用于在加工过程中传输太阳能晶圆的带式输送机制造技术

本发明专利技术公开了一种用于在加工期间传输太阳能晶圆的带式输送机，该带式输送机包含有：i）多个环形金属带，其用于支撑太阳能晶圆；ii）多个旋转皮带轮，其被配置来接纳多个环形金属带，该旋转皮带轮旋转以沿着连续路径传输多个环形金属带中的每一个，藉此传输太阳能晶圆；和iii）检查设备，其被设置来在太阳能晶圆由多个环形金属带传输的同时检查太阳能晶圆。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种在加工过程中当太阳能晶圆(solar wafers)移动通过不同的处理平台时用于传输太阳能晶圆的带式输送机(belt conveyor )。
技术介绍
太阳能电池(solarcells)是根据光伏效应(photovoltaic effect:PV effect)将光能转化为电能的电子器件。通过将太阳能电池排列在一起，PV太阳能版能够被成型来提供一种能量产生器件。另外，太阳能电池已经被用作为备份能源供应，以用于不同的消费者产品如移动手机和个人数字助理。太阳能电池的加工包括三维(3D)检查，如晶圆一致性、热点、阵列的不一致性、和表面的污染水平。太阳能晶圆是用于加工太阳能电池的原材料。通常，太阳能晶圆使用带式输送机沿着传输路径被传输通过检测区域，在那里通过激光和视觉系统快速(on-the-fly)完成3D检查，以提供太阳能晶圆不同的測量结果，如厚度尺寸、弓曲和扭曲。不幸的是，在操作过程中，用于传输太阳能晶圆的传统的带式输送机倾向于振动。所以，当太阳能晶圆被传输通过检测区域时，由传统的带式输送机所传输的太阳能晶圆常常遭受自传输路径的偏离位移(如Z轴变动)。这种由传统的带式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在加工期间传输太阳能晶圆的带式输送机，该带式输送机包含有：多个环形金属带，其用于支撑太阳能晶圆；多个旋转皮带轮，其被配置来接纳多个环形金属带，该旋转皮带轮旋转以沿着连续路径传输多个环形金属带中的每一个，藉此传输太阳能晶圆；和检查设备，其被设置来在太阳能晶圆由多个环形金属带传输的同时检查太阳能晶圆。

【技术特征摘要】
2011.12.02 US 13/309,6991.一种用于在加工期间传输太阳能晶圆的带式输送机，该带式输送机包含有: 多个环形金属带，其用干支撑太阳能晶圆； 多个旋转皮带轮，其被配置来接纳多个环形金属帯，该旋转皮带轮旋转以沿着连续路径传输多个环形金属带中的每ー个，藉此传输太阳能晶圆；和 检查设备，其被设置来在太阳能晶圆由多个环形金属带传输的同时检查太阳能晶圆。2.如权利要求1所述的带式输送机，其中，该多个旋转皮带轮中的每ー个包含有凸出的弯曲表面，相应一定宽度的环形金属带被接纳在该弯曲表面的上方。3.如权利要求1所述的带式输送机,该带式输送机还包含有底座,其中多个旋转皮带轮被设置在底座的相对端部。4.如权利要求3所述的带式输送机，其中，多个环形金属带沿着底座的相对端部设置。5.如权利要求3所述的带式输送机,其中，该底座包含有ー个或ー个以上的洞ロ，以便于检查设备被操作来在太阳能晶圆由多个环形金属带所传输的同时，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈联福，屠文革，
申请(专利权)人：先进科技新加坡有限公司，
类型：发明
国别省市：