阵列基板及其制造方法、显示装置制造方法及图纸

技术编号:9382745 阅读:71 留言:0更新日期:2013-11-28 00:58
本发明专利技术实施例公开了一种阵列基板及其制造方法,以及设有该阵列基板的显示装置,属于显示技术领域。解决了现有技术中GOA区域的边缘会形成向下开口的倒角,影响GOA区域中源漏极金属与栅极金属之间电连接的稳定性的技术问题。该阵列基板,包括显示区域和GOA区域,在所述GOA区域,从下至上依次形成有栅极金属、栅绝缘层、有源层、过渡层、源漏极金属,且开设有贯穿所述过渡层、所述有源层和所述栅绝缘层的过孔,所述源漏极金属通过所述过孔与所述栅极金属电连接;其中,所述过渡层的刻蚀速率大于所述有源层的刻蚀速率。本发明专利技术应用于OLED面板、液晶电视、液晶显示器、手机、平板电脑等显示装置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种阵列基板,包括显示区域和GOA区域,其特征在于:在所述GOA区域,从下至上依次形成有栅极金属、栅绝缘层、有源层、过渡层、源漏极金属,且开设有贯穿所述过渡层、所述有源层和所述栅绝缘层的过孔,所述源漏极金属通过所述过孔与所述栅极金属电连接;其中,所述过渡层的刻蚀速率大于所述有源层的刻蚀速率。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李田生郭建谢振宇
申请(专利权)人:北京京东方光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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