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本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种靶材及其生产方法。一种靶材，包括靶材本体及基体，所述基体的至少一面设有所述靶材本体，所述靶材本体是由高纯度靶材合金粉末通过等离子弧喷涂机喷涂熔焊在所述基体上。所述基体与所述靶材本体的结合面为呈内凹的圆...
该专利属于烟台开发区蓝鲸金属修复有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台开发区蓝鲸金属修复有限公司授权不得商用。

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