纳米晶浮栅存储器阵列的编程方法技术

技术编号:9144129 阅读:188 留言:0更新日期:2013-09-12 05:34
本发明专利技术公开了一种纳米晶浮栅存储器阵列的编程方法,所述阵列由多个纳米晶浮栅存储器组成,并且还包括多条相互平行排列的位线和多条相互平行排列的字线,每个纳米晶浮栅存储器包括一个存储单元,每个存储单元均连接一条位线和一条字线,且所述多条位线与所述多条字线相互垂直排列;当对所选定存储单元进行编程时,将所选定存储单元连接的位线之前的第二条位线接地;对所选定存储单元连接的位线之前的第一条位线施加低电压Vl;对所选定存储单元连接的位线施加高电压Vh。本发明专利技术在电子完成第一次加速以后,还可进行第二次加速,由此,可以获得更高的能量进行编程,从而提高编程效率,增加了存储窗口,让更多的电子到达存储介质里面。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种纳米晶浮栅存储器阵列的编程方法,所述阵列包括多个纳米晶浮栅存储器、多条相互平行排列的位线和多条相互平行排列的字线,其中,每个纳米晶浮栅存储器包括一个存储单元,且每个存储单元连接一条位线和一条字线,所述多条位线与所述多条字线相互垂直排列,其特征在于:当对所选定存储单元进行编程时,该方法包括如下步骤:将与所选定存储单元连接的位线之前的第二条位线接地;对与所选定存储单元连接的位线之前的第一条位线施加电压Vl;对与所选定存储单元连接的位线施加电压Vh;所述Vl小于Vh。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王琴杨潇楠王永张满红霍宗亮刘明
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

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