基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法。基板检查装置用于检查形成有透明电极(13)和第一连接电极(14)的触摸面板(100)，第一连接电极(14)以在厚度方向上与透明电极(13)重叠的方式与透明电极(13)接合，基板检查装置包括：检测电极(31)，在透明电极(13)与第一连接电极(14)的接合部中的比第一连接电极(14)靠透明电极(13)侧的位置处与接合部相对配置；检测电极(21)，在接合部中的比透明电极(13)靠第一连接电极(14)侧的位置处与接合部相对配置；电流供给部(4)，向接合部供给电流；以及电压检测部(5)，对检测电极(31)与检测电极(21)之间的电位差进行检测。

Substrate Inspection Device, Inspection Auxiliaries and Substrate Inspection Method

The invention provides a substrate inspection device, inspection accessories and a substrate inspection method. The substrate inspection device is used to check the formation of a touch panel (100) with a transparent electrode (13) and a first connecting electrode (14), which is connected with a transparent electrode (13) in a manner overlapping with a transparent electrode (13) in a thickness direction. The substrate inspection device includes a detection electrode (31) and a first connecting electrode (14) at a transparent electrode (13). The position of the first connecting electrode (14) in the junction part is relative to the junction part at the side of the transparent electrode (13); the detection electrode (21) is relative to the junction part at the position of the specific transparent electrode (13) in the junction part at the side of the first connecting electrode (14); the current supply part (4) supplies the current to the junction part; and the voltage detection part (5). The potential difference between the detection electrode (31) and the detection electrode (21) is detected.

【技术实现步骤摘要】
基板检查装置、检查辅具以及基板检查方法
本专利技术涉及一种检查基板的基板检查装置、用于该基板检查装置的检查辅具以及基板检查方法。
技术介绍
近年来，随着以智能手机或平板电脑为代表的电子设备的急速普及，检测人的手指或手写笔触摸到的位置的触摸面板的需求尤其高涨。作为这样的触摸面板，已知有电阻膜方式的触摸面板，该电阻膜方式的触摸面板将两张电阻膜相对配置而配置于触摸面，并根据用户触摸到触摸面时的电阻值而检测触摸位置。另一方面，近年来广泛使用静电电容方式的触摸面板，该静电电容方式的触摸面板将呈格子状配置的透明电极配置于触摸面，并根据用户用手指触摸到面板时产生的静电电容而检测触摸位置。静电电容方式的触摸面板在面板表面上设定有X-Y的二维坐标，并且以与X-Y坐标对应的方式，将沿X方向延伸的多个透明电极和沿Y方向延伸的多个透明电极相互绝缘地对置配置在例如玻璃等透明基板上。作为这样的静电电容式触摸面板的检查方法，已知有使触摸探针代替人的手指而接触沿X方向、Y方向延伸的传感器电极而测量与传感器电极连接的引线的电位的检查方法(例如，参照专利文献1。)。专利文献1：日本特开2011-90358号公报然而，在如上述的接合传感器电极与引线的情况下，若接合部位的接合状态不充分，则有时在该接合部分产生电阻值。但是，在接合部分产生的接合电阻比传感器电极的电阻值小。因此，在专利文献1中记载的技术中，因接合不良而产生的接合电阻比正常时的传感器电极整体的电阻值小，不容易检测其不良。并不限于静电电容方式，即使是电阻膜方式的触摸面板或其他装置，也有可能与具有导电材料的接合部分的情况相同地产生这样的接合部的不良。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种容易检测导电材料的接合部分的不良的基板检查装置、用于该基板检查装置的检查辅具以及基板检查方法。本专利技术所涉及的基板检查装置用于检查形成有导电性的第一主电极和导电性的第一连接电极的基板，所述第一连接电极以在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述基板检查装置包括：第一检测电极，其在所述第一主电极与所述第一连接电极的接合部中的比所述第一连接电极靠所述第一主电极侧的位置处与所述接合部相对配置；第二检测电极，其在所述接合部中的比所述第一主电极靠所述第一连接电极侧的位置处与所述接合部相对配置；电流供给部，其向所述接合部供给电流；以及电压检测部，其对所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的电位差进行检测。本专利技术所涉及的基板检查方法用于检查形成有导电性的第一主电极和导电性的第一连接电极的基板，所述第一连接电极以在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述基板检查方法包含：第一检测电极配置工序，使第一检测电极在所述第一主电极与所述第一连接电极的接合部中的比所述第一连接电极靠所述第一主电极侧的位置处与所述接合部相对配置；第二检测电极配置工序，使第二检测电极在所述接合部中的比所述第一主电极靠所述第一连接电极侧的位置处与所述接合部相对配置；电流供给工序，向所述接合部供给电流；以及电压检测工序，对所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的电位差进行检测。根据这些结构，由于向第一主电极与第一连接电极的接合部供给电流，因此若接合部的电阻值因接合不良等而增大，则接合部处的第一主电极的电位与第一连接电极的电位之间产生差。在此，第一检测电极在接合部的第一主电极侧与该接合部相对配置而静电耦合。并且，第二检测电极在接合部的第一连接电极侧与该接合部相对配置而静电耦合。其结果是，能够借助耦合电容而检测第一检出电极与第二检测电极之间的电位差。由于该电位差根据接合电阻的大小而发生变化，因此只要能够检测该电位差，则容易检测作为导电材料的第一主电极与第一连接电极的接合部的不良。并且，优选所述基板还包括导电性的第二连接电极，所述第二连接电极以与所述第一连接电极分离并在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述电流供给部通过使电流流过所述第一连接电极与所述第二连接电极之间而向所述接合部供给电流。根据该结构，由于第一连接电极和第二连接电极相分离并与第一主电极接合，因此通过使电流流过第一连接电极与第二连接电极之间，能够向接合部供给电流。并且，也可以所述第一主电极沿着规定的第一方向延伸，所述基板还包括：第二主电极，其沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸，并且在与所述第一主电极交叉的位置处与所述第一主电极相对；以及导电性的第二连接电极，其以从所述交叉的位置分离并在厚度方向上与所述第二主电极重叠的方式与所述第二主电极接合，所述电流供给部通过使电流流过所述第一连接电极与所述第二连接电极之间而向所述接合部供给电流。根据该结构，由于与第一连接电极接合的第一主电极和与第二连接电极接合的第二主电极交叉相对，因此第一主电极和第二主电极在该交叉位置处静电耦合。因而，通过使电流流过第一连接电极与第二连接电极之间，能够借助交叉位置处的静电耦合而向接合部供给电流。并且，优选在所述基板上形成有多组由所述第一主电极、所述第一连接电极以及所述接合部构成的组，所述第一检测电极以及所述第二检测电极与所述多组的各接合部对应地设置有多对，所述基板检查装置还包括：第一辅具，其使所述多个第一检测电极与所述多个接合部的配置对应地保持为一体；以及第二辅具，其使所述多个第二检测电极与所述多个接合部的配置对应地保持为一体。根据该结构，多个第一检测电极通过第一辅具而与多个接合部的配置对应地保持为一体，多个第二检测电极通过第二辅具而与多个接合部的配置对应地保持为一体。其结果是，容易将多个第一检测电极以及多个第二检测电极与多个接合部相对配置。并且，也可以使所述第一主电极与所述第一连接电极的材质互不相同。由于在第一主电极与第一连接电极的材质互不相同的情况下容易产生接合不良，因此这样的基板适合作为利用上述的基板检查装置或基板检查方法进行检查的检查对象的基板。并且，也可以为所述基板是触摸面板显示器，所述第一主电极是透明电极。由于触摸面板显示器将透明电极用作第一主电极，因此为了与配线材料连接，使第一主电极与第一连接电极的材质互不相同。由于在第一主电极与第一连接电极的材质互不相同的情况下容易产生接合不良，因此这样的基板适合作为利用上述的基板检查装置或基板检查方法进行检查的检查对象的基板。并且，优选所述基板检查装置还包括判定部，所述判定部根据由所述电压检测部检测出的所述电位差判定所述接合部的好坏。根据该结构，能够通过判定部判定接合部的好坏。并且，优选所述判定部执行以下工序：第一判定工序，根据在通过所述电流供给部将规定的第一电流作为所述电流供给到所述接合部的期间由所述电压检测部检测出的电位差而判定所述接合部的好坏；以及第二判定工序，根据在通过所述电流供给部将与所述第一电流相反的方向的第二电流作为所述电流供给到所述接合部的期间由所述电压检测部检测出的电位差而判定所述接合部的好坏。有可能根据第一主电极与第一连接电极的接合状态而在接合部产生整流作用。但是，根据该结构，由于执行使第一电流流过接合部而判定好坏的第一判定工序和使与第一电流相反的方向的第二电流流过接合部而判定好坏的第二判定工序，因此即使在接合部产生整流作用的情况下，也能够通过任一判定工序检测不良。并且，优选所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板检查装置，其用于检查形成有导电性的第一主电极和导电性的第一连接电极的基板，所述第一连接电极以在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述基板检查装置包括：第一检测电极，其在所述第一主电极与所述第一连接电极的接合部中的比所述第一连接电极靠所述第一主电极侧的位置处与该接合部相对配置；第二检测电极，其在所述接合部中的比所述第一主电极靠所述第一连接电极侧的位置处与该接合部相对配置；电流供给部，其向所述接合部供给电流；以及电压检测部，其对所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的电位差进行检测。

【技术特征摘要】
2017.05.15 JP 2017-0968371.一种基板检查装置，其用于检查形成有导电性的第一主电极和导电性的第一连接电极的基板，所述第一连接电极以在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述基板检查装置包括：第一检测电极，其在所述第一主电极与所述第一连接电极的接合部中的比所述第一连接电极靠所述第一主电极侧的位置处与该接合部相对配置；第二检测电极，其在所述接合部中的比所述第一主电极靠所述第一连接电极侧的位置处与该接合部相对配置；电流供给部，其向所述接合部供给电流；以及电压检测部，其对所述第一检测电极与所述第二检测电极之间的电位差进行检测。2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，所述基板还包括导电性的第二连接电极，所述第二连接电极以与所述第一连接电极分离并在厚度方向上与所述第一主电极重叠的方式与所述第一主电极接合，所述电流供给部通过使电流流过所述第一连接电极与所述第二连接电极之间而向所述接合部供给电流。3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，所述第一主电极沿着规定的第一方向延伸，所述基板还包括：第二主电极，其沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸，并且在与所述第一主电极交叉的位置处与所述第一主电极相对；以及导电性的第二连接电极，其以与所述交叉的位置分离并在厚度方向上与所述第二主电极重叠的方式与所述第二主电极接合，所述电流供给部通过使电流流过所述第一连接电极与所述第二连接电极之间而向所述接合部供给电流。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的基板检查装置，其中，在所述基板上形成有多组由所述第一主电极、所述第一连接电极以及所述接合部构成的组，所述第一检测电极以及所述第二检测电极与所述多组的各接合部对应地设置有多对，所述基板检查装置还包括：第一辅具，其将多个所述第一检测电极与多个所述接合部的配置对应地保持为一体；以及第二辅具，其将多个所述第二检测电极与多个所述接合部的配置对应地保持为一体。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板检查装置，其中，所述第一主电极与所述第一连接电极的材质互不相同。6.根据权利要求1至5中任意一项所述的基板检查装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下宗宽，
申请(专利权)人：日本电产理德株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP