一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，包括有照射激光器、加工激光器、相对于加工激光器输出端后的光束扩散装置、相对光束扩散装置输出端后和照射激光器输出端后的光学合束镜、设置于光学合束镜后的激光扫描器和相对激光扫描器照射端的载物台。本实用新型专利技术两束激光来自于同一激光器或两台激光器，由于两束激光叠加的非线性效应，它们的总能量低于达到同等效果的单束激光的能量，提高了激光能量的使用效率，且采用相对较低功率激光器来获得同样加工速度，或者使用同样激光器而较大幅度提高有关加工速度，从而大大降低有关加工成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光精密加工
，具体是一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置。
技术介绍
太阳能光伏发电产业正在全世界范围内以前所未有的速度快速扩张。由于太阳能具有清洁，取之不尽、用之不竭的优势，这使得它在未来世界的能源结构中必然会占有重要的一席之地。提高太阳能电池的发电效率，并达到经济上可行的量产化生产是目前太阳能发电产业的核心课题。激光技术因其快速、精确、无接触以及可控的热效应等优势，在太阳能电池生产领域有着广阔的应用前景。采用激光技术来提高太阳能电池的发电效率是也是近年来的研究热点之一。 硅晶太阳能电池是目前市场上应用最广的一种。硅晶太阳能电池是以硅晶圆作为基底，表面上形成精密的薄膜结构，例如浅掺杂层、钝化层、保护层等。这些膜层的厚度通常都在纳米量级，一般不超过I微米。激光精密加工的作用范围主要限定在这些膜层结构内。对于激光加工的效果，要求加工深度精准，同时对加工区域周围的材料的热破坏尽量小，这样才能保证所加工的电池的光电转换效率达到最优。由于这些原因，通常选择短波长的超快激光器作为光源，比如说脉冲宽度在纳秒级(10_9秒)甚或是皮秒级(10_12秒)的绿光或紫外激光器。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：它包括有照射激光器、加工激光器、相对于加工激光器输出端后的光束扩散装置、相对光束扩散装置输出端后和照射激光器输出端后的光学合束镜、设置于光学合束镜后的激光扫描器和相对激光扫描器照射端的载物台。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈坚，吴周令，
申请(专利权)人：合肥知常光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：