形成太阳能电池中的互连件的方法技术

一种薄膜太阳能电池及其形成工艺。该太阳能电池包括底部电极、半导体光吸收层、和顶部电极。可以通过在电极之间形成的凹进区域中电化学电镀导电材料，在顶部电极和底部电极之间形成互连件。在一些实施例中，导电材料可以是具有非透光性质的光学不透明金属。互连件是高度导电的，并使顶部电极层的厚度最小化，从而增强透光率和电池能量转换性能。本发明专利技术还提供一种形成太阳能电池中的互连件的方法。

【技术实现步骤摘要】

一般而言，本专利技术涉及光伏太阳能电池，更具体而言，涉及薄膜太阳能电池及其形成方法。
技术介绍
薄膜光伏(PV)太阳能电池是一类能源器件，利用光形式的再生能源将其转换成可以用于各种用途的有用电能。薄膜太阳能电池是通过在衬底上沉积半导体和其他材料的各种薄层和膜而形成的多层半导体结构。这些太阳能电池可以被制成以由多个单独的电互连的电池组成的一些形式存在的轻质柔性板(light-weight flexible sheet)。轻质和柔性的属性给予薄膜太阳能电池板广泛的潜在应用性，使其能够作为电源用于便携式电子设备、航空空间、住宅和商业建筑物，在这些地方中它们可以与各种建筑部件(比如屋顶木瓦、外立面和天窗)相结合。薄膜太阳能电池半导体封装件通常包括在衬底上形成的导电底部电极(也被称为后接触件)和在底部电极上方形成的透光导电顶部电极(也被称作顶部接触件)。顶部电极膜可以由例如透光透明导电氧化物(“TC0”)材料制成，该透光TCO材料对光基本上是透明的，并将TCO上的入射光传递至在太阳能电池中的形成在下面的半导体层。在底部电极和顶部电极之间沉积有源光吸收层，其基本上以公知的方式捕获光能并将光能转本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于形成薄膜太阳能电池中的互连件的方法，所述方法包括：在衬底上形成导电底部电极层；在所述底部电极层上形成吸收层；在所述吸收层中形成开口互连凹槽，所述凹槽延伸穿过所述吸收层至所述底部电极层；采用电镀工艺在所述凹槽中沉积金属导电材料，经电镀的凹槽限定出互连件；以及在所述吸收层上方形成透光顶部电极层，所述顶部电极层由不同于所述互连件的材料制成。

【技术特征摘要】
2011.11.30 US 13/307,0251.一种用于形成薄膜太阳能电池中的互连件的方法，所述方法包括: 在衬底上形成导电底部电极层； 在所述底部电极层上形成吸收层； 在所述吸收层中形成开口互连凹槽，所述凹槽延伸穿过所述吸收层至所述底部电极层； 采用电镀工艺在所述凹槽中沉积金属导电材料，经电镀的凹槽限定出互连件；以及在所述吸收层上方形成透光顶部电极层，所述顶部电极层由不同于所述互连件的材料制成。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述互连件由电镀材料制成，所述电镀材料选自由铜、镍、金、银、钯、钼、及其合金组成的组。3.根据权利要求1所述的方法，进一步包括: 在形成所述互连凹槽之前，在所述吸收层上形成缓冲层，其中，穿过所述缓冲层和所述吸收层形成所述凹槽。4.一种薄膜太阳能电池，包括: 底部电极层，形成在衬底上； 半导体吸收层，形成在所述底部电极层上； 顶部电极层，形成在所述吸收层上方，所述顶部电...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨弦升，李文钦，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：