下载单晶炉及其坩埚托杆的技术资料

文档序号:8784916

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本实用新型提供了一种单晶炉的坩埚托杆,包括托杆本体,其特征在于,还包括设置在所述托杆本体上的环状导流部,且所述环状导流部伸出所述托杆本体的外壁的距离大于所述单晶炉的护盘压片与所述外壁之间的距离。本实用新型提供的单晶炉的坩埚托杆,因增设了对多...
该专利属于英利能源(中国)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英利能源(中国)有限公司授权不得商用。

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