本实用新型专利技术公开了一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，包括橡胶成型套和冷等静压机，所述橡胶成型套包括进料口和成型室，还包括抽真空机和抽气管，所述抽气管一端与所述橡胶成型套进料口密封连接，所述抽气管的另一端密封连接有阀门，所述阀门另一端与所述抽真空机的进气口密封连接。本实用新型专利技术通过在橡胶成型套进料口处增设抽真空机和抽气管有效的减少钼粉中的气体含量，从而在压制过程中钼靶材压胚的致密度、纯度更大，结构稳定性更强。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种大型平面钼靶材制备装备领域，尤其涉及一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置。
技术介绍
溅射靶材作为一种先进的薄膜材料制备技术，具有“高速”及“低温”两大特点。大型溅射靶材首先需要将钼粉材料装入橡胶套内，然后放入冷等静压机压制成坯料，压坯装入中频炉的烧结坩埚内进行烧结加工。中国专利申请号201310128527.8，公开一种冷等静压用制备钼板坯模具，包括一端设有开口的橡胶护套，橡胶护套的内部设置有压坯橡胶板框组件，橡胶护套的开口处用锁紧扣组件锁紧密封。但上述结构制得的钼靶材的内部晶粒组织结构松散而且密度小，渐渐无法满足后期使用要求，例如TFT-LCD、等离子显示屏、半导体等溅射薄膜使用。所以现需要设计一种能压制生产出高纯、高致密度钼靶材的装置。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是针对现有技术的不足，提供一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，通过增设抽真空机对装入橡胶套的待压制的钼粉抽真空处理，解决了现有中钼靶材的内部晶粒组织结构松散、结构密度小的技术问题。为达到上述目的，本技术采用以下技术方案：一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，包括橡胶成型套和冷等静压机，所述橡胶成型套包括进料口和成型室，还包括抽真空机和抽气管，所述抽气管一端与所述橡胶成型套进料口密封连接，所述抽气管的另一端密封连接有阀门，所述阀门另一端与所述抽真空机的进气口密封连接。优选的，所述抽气管与所述橡胶成型套一体成型。优选的，所述阀门与所述抽真空机的进气口通过快速接头相连接。优选的，所述快速接头包括套筒和插塞，所述套筒本体右部开设有内腔，所述内腔底部设置有第一阀，所述内腔内设置有密封圈，所述插塞本体左部设置有突出左部表面的第二阀，所述插塞插入所述套筒的内腔中，所述第一阀与所述第二阀密闭连接贯通；所述套筒开口处设置有凸起，所述插塞外表面设置与所述凸起相配合的滑道，所述内腔内壁与所述插塞外壁通过所述凸起与所述滑道的相互配合形成密闭。优选的，所述阀门与所述抽气管法兰连接，所述阀门与所述抽气管之间设置密封圈。本技术的有益效果是：本技术公开的一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，在橡胶成型套进料口处增设抽真空机和抽气管，使用时将钼粉装入橡胶成型套内，再将抽气管与橡胶成型套密封连接，打开阀门，使用抽真空机对橡胶成型套做抽真空处理，关闭阀门密封并放入冷等静压机中压制成型，本技术通过抽真空处理，有效的减少钼粉中的气体含量，从而在压制过程中钼靶材压胚的致密度更高，结构稳定性更强，有利于钼靶材的后续使用，例如使用靶材溅射镀膜的时候，致密度高、晶粒组织细小的钼靶材更有利于薄膜的均匀、一致性。另外，本技术的抽气管一端与橡胶成型套密封连接，抽气管另一端密封连接有阀门，抽真空机与阀门的另一端通过螺栓固定连接，抽真空机做抽真空处理后可拆卸，橡胶成型套和抽气管一起放入冷等静压机中，在200MPa的压强下，此结构设计相对抽真空机直接放入冷等静压机中的优势在于防止抽真空机或橡胶成型套入料口在高压强环境下受损造成液压油流入橡胶成型套内污染钼粉。抽气管与橡胶成型套一体成型，在压制过程中橡胶成型套的橡胶塞变形情况下阀门、抽气管和橡胶成型套三个结构整体为密封状态，防止液压油渗入其内，有效的保证了整体结构的密封性；阀门与抽真空机的进气口通过快速接头相连接，此结构设计在保证抽真空机和阀门之间密封的前提下进一步的减少工作人员的工作量，提高工作效率；快速接头包括套筒和插塞，套筒本体右部开设有内腔，在内腔底部设置有第一阀，内腔内设置有密封圈，插塞本体左部设置有突出左部表面的第二阀，插塞插入所述套筒的内腔中，第一阀与第二阀密闭连接贯通，套筒开口处设置有凸起，插塞外表面设置与凸起相配合的滑道，内腔内壁与插塞外壁通过凸起与滑道的相互配合形成密闭，第一阀与第二阀断开时，阀芯自动闭合，可有效防止泄漏，而第一阀和第二阀连接后，阀芯自动开启，在额定工作范围内，始终保持气体的畅通，因此，操作者可方便、快捷地完成进气操作，且保证气密性好，气体不会泄漏。套筒开口处设置有滑道和卡槽，套筒外表面设置与所述滑道相配合的凸起，套筒外表面设置与所述卡槽相配合的卡勾，使用时，只需转动套筒使凸起和滑道、卡槽与卡勾相互配合实现快速拆装；阀门与抽气管法兰连接，且阀门与抽气管之间设置密封圈，法兰连接有利于检修或者更换零配件，增加本技术的灵活性。综上，本技术具有操作简单、密封性好、压制钼靶材致密度高等特点。附图说明图1为本技术实施例一的结构示意图。图2为本技术实施例二中快速接头的内部结构示意图。图3为本技术实施例二中快速接头的外部结构示意图。图4为本技术实施例二中套筒的俯视结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步描述。实施例一如图1所示，本技术包括橡胶成型套1、冷等静压机、抽真空机2和抽气管3，抽气管3为不锈钢管，橡胶成型套1包括进料口和成型室，抽气管3的一端与橡胶成型套1进料口一体成型，抽气管3的另一端焊接有不锈钢球阀4，不锈钢球阀4的另一端与抽真空机2的进气口分别设置相互配合的带孔法兰盘。本实施例的工作原理如下，把钼粉放入橡胶成型套1内，再将不锈钢球阀4与抽真空机2通过螺栓和法兰固定连接，抽取橡胶成型套1内的空气后，关闭阀门，此时橡胶成型套1内为真空状态，钼粉颗粒之间的气孔较少；将不锈钢球阀4、抽气管3和带有钼粉的橡胶成型套1放入冷等静压机2内，经过高压压制成型过程中，进一步的较少钼粉颗粒之间气孔，增加钼靶材压胚的致密度。实施例二如图2所示，本实施例与实施例一的结构基本相同，不同的是：不锈钢球阀4与抽真空机2的进气口通过快速接头相连接，其中，快速接头包括套筒和插塞，套筒本体11右部开设有内腔5，在内腔5底部设置有第一阀6，内腔5内部安装有密封垫7，插塞本体左部设置有突出左部表面的第二阀8，插塞插入套筒的内腔5中，套筒开口处设置有凸起9，不锈钢球阀4与抽气管3通过法兰连接，不锈钢球阀4与抽气管3之间设置密封圈。如图3和图4所示，插塞外表面设置与凸起9相配合的滑道10，滑道10为折弯状，第一阀6与该第二阀8密闭连接贯通，内腔5内壁与插塞外壁通过凸起9与滑道10的相互卡合形成密闭。本实施例中，不锈钢球阀4与抽真空机2的进气口通过快速接头相连接，有利于加快本技术的拆装工作，减少工作人员的工作时间，提高生产效率。最后说明的是，以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本技术的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本技术技术方案的精神和范围，均应涵盖在本技术的权利要求范围当中。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，包括橡胶成型套和冷等静压机，所述橡胶成型套包括进料口和成型室，其特征在于：还包括抽真空机和抽气管，所述抽气管一端与所述橡胶成型套进料口密封连接，所述抽气管的另一端密封连接有阀门，所述阀门另一端与所述抽真空机的进气口密封连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，包括橡胶成型套和冷等静压机，所述橡胶成型套包括进料口和成型室，其特征在于：还包括抽真空机和抽气管，所述抽气管一端与所述橡胶成型套进料口密封连接，所述抽气管的另一端密封连接有阀门，所述阀门另一端与所述抽真空机的进气口密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，其特征在于：所述抽气管与所述橡胶成型套一体成型。
3.根据权利要求1所述的一种用于大型平面钼靶材的钼粉压制装置，其特征在于：所述阀门与所述抽真空机的进气口通过快速接头相连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙虎民，赵文普，高建杰，崔冬乐，
申请(专利权)人：洛阳高新四丰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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