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本实用新型公开了一种双提拉腔单晶炉结构,包括在基座内设置有坩埚驱动机构,在基座上方设置有单晶炉室,单晶炉室内壁设置有加热系统,加热系统轴心设置有坩埚,坩埚向下与坩埚驱动机构连接,坩埚中用于生长单晶棒,在基座上的单晶炉室旁边设置有立柱,立柱上...该专利属于江苏华盛天龙光电设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏华盛天龙光电设备股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种双提拉腔单晶炉结构,包括在基座内设置有坩埚驱动机构,在基座上方设置有单晶炉室,单晶炉室内壁设置有加热系统,加热系统轴心设置有坩埚,坩埚向下与坩埚驱动机构连接,坩埚中用于生长单晶棒,在基座上的单晶炉室旁边设置有立柱,立柱上...