晶片封装体及其形成方法技术

技术编号:9336769 阅读:100 留言:0更新日期:2013-11-13 17:30
本发明专利技术提供一种晶片封装体及其形成方法,该晶片封装体包括:一半导体基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该半导体基底之中;一介电层,设置于该半导体基底的该第一表面上;一导电垫结构,位于该介电层之中,且电性连接该元件区,该导电垫结构包括多个导电垫层的堆叠结构;一支撑层,设置于该导电垫结构的一顶表面之上;以及一保护层,设置于该半导体基底的该第二表面上。本发明专利技术可避免晶片于封装制程中受损。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶片封装体,其特征在于,包括:一半导体基底,具有一第一表面及一第二表面;一元件区,形成于该半导体基底之中;一介电层,设置于该半导体基底的该第一表面上;一导电垫结构,位于该介电层之中,且电性连接该元件区,该导电垫结构包括多个导电垫层的堆叠结构;一支撑层,设置于该导电垫结构的一顶表面之上;以及一保护层,设置于该半导体基底的该第二表面上。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄玉龙刘沧宇张恕铭
申请(专利权)人:精材科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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