太阳能晶圆倍速光电检测系统、检测方法及检测机台技术方案

本发明专利技术适用于太阳能晶圆检测技术领域，提供了一种太阳能晶圆倍速光电检测系统、检测方法及检测机台，用以检测复数待测太阳能晶圆，机台包含一个基座，于基座上设置复数道输送带，用以同时承载及移动多个待测太阳能晶圆进行检测，机台上还设有光学检测系统及倍速光电检测系统，由光学检测系统同时进行各输送带承载的晶圆表面及颜色的检测作业后，再由倍速光电检测系统通过同一个光源进行光电检测，使得各个晶圆于光电检测后所得数据具有相同的比较值，并规划检测时的程序，以增加其检测的效率，最后将各个检测数据传至分类系统做为分类的依据。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种太阳能晶圆倍速光电检测系统、检测方法及检测机台，尤其是一种在进行检测时透过时序切换检测的倍速光电检测系统。
技术介绍
洁净能源如太阳能等的需求日增，目前太阳能的主要转换方式是通过太阳能电池将太阳能转换成电能以供使用，随着太阳能电池的普及，在封装成太阳能电池模块前，必须先进行严格的质量检测，太阳能电池的检测也成为业界的重要课题。太阳能电池的缺陷一般可分为内部缺陷与外部瑕疵，内部缺陷主要是指由于结构些微断裂造成的微裂(Micro-crake)，虽然此种微裂的裂缝宽度可能甚小，甚至仅存在于部分高度范围，但由于微裂会阻断太阳能电池内部光电子的传递，因此会明显降低太阳能电池所生电能的传输效率，即使内部缺陷尺寸很微小，仍然可能影响输出电能，尤其在安装使用一段时间后，因为太阳光的照射以及温度的变化，微隙将可能会继续扩大，对于输出电能的影响也会增大，若是外部的污染如水(H2O)及氢(H2)的侵入，对于整体而言将造成更大的损坏。因此太阳能电池的微裂问题，将成为业界检测的困扰，而较早期的检测方法如图1 所示，以有经验的操作人员手持太阳能晶圆11轻微摇晃，利用有内裂的太阳能电池在摇晃时会产生异样声音，纯凭操作人员的耳朵听声辨别。当然，此种检测受限于摇晃的力度并非一致，异常声音也欠缺统一标准，而且人的听力非常有限，一旦摇晃的力度过大，更可能直接损坏受测的太阳能晶圆11导致破裂，因此检测的可信度相当受到质疑。如图2所示，太阳能晶圆11之收光面111上具有一组供将所接收光转换为电能输出的导电总线112，为提供快速自动化检测，一种太阳能晶圆检测机台将迭放有复数个待测太阳能晶圆11的入料匣，通过移载装置取出待测太阳能晶圆11，并放置在输送带上，凭借一组摄影装置，撷取待测太阳能晶圆11表面形状的影像，以辨识是否存在表面瑕疵；再由光电检测系统以探针接触导电总线112，并以强光源模拟日光照射待测太阳能晶圆11的收光面111而进行检测，并依检测数据作为对太阳能晶圆11进行分类的依据。由于光学检测系统只需对待测太阳能晶圆的外观进行影像摄取，速度甚快；而光电检测系统则是需增加将探针导接抵置于待测太阳能晶圆的导电总线处的机构动作，并将光源发光照射至收光面上，再由探针测量待测太阳能晶圆受光后所发的电量，最后还要等候探针脱离待测太阳能晶圆，才能移开受测晶圆。因此，在光电检测系统部分需要额外增添探针下压与上提的两个机械动作，与光学检测部分仅单纯摄取影像的电子信号的动作比较，无疑占用较长时间，若在同一条检测路径上进行检测时，检测时间较慢的光电检测系统必然会迟滞检测时间较快的光学检测系统，使整体作业效率无法提升。另一方面，若单纯为提升检测速度而设置两套完整的光电检测系统，将光学检测完毕的待测太阳能晶圆分流受测，不仅会使成本提高，且在进行光电检测时，更会因为使用两组不同的光源，随着使用时间的增加，作为光源的灯泡因老化而造成发光的亮度有所差异，在进行光电检测时便无法得到一个统一的比较标准，造成检测上的困难与不便。因此， 如何改进太阳能检测机台而提升效率，便成为了需要解决的问题。
技术实现思路
本专利技术之一目的在于提供一种通过多组检测装置分别对多个待测太阳能晶圆进行检测的倍速检测机台。本专利技术之又一目的在于提供一种利用各个检测项目的检测时间差规划出具有流畅性的检测流程的倍速检测机台。本专利技术之另一目的在于提供一种共享同一个光源进行所有待测太阳能晶圆的光电检测作业、使光电检测出的数据有统一标准的倍速光电检测系统。本专利技术之再一目的在于提供一种利用各检测项目的检测时间差，规划出具有效率的检测流程，进行其中一个待测太阳能晶圆的光电检测时预先使其它晶圆移动至其它的检测位置的检测方法。为实现上述目的，本专利技术提供的技术方案是一种太阳能晶圆倍速光电检测系统， 用于太阳能晶圆检测机台，用以检测至少一片待测太阳能晶圆，其中该待测太阳能晶圆具有一个收光面及一组用来将所接收光转换为电能输出的导电总线，且该检测机台具有一个基座，该检测系统包括一组设置于该基座上的移动装置，该组移动装置包括复数道输送件，且每一输送件分别对应有一个供该待测太阳能晶圆受测的检测位置；一组光照切换装置，包括一个光源；及一个切换该光源所发光能至该等检测位置的切换器；及一组驱动导接装置，包括复数组分别对应各该检测位置的导接电极；及复数组分别驱动该等导接电极导接该待测太阳能晶圆的导接总线的驱动件。更具体的，其还包括控制装置，当该复数组导接电极之一导接该受测太阳能晶圆时，该控制装置用来驱动该切换器将该光源所发光能对应切换至该受测太阳能晶圆所在的检测位置；当该受测太阳能晶圆所转换电能被感测时，该控制装置还用来驱动该等输送件中的另一输送件，输送次一片受测太阳能晶圆至另一检测位置。更具体的，该切换器是一个将该光源在复数个分别对应该等检测位置的光照位置间搬移的载具。更具体的，该切换器为一个将该光源发出的光轮流照射至该等检测位置的光学镜组。更具体的，该等导接电极为复数探针组。更具体的，该驱动件为复数组分别用来驱动该等探针组升降的机械臂。本专利技术还提供了一种具有太阳能晶圆倍速光电检测系统的检测机台，用来检测复数待测太阳能晶圆，其中该等待测太阳能晶圆分别具有一个收光面及一组用来将所接收光转换为电能输出的导电总线，该检测机台包括一个基座；一组设置于该基座的入料系统；一组光学检测系统；一组倍速光电检测系统，包括一组设置于该基座上的移动装置，该组移动装置包括复数道输送件，且每一该等输送件分别对应有一个供该等待测太阳能晶圆受测的检测位置；一组光照切换装置，该光照切换装置包括一个光源以及一个切换该光源所发光能至该等检测位置的切换器；及一组驱动导接装置，具有复数组分别对应各该检测位置的导接电极；及复数组分别驱动该等导接电极导接该等待测太阳能晶圆导接总线的驱动件；及一组依照该光学检测系统及该倍速光电检测系统检测结果将该等测毕太阳能晶圆分类的分类系统。更具体的，该光学检测系统具体包括一组太阳能晶圆收光面影像摄取装置；及一组太阳能晶圆色彩摄取装置。更具体的，该倍速光电检测系统还包括控制装置，当该复数组导接电极之一导接该受测太阳能晶圆时，该控制装置用来驱动该切换器将该光源所发光能对应切换至该受测太阳能晶圆所在的检测位置；当该受测太阳能晶圆所转换电能被感测时，该控制装置还用来驱动该等输送件中的另一输送件，输送次一片受测太阳能晶圆至另一检测位置。本专利技术还提供了一种太阳能晶圆检测方法，用于检测机台检测复数待测太阳能晶圆，其中该等待测太阳能晶圆分别具有一个收光面及一组用来将所接收光转换为电能输出的导电总线，且该检测机台包含一个基座、一组设置于该基座的入料系统、一组光学检测系统、一组倍速光电检测系统、及一组依照该光学检测系统及该倍速光电检测系统检测结果进行分类的分类系统，且该倍速光电检测系统包括一组设置于该基座上、并具有复数道输送件的移动装置，每一输送件分别对应一检测位置，一组具有一个光源及一个切换器的光照切换装置，一组具有复数组导接电极及复数组驱动件的驱动导接装置，及一组控制装置， 该方法包括a)由该入料系统将该等待测太阳能晶圆输入该组光学检测系统进行光学检测；b)以该移动装置的该等输送件之一，将该待测太阳能晶圆输送至该等检测位置中的对应检测位本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种太阳能晶圆倍速光电检测系统，用于太阳能晶圆检测机台，用以检测至少一片待测太阳能晶圆，其中该待测太阳能晶圆具有一个收光面及一组用来将所接收光转换为电能输出的导电总线，且该检测机台具有一个基座，其特征在于，该检测系统包括：一组设置于该基座上的移动装置，该组移动装置包括复数道输送件，且每一输送件分别对应有一个供该待测太阳能晶圆受测的检测位置；一组光照切换装置，包括：一个光源；及一个切换该光源所发光能至该等检测位置的切换器；及一组驱动导接装置，包括：复数组分别对应各该检测位置的导接电极；及复数组分别驱动该等导接电极导接该待测太阳能晶圆的导接总线的驱动件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡译庆，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：32