下载用于在加工过程中传输太阳能晶圆的带式输送机的技术资料

文档序号:8791901

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本发明公开了一种用于在加工期间传输太阳能晶圆的带式输送机,该带式输送机包含有:i)多个环形金属带,其用于支撑太阳能晶圆;ii)多个旋转皮带轮,其被配置来接纳多个环形金属带,该旋转皮带轮旋转以沿着连续路径传输多个环形金属带中的每一个,藉此传输...
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