一种靶材及其制造方法技术

本发明专利技术涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种靶材及其生产方法。一种靶材，包括靶材本体及基体，所述基体的至少一面设有所述靶材本体，所述靶材本体是由高纯度靶材合金粉末通过等离子弧喷涂机喷涂熔焊在所述基体上。所述基体与所述靶材本体的结合面为呈内凹的圆弧面。所述基体为矩形体或圆形。所述靶材的制造方法步骤如下：（1）、准备合金粉体：（2）、准备基体：（3）、等离子转移弧喷涂成型：（4）、清理被喷涂层表面，按照步骤（3）的要求再次喷涂处理，直至获得要求厚度的靶材。本发明专利技术有益效果在于：一是生产的靶材无气孔残留；二是生产设备简单、投资小；三是靶材可以修复再利用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种靶材，包括靶材本体及基体，其特征在于，所述基体的至少一面设有所述靶材本体，所述靶材本体是由高纯度合金粉末通过等离子转移弧焊机喷涂熔焊在所述基体上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙京钢，陈佃双，
申请(专利权)人：烟台开发区蓝鲸金属修复有限公司，
类型：发明
国别省市：