【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高效新型蓝宝石晶体生长系统包括炉壳，隔热层，发热体，钨坩埚，坩埚车，籽晶动作伺服机构，升降系统，称重系统，软件控制系统和安全保护系统，其特征在于，所述炉壳包括主炉壳，上炉盖和下炉盖，所述隔热层包括侧保温层，上保温层和下保温层，所述发热体分为侧发热体和底部发热体，所述侧发热体使用钨杆，水冷电极，通过铜盘悬挂于炉壳电极桩上，所述钨坩埚为烧结坩埚，纯度99.95％，所述坩埚车采用电动叉车，并配有坩埚位置微调系统，可实现坩埚在水平面上的二维移动，移动行程为0?20cm，所述籽晶动作伺服机构包括籽晶升降系统伺服电机，籽晶升降丝杠，籽晶旋转电机，籽晶杆，止推轴承和波纹管，所述升降系统采用丝杠升降机构，并有限位器保证升降过程中的设备安全，所述称重系统使用压电称重传感器，所述软件控制系统分为电源控制，籽晶动作控制，观察窗视频显示和报警控制，所述安全保护系统由漏炉报警装置构成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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