【技术实现步骤摘要】
一种双提拉腔单晶炉结构
本技术属于机械设备
，涉及一种双提拉腔单晶炉结构。
技术介绍
单晶炉是生长硅单晶的专用设备，在实际硅单晶生长过程中，为了缩短辅助时间、减少耗材消耗、提高生产效率，需要在同一个坩埚中进行二次加料。目前，常用的二次加料方法是将块状或粒状原料通过辅助加料桶进行加料，不但增长了辅助时间，而且由于块状或粒状原料的形状不规则、不统一，往往会出现卡滞现象，造成加料失败，从而造成较大的损失。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种双提拉腔单晶炉结构，解决了现有技术中仅通过一个提拉腔辅助加料，使得二次加料过程费时、容易卡滞的问题。本技术所采用的技术方案是，一种双提拉腔单晶炉结构，包括在基座内设置有坩埚驱动机构，在基座上方设置有单晶炉室，单晶炉室内壁设置有加热系统，加热系统轴心设置有坩埚，坩埚向下与坩埚驱动机构连接，坩埚中用于生长单晶棒；在基座上的单晶炉室旁边设置有立柱，立柱上同时设置有主提拉腔及辅助提拉腔。本技术的有益效果是，通过两个提拉腔之间的交互配合工作，缩短了辅助时间、减少了耗材消耗、提高了生产效率；该装置的结构简单，加工制造容易、安装方便、操作简单、可靠性高，提高了单晶炉的工作效率。附图说明图1为本技术双提拉腔单晶炉结构的位置示意图；图2为本技术双提拉腔单晶炉结构的俯视示意图。图中，1.基座，2.坩埚驱动机构，3.单晶炉室，4.加热系统，5.坩埚，6.单晶棒，7.隔离阀，8.夹头一，9.主提升杆，10.主支臂，11.主提拉腔筒体，12.软轴一，13.主提升机构，14.副提升机构，15.软轴二，16.夹头二，17.棒状原料，18.副支臂...
【技术保护点】
一种双提拉腔单晶炉结构，其特征在于：包括在基座（1）内设置有坩埚驱动机构（2），在基座（1）上方设置有单晶炉室（3），单晶炉室（3）内壁设置有加热系统（4），加热系统（4）轴心设置有坩埚（5），坩埚（5）向下与坩埚驱动机构（2）连接；在基座（1）上的单晶炉室（3）旁边设置有立柱（21），立柱（21）上同时设置有主提拉腔及辅助提拉腔。
【技术特征摘要】
1.一种双提拉腔单晶炉结构，其特征在于:包括在基座(I)内设置有坩埚驱动机构(2)，在基座(I)上方设置有单晶炉室(3)，单晶炉室(3)内壁设置有加热系统(4)，加热系统(4)轴心设置有坩埚(5)，坩埚(5)向下与坩埚驱动机构(2)连接； 在基座(I)上的单晶炉室(3 )旁边设置有立柱(21 )，立柱(21)上同时设置有主提拉腔及辅助提拉腔。2.根据权利要求1所述的双提拉腔单晶炉结构，其特征在于:所述的主提拉腔的结构是，在立柱(21)上竖直铰接有主提升杆(9 )，主提升杆(9 )通过主支臂(10 )与主提拉腔筒体(11)固定连接，在主提拉腔筒体(11)顶端设置有主提升机构(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：李留臣，冯金生，程绪高，蒋国庆，陈小兔，李伯军，胡章宏，
申请(专利权)人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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