部件内置基板的检查方法技术

本发明专利技术提供一种部件内置基板的检查方法，其可有效地消除检查夹具内的布线之间的寄生电容等的影响、以及部件内置基板内的布线之间的静电电容的影响，并可对部件内置基板内的检查对象部进行准确的检查。例如在将电容器（C1）设为关注检查对象部的情况下，与被设为第一选择检查点的检查点（D1、D2）以及被设为第一电位调整检查点的检查点（D5～D7）接触的探针（P1、P2、P5～P7）与电源部的第一输出端子电连接。另外，与被设为第二选择检查点（D4）接触的探针（P4）与电源部（4）的第二输出端子电连接。另外，与被设为非关联检查点（D3、D8～D10）接触的探针（P3、P8～P10）与接地电位电连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种针对由设置在部件内置基板内的电子部件或包含电子部件的电路构成的多个检查对象部，经由与设置在部件内置基板表面上的多个检查点接触的探针来检查所述检查对象部的电特性的，其中所述部件内置基板内置具有阻抗的电子部件。
技术介绍
目前，内置有电容器和电阻器等电子部件的部件内置基板(也称作嵌入式基板)开始普及，亟需确定针对内置在部件内置基板内的电子部件的检查方法。由于部件内置基板自身是新产品，因此，关于这种检查方法的现状是，不存在可称为现有技术的已有技术。因此，在此记载本专利技术被提出之前由本申请的专利技术人等提出的检查方法和所存在的问题。针对在先提出的检查方法，以针对在图1中示意地表示的部件内置基板I进行检查的情况为例来说明。该部件内置基板I是通过将多层(在此为三层)基板Ia Ic层叠而构成的，并且在其内部内置有具有阻抗的多个电子部件(在此为三个电容器Cl C3和两个电阻器R1、R2)。另外，在部件内置基板I的上侧和下侧表面上设置有10个检查点Dl DlO ;在进行检查时，检查装置的探针Pl PlO—起地与各个检查点Dl DlO接触。在此，在统称检查点Dl DlO和探针Pl PlO的情况下，分别使用符号“D”、“P”。另外，在统称作为内置的电子部件的电容器Cl C3和电阻器R1、R2的情况下，称为电子部件。另外，在此，针对将电容器Cl C3和电阻器Rl、R2逐一地且独立地设为检查对象部的情况进行说明。图2是示意地表示 设置在部件内置基板I上的电子部件、布线图案和检查点的电连接关系的布线图。如图2所示，在部件内置基板I内存在三个独立的网络NI N3。电容器Cl、C2、电阻器Rl和检查点Dl、D2、D4 D7属于网络NI，电阻器R2和检查点D8、D9属于网络N2，检查点D3、D10属于网络N3。针对这样的被内置在部件内置基板I内的电子部件(电容器Cl C3、电阻器Rl、R2),在先前提出的检查方法中，例如按照电容器Cl、电容器C2、电容器C3、电阻器R1、电阻器R2的顺序进行检查。在针对电容器Cl的检查步骤中，经由检查点Dl、D4和分别与它们接触的探针P1、P4而向电容器Cl供给检查电力(例如，交流电流、直流变动电流、交流电压或直流变动电压)，经由检查点Dl、D4和分别与它们接触的探针P1、P4来检测电容器Cl的电特性，并根据检测结果进行电容器Cl是否良好的判断等。作为电容器Cl的电特性的检测，例如检测检查点D1、D4之间的电位差和在检查点D1、D4之间流动的电流，并根据这些检测值来检测电容器Cl的阻抗。在对该电容器Cl的检查期间，与检查点Dl、D4之外的检查点D (即检查点D2、D3、D5 D10)接触的探针P (即探针P2、P3、P5 P10)处于电断开状态。接下来，在电容器C2的检查中，经由检查点D1、D5和分别与它们接触的探针P1、P5而向电容器C2供给检查电力，经由检查点Dl、D5和分别与它们接触的探针P1、P5来检测电容器C2的电特性(例如阻抗)，并根据检测结果进行电容器C2是否良好的判断。此时，与检查点Dl、D5之外的检查点D接触的探针P处于电断开状态。以下相同地，在电容器C3的检查中，经由检查点Dl、D7和分别与它们接触的探针P1、P7进行针对电容器C3的检查电力的供给和电特性的检测。此时，与检查点D1、D7之外的检查点D接触的探针P处于电断开状态。另外，在电阻器Rl的检查中，经由检查点D2、D6和分别与它们接触的探针P2、P6进行针对电阻器Rl的检查电力的供给和电特性的检测。此时，与检查点D2、D6之外的检查点D接触的探针P处于电断开状态。另外在电阻器R2的检查中，经由检查点D8、D9和分别与它们接触的探针P8、P9进行针对电阻器R2的检查电力的供给和电特性的检测。此时，与检查点D8、D9之外的检查点D接触的探针P处于电断开状态。然而，已知在这样的先前提出的检查方法中，存在下述两个问题。(a)在检查时，探针P —起地与部件内置基板I的所有检查点D接触，检查夹具内的布线经由探针P和检查点D而与部件内置基板I内的电路相连接。然而，在所述先前提出的检查方法中，未考虑在使探针P与部件内置基板I的检查点D接触时产生的、对部件内置基板I内的电路的影响(例如，检查夹具内的布线之间的寄生电容等的影响)，在检测内置在部件内置基板I内的电子部件的电特性时，存在不能消除检查夹具内的布线之间的寄生电容等的影响的问题。(b)也未考虑在部件内置基板I内的布线之间产生的静电电容的影响，在检测内置在部件内置基板I内的电子部件的电特性时，存在不能消除部件内置基板I内的布线之间的静电电容等的影响的问题。另外，作为与相关的现有技术文献，例如有专利文献I。 日本特开2007-309814号公报
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的问题为，提供一种，其可有效地消除经由探针而与部件内置基板的检查点连接的检查夹具内的布线之间的寄生电容等的影响、以及部件内置基板内的布线之间的静电电容的影响，并准确地对由部件内置基板内的电子部件或包含电子部件的电路所构成的检查对象部进行检查。为了解决所述问题，本专利技术的第一方面为一种，针对由设置在部件内置基板内的电子部件或包含所述电子部件的电路构成的多个检查对象部，经由与设置在所述部件内置基板表面上的多个检查点接触的探针来检测所述检查对象部的电特性，所述部件内置基板内置具有阻抗的电子部件，所述具备以下步骤:从所述部件内置基板内的所述多个检查对象部中按顺序选择任一个检查对象部作为关注检查对象部的步骤；将所述多个检查点中的与所述关注检查对象部属于同一网络的检查点设为关联检查点，将除此之外的检查点设为非关联检查点的步骤；将所述关联检查点中的、不经由所述电子部件而与插入有所述关注检查对象部的布线部分的两侧中的任一侧相连接的关联检查点设为第一选择检查点，将不经由所述电子部件而与另一侧相连接的关联检查点设为第二选择检查点，将剩余检查点中的、经由所述关注检查对象部之外的所述电子部件而与所述第一选择检查点相连接的关联检查点设为第一电位调整检查点，将经由所述关注检查对象部之外的所述电子部件而与所述第二选择检查点相连接的关联检查点设为第二电位调整检查点，使与所述关联检查点中的所述第一选择检查点以及所述第一电位调整检查点接触的所述探针与输出检查电力的电源部的、成对的第一和第二输出端子中的第一输出端子电连接，使与所述第二选择检查点以及所述第二电位调整检查点接触的所述探针与所述电源部的所述第二输出端子电连接，并使与所述非关联检查点接触的所述探针与规定的基准电位电连接的步骤；经由与所述第一选择检查点以及所述第二选择检查点接触的所述探针，使所述电源部对所述关注检查对象部供给所述检查电力，并由规定的电特性检测部检测所述关注检测对象部的电特性的步骤；以及根据所述电特性检测部的检测结果，判断所述关注检查对象部是否良好的步骤。另外，在本专利技术的第二方面，在所述第一局面涉及的中，在从所述部件内置基板内的所述多个检查对象部中选择所述关注检查对象部的所述步骤中，在对该时刻所选择的关注检查对象部的检查结束并要选择下一个关注检查对象部时，优先选择与检查结束了的关注检查对象部属于同一网络的检查对象部作为关注检查对象部。根据本专利技术第一方面涉及的，在针对从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种部件内置基板的检查方法，针对由设置在部件内置基板内的电子部件或包含所述电子部件的电路构成的多个检查对象部，经由与设置在所述部件内置基板表面上的多个检查点接触的探针来检测所述检查对象部的电特性，所述部件内置基板内置具有阻抗的电子部件，所述部件内置基板的检查方法的特征在于，具备以下步骤：从所述部件内置基板内的所述多个检查对象部中按顺序选择任一个检查对象部作为关注检查对象部的步骤；将所述多个检查点中的与所述关注检查对象部属于同一网络的检查点设为关联检查点、将此外的检查点设为非关联检查点的步骤；将所述关联检查点中的、不经由所述电子部件而与插入有所述关注检查对象部的布线部分的两侧中的任一侧相连接的关联检查点设为第一选择检查点，将不经由所述电子部件而与另一侧相连接的关联检查点设为第二选择检查点，将剩余检查点中的、经由所述关注检查对象部之外的所述电子部件而与所述第一选择检查点相连接的关联检查点设为第一电位调整检查点，将经由所述关注检查对象部之外的所述电子部件而与所述第二选择检查点相连接的关联检查点设为第二电位调整检查点，使与所述关联检查点中的所述第一选择检查点以及所述第一电位调整检查点接触的所述探针与输出检查电力的电源部的、成对的第一和第二输出端子中的第一输出端子电连接，使与所述第二选择检查点以及所述第二电位调整检查点接触的所述探针与所述电源部的所述第二输出端子电连接，并使与所述非关联检查点接触的探针与规定的基准电位电连接的步骤；经由与所述第一选择检查点以及所述第二选择检查点接触的所述探针，使所述电源部对所述关注检查对象部供给所述检查电力，并由规定的电特性检测部检测所述关注检测对象部的电特性的步骤；以及根据所述电特性检测部的检测结果，判断所述关注检查对象部是否良好的步骤。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山下宗寛，后藤彰，栗原靖人，
申请(专利权)人：日本电产理德株式会社，
类型：发明
国别省市：