【技术实现步骤摘要】
单晶炉及其坩埚托杆
本技术涉及单晶炉
，更具体地说，涉及一种单晶炉的坩埚托杆，本实 用新型还涉及一种具有上述坩埚托杆的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备。其中，生产单晶硅的多晶硅原料放 置于石英坩埚中，石英坩埚放置于位于单晶炉热场中的石墨埚中，而石墨埚被一根圆柱状 的坩埚托杆支撑(如图1所示)，坩埚托杆的下部穿过单晶炉的炉底以与外部的驱动装置连 接，位于热场中的炉底上设置有隔热层和护盘压片(护盘压片:单晶炉热场的组成部分之 一，用于保护单晶炉炉底)，坩埚托杆穿过隔热层和护盘压片的部分，在其外侧套设有托杆 护套。在单晶硅的生产过程中，需要将固体多晶硅原料熔化，在熔化的过程中会挥发出 娃蒸汽，娃蒸汽存在于热场中，又因为热场中温度较高，所以会使得热场中的石墨件与娃蒸 汽发生反应。石墨埚在长时间使用后可能会因与硅蒸汽反应而导致其断裂，石墨埚断裂后 进而导致石英坩埚破裂，熔化后的多晶硅溶液从石英坩埚中流出导致发生硅泄漏事故，多 晶硅溶液从石英坩埚中流出后经石墨埚流到坩埚托杆上，然后沿着坩埚托杆侧壁流向坩埚 托杆的底部，进而烫坏设置在坩埚...
【技术保护点】
一种单晶炉的坩埚托杆，包括托杆本体，其特征在于，还包括设置在所述托杆本体上的环状导流部，且所述环状导流部伸出所述托杆本体的外壁的距离大于所述单晶炉的护盘压片与所述外壁之间的距离。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的坩埚托杆，包括托杆本体，其特征在于，还包括设置在所述托杆本体上的环状导流部，且所述环状导流部伸出所述托杆本体的外壁的距离大于所述单晶炉的护盘压片与所述外壁之间的距离。2.根据权利要求1所述的单晶炉的坩埚托杆，其特征在于，所述托杆本体包括: 顶部托杆，所述顶部托杆上设置有可与单晶炉的石墨埚连接的安装部； 与所述顶部托杆同轴设置的底部托杆；其中， 所述环状导流部设置在所述顶部托杆上，且位于所述安装部的底端。3.根据权利要求1所述的单晶炉的坩埚托杆，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：白剑铭，孙二凯，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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