检查装置、检查装置的校正方法及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查装置、检查装置的校正方法及检查方法。在传感器面板等检查对象物的检查装置中，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正，并且可以以良好的精度测量传感器面板的微小的静电电容。在卸除了传感器面板的状态下，传感器面板检查装置(1)的校正部(46)对多个第二线缆(37)中的至少任一个供给信号部(11)的交流信号，并且调整在校正信号部(42)中与上述电流计对应的交流电源的电压及相位，以便使与第一线缆(36)电连接的电流检测部(41)的电流计的输出为零。若电流计的输出为零，则存储当时的上述交流电源的电压及相位。在检查传感器面板时，基于所存储的电压及相位，来使校正信号部(42)的交流电源产生交流信号。

【技术实现步骤摘要】

[0001 ] 本专利技术主要涉及以静电电容式的传感器面板等为检查的对象的检查装置。
技术介绍
以往，作为检测触碰位置的触控面板装置的一种，公知有所谓的静电电容式触控面板装置。静电电容式触控面板装置的传感器面板具有在例如用玻璃等形成的透明基板上设置有第一图案透明导电层和第二图案透明导电层的结构。上述的图案透明导电层例如通过使用氧化铟锡(Indium Tin Oxide, ITO)成膜而形成。 两个图案透明导电层相互垂直交叉地配置，分别用作电极。另外，以下有时称第一图案透明导电层及第二图案透明导电层为第一电极及第二电极。第一电极与第二电极被配置成隔着传感器面板的厚度方向的间隙而对置。 由于以上的结构，在第一电极与第二电极的交叉部分形成一种电容器，上述的电容器的静电电容会因导电性物体(例如人体)接近或者接触而变化。触控面板装置可以通过检测上述的静电电容的变化来检测与传感器面板触碰的位置。上述方式称为所谓的投影型静电电容方式，在可以高精度地检测触碰位置的方面相当优异。 另外，对于触控面板装置的制造者而言，为了避免不良品的混入而确保产品品质而对传感器面板进行检查是极为重要的。 作为上述检查措施之一，以往，使由针状的导通探针所构成的接触头与沿纵横方向配置的各电极、与其连接的布线直接接触，来检查各电极(布线)是否导通和与相邻的电极(布线)是否短路。 然而，对于这样使接触头直接接触来进行检查的方法，由ITO膜构成的上述的电极与接触头间无稳定性，会由于氧化膜的接触电阻的不稳定性而无法正确地测量电特性。另外，由于接触头与检查对象的电极等直接接触，因此存在会形成刮痕而使品质降低的问题。 另一方面，如专利文献I所公开的那样，为了精度良好地对组装而成的触控面板上的规定的触碰输入位置进行检测，提出了检查触控面板整体的电阻值等电特性的方法。 另外，除专利文献I公开的内容以外，还提出了下述方案，即一边向各个电极供给检查信号，一边使接触头与电极交叉部分接触，基于接触头的检测信号来检查电极等的优劣。 (现有技术文献) (专利文献) 专利文献1:日本特开2005-274225号公报
技术实现思路
(专利技术所要解决的问题) 然而，在这样的检查方法中，需要使接触头与沿纵横方向配置的所有的电极的交叉部分接触来进行检查。因此，若电极的数量增加，则移动接触头所需的时间变长，检查时间会显著地增加。 另外，虽然在检查的过程中考虑测量第一电极与第二电极的交叉部分处的静电电容，但上述的静电电容至多亦不过1pF左右，与此相对，检查装置的电路所含的非意图的电容成分(所谓的寄生电容)为10pF左右，这种寄生电容会成为降低测量精度的重大原因。因此，从提高检查的精度的观点出发，要求恰当地排除上述寄生电容的影响。 本专利技术鉴于以上的情况而提出，其目的在于，在传感器面板等检查对象物的检查装置中，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正(calibrat1n，校准，标定)，并且可以以良好的精度对传感器面板的微小的静电电容进行测量。 (解决问题的措施及效果) 本专利技术要解决的问题如上，接下来，对用以解决上述的课题的措施及其效果进行说明。 根据本专利技术的第一观点，提供一种检查对象物的检查装置，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉。即，上述检查装置构成为具备第一布线体、第二布线体、信号部、信号供给切换部、电流检测部、检测切换部以及校正信号部。上述第一布线体具备多个，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接。上述第二布线体具备多个，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接。上述信号部是供给交流信号的交流电源。上述信号供给切换部能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换。上述电流检测部具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计。上述检测切换部能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换。上述校正信号部具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源。上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。 据此，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正。另外，由于控制校正信号部的交流电源，以便消除因寄生电容等造成的电流，因此电流检测部的电流计可以检测基于第一导电体与第二导电体的交叉部分的静电电容的电流本身。因此，通过恰当地确定电流计的量程，可以以良好的精度来测量传感器面板的微小的静电电容。 在上述检查装置中，优选具有以下的结构。即，上述检查装置具备至少控制上述信号部、上述电流检测部以及上述校正信号部的校正部。上述校正部在进行卸除了上述检查对象物的校正时，对上述第二布线体的至少任一个供给上述信号部的交流信号，并调整上述校正信号部中与上述电流计对应的交流电源的电压以及相位，以便使与上述第一布线体电连接的上述电流检测部的电流计的输出为零。另外，上述校正部获取上述电流计的输出为零时赋予给上述校正信号部的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储。另外，上述校正部在进行上述检查对象物的检查时，基于所存储的上述校正参数来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。 据此，可以自动地确定用于消除因寄生电容造成的电流的、校正信号部的交流电源的电压及相位。因此，可以减轻校正所需的工夫。 在上述检查装置中，优选具有以下的结构。即，上述校正部在进行上述校正时，切换上述信号供给切换部的状态，以便对作为上述信号部的信号的供给对象的上述第二布线体进行变更，并且将上述信号供给切换部的状态与上述校正参数建立对应而存储。上述校正部在进行上述检查对象物的检查时，基于与上述信号供给切换部的状态对应地存储的上述校正参数，来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。 据此，即便寄生电容等对应于哪个第二布线体作为信号供给对象而变化，也可以进行与其对应的校正，因此可以良好地维持测量精度。 优选地，在上述检查装置中，上述校正部在上述校正时控制上述检测切换部，以便将多个上述第一布线体和与其对应的上述电流检测部的电流计同时连接。 据此，可以同时并行地进行涉及多个电流计的校正操作，因此可以有效地缩短校正所需的时间。 在上述检查装置中，优选具有以下的结构。即，上述检查装置具备至少控制上述信号部、上述电流检测部、上述信号供给切换部以及上述检测切换部的检查部。上述检查部控制上述信号供给切换部，以便向从多个上述第二导电体中的选择出的一个供给上述信号部的交流信号，并且控制上述检测切换部，以便将从多个上述第一导电体中选择出的一个与对应的上述电流检测部的电流计进行连接。上述检查部在将从选择出的第二导电体中作为供给上述信号部的交流信号的端部的供给端开始经由选择出的第二导电体与选择出的第一导电体的交叉部分到达选择出的第一导电体中作为连接上述电流计的一侧的端部的计测端的电路作为形成电路时，利用上述电流计检测电流，来计测包含上述形成电路的电阻即电路电阻和流过上述形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移中的任一个的形成电路计测值。另外，上述检查部基于所获得的上述形成电路计测值，来检查上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查对象物的检查装置，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉，其特征在于，具备：多个第一布线体，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接；多个第二布线体，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接；信号部，作为供给交流信号的交流电源；信号供给切换部，能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换；电流检测部，具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计；检测切换部，能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换；以及校正信号部，具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源，上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。

【技术特征摘要】
2013.06.07 JP 2013-1207721.一种检查对象物的检查装置，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉，其特征在于，具备: 多个第一布线体，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接； 多个第二布线体，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接； 信号部，作为供给交流信号的交流电源； 信号供给切换部，能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换； 电流检测部，具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计； 检测切换部，能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换；以及 校正信号部，具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源， 上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于， 具备至少控制上述信号部、上述电流检测部以及上述校正信号部的校正部， 上述校正部 在卸除了上述检查对象物的校正时，对上述第二布线体的至少任一个供给上述信号部的交流信号，并且调整上述校正信号部中与上述电流计对应的交流电源的电压以及相位，以便使与上述第一布线体电连接的上述电流检测部的电流计的输出为零， 获取上述电流计的输出为零时赋予给上述校正信号部的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储， 在进行上述检查对象物的检查时，基于所存储的上述校正参数来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于， 上述校正部在进行上述校正时，切换上述信号供给切换部的状态，以便对作为上述信号部的信号的供给对象的上述第二布线体进行变更，并且将上述信号供给切换部的状态与上述校正参数建立对应而存储， 在进行上述检查对象物的检查时，基于与上述信号供给切换部的状态对应地存储的上述校正参数，来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。4.如权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于， 上述校正部在进行上述校正时控制上述检测切换部，以便将多个上述第一布线体和与其对应的上述电流检测部的电流计同时连接。5.如权利要求1?4中任一项所述的检查装置，其特征在于， 具备至少控制上述信号部、上述电流检测部、上述信号供给切换部及上述检测切换部的检查部， 在进行上述检查对象物的检查时，上述检查部 控制上述信号供给切换部，以便向从多个上述第二导电体中的选择出的一个供给上述信号部的交流信号， 控制上述检测切换部，以便将从多个上述第一导电体中选择出的一个与对应的上述电流检测部的电流计进行连接， 当将从选择出的第二导电体中作为供给上述信号部的交流信号的端部的供给端开始经由选择出的第二导电体与选择出的第一导电体的交叉部分到达选择出的第一导电体中作为连接上述电流计的一侧的端部的计测端的电路作为形成电路时，利用上述电流计检测电流，来计测包含上述形成电路的电阻即电路电阻和流过上述形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移中的任一个的形成电路计测值， 基于所获得的上述形成电路计测值，来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异堂巾O6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于， 上述检查部对上述形成电路计测值进行计测，并且对选择出的上述第一导电体及上述第二导电体的交叉部分的静电电容进行测量。7.如权利要求5或6所述的检查装置，其特征在于， 上述检查部针对以选择出的第一导电体为共用，伴随着使选择出的第二导电体从上述第一导电体的长边方向一侧向另一侧依序变化，上述形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。8.如权利要求5?7中任一项所述的检查装置，其特征在于， 上述检查部针对以选择出的第二导电体为共用，伴随着使选择出的第一导电体从上述第二导电体的长边方向一侧向另一侧依序变化，上述形成电路的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下宗寛，
申请(专利权)人：日本电产理德株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP