高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法技术

一种高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法，属于有色靶材制备技术领域。其步骤包括：混粉、压块、预烧还原、真空处理、整型、热等静压用包套加工、包套装料、包套脱气封焊、热等静压处理、加工成品。本发明专利技术所制备的钼合金靶材平面尺寸能达到1300mm×850mm，抗弯强度达800MPa以上，致密度达99.0%以上，纯度达99.9%以上。与已公布的技术相比，本发明专利技术的工艺具有成本低、效率高、纯度高、性能高的特点和优势。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下工艺步骤：（1）混粉：将Mo粉与作为添加元素的金属族群Nb、Ta、W、Cr、Ti、Zr、Hf、V、Co粉中的至少一种金属元素按比例称量后，用混料机混合均匀，Mo与添加元素的重量比例范围在99：1~40：60之间；?（2）压块：将混合均匀的粉料通过冷等静压或油压机模压成块，压力50～300MPa；（3）预烧还原：将压坯在流动氢气气氛烧结炉内进行预烧还原；预烧温度1200～1300℃，保温时间2～8h；（4）真空处理：将预烧还原的坯料在真空炉内进行真空处理，要求真空炉真空度达到1×10?3Pa，真空处理温度800～1800℃；?...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王铁军，林同伟，周卫华，刘国辉，熊宁，陈飞雄，刘慧渊，
申请(专利权)人：安泰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：