行拍摄。6.根据权利要求3所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述截断检测单元当检测出以与所述小片材的宽度相同的宽度沿着所述推顶部件连续的呈一条筋状发光的所述反射光的线图像时，则判定为沿着排成一列的小片材的两侧或单侧的线的截断处理成功；当检测出沿着所述推顶部件不连续的所述反射光的线图像、或者具有比所述小片材的宽度宽的宽幅部的所述反射光的线图像时，则判定为在所述排成一列的小片材的两侧或单
侧的线中的与所述宽幅部交叉的部分存在未截断部分。7.根据权利要求4所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述截断检测单元当在所述截断线部分沿着所述推顶部件未检测出基于所述小片材的所述反射光时，则判定为沿着所述截断线部分的截断处理成功；当沿着所述推顶部件检测出基于所述小片材的所述反射光时，则判定为在所述截断线部分存在未截断部分。8.根据权利要求5所述的基板的截断检测装置，其特征在于，当检测出所述间隙呈一条线状且以规定的亮度以上发光的所述透射光的线图像时，则判定为截断处理成功；当检测出所述间隙不连续地发光或小于规定的亮度的所述透射光的线图像时，则判定为在所述基板上存在未截断部分。9.根据权利要求8所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述推顶部件具有透光性；所述照明单元从所述基板的一主面侧或另一主面侧对所述推顶部件照射所述照明光；所述摄像单元从所述基板的所述照明单元的相反侧对透过所述推顶部件及所述间隙的所述透射光进行拍摄。10.根据权利要求1～7的任一项所述的基板的截断检测装置，其特征在于，所述推顶部件具备所述照明单元；所述摄像单元从所述基板的所述推顶单元的相反侧对从所述推顶部件透过所述间隙的所述透射光进行拍摄。11.根据权利要求1所述的基板的截断检测装置，其特征在于，构成为，在推顶所述推顶部件并对沿着X轴方向及与X轴方向正交的Y轴方向的截断线进行了截断的所述基板中的、X轴方向的截断线的截断进行检测的情况下，沿着X轴方向配置并推顶所述推顶部件来推顶：在X轴方向上排成一列的所述小片材或者排成彼此相邻的两列的小片材之间的截断线部分，并对被推顶的小片材的两侧或单侧的截断线或者被推顶的截断线部分的截断线的截断进行检测，之后，使所述基板和所述推顶部件在Y轴方向上相对移动，推顶所述推顶部件来推顶：相邻的排成一列的小片材或者相邻的截断线部分，并对被推顶的小片材的两侧或单侧的截断线或者被推顶的截断线部分的截断线的截断进行检测；同样地，在对Y轴方向的截断线的截断进行检测的情况下，沿着Y轴方向配置并推顶所述推顶部件来推顶：在Y轴方向上排成一列...

【专利技术属性】
技术研发人员：金平雄一，三谷卓朗，堤隆司，小畑良介，秀岛护，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：