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高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法技术
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文档序号:9194330
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一种高纯度、高致密度、大尺寸钼合金靶材的制备方法,属于有色靶材制备技术领域。其步骤包括:混粉、压块、预烧还原、真空处理、整型、热等静压用包套加工、包套装料、包套脱气封焊、热等静压处理、加工成品。本发明所制备的钼合金靶材平面尺寸能达到1300...
该专利属于安泰科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安泰科技股份有限公司授权不得商用。
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