【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法,其特征在于,包括以下工艺步骤:(1)混粉:将Mo粉与作为添加元素的金属族群Nb、Ta、W、Cr、Ti、Zr、Hf、V、Co粉中的至少一种金属元素按比例称量后,用混料机混合均匀,Mo与添加元素的重量比例范围在99:1~40:60之间;?(2)压块:将混合均匀的粉料通过冷等静压或油压机模压成块,压力50~300MPa;(3)预烧还原:将压坯在流动氢气气氛烧结炉内进行预烧还原;预烧温度1200~1300℃,保温时间2~8h;(4)真空处理:将预烧还原的坯料在真空炉内进行真空处理,要求真空炉真空度达到1×10?3Pa,真空处理温度800~1800℃;?(5)整型:将真空处理后坯料用铣床进行整形加工,整型成合适的尺寸,要求表面粗糙度不大于Ra?12.5;(6)热等静压用包套加工:选用不锈钢、碳钢或钛作为包套材料,按图纸加工成所需形状尺寸,然后用氩弧焊机或等离子焊机焊接包套体;(7)包套装料:将整形加工后预烧坯料逐件装入热等静压用包套,要求各坯料之间紧密结合,保证在任意一个方向上,各坯料之间的间隙之和不大于1mm,并且任意一侧包套内壁跟与之相邻的坯 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王铁军,林同伟,周卫华,刘国辉,熊宁,陈飞雄,刘慧渊,
申请(专利权)人:安泰科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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