改进的区熔炉观察窗口制造技术

本实用新型专利技术涉及一种非金属晶体制造设备中的一个部分，旨在提供一种改进的区熔炉观察窗口。该区熔炉观察窗口包括窗口玻璃、压板和垫片；所述压板包括内层玻璃压板、中层玻璃压板和外层玻璃压板，窗口玻璃包括内层玻璃、中层玻璃和外层玻璃；外层玻璃固定在中层玻璃压板和外层玻璃压板之间，中层玻璃固定在内层玻璃压板和中层玻璃压板之间，内层玻璃固定在内层玻璃压板和外层玻璃压板之间，垫片安装于压板和窗口玻璃之间；中层玻璃压板上有进水口和出水口。本实用新型专利技术为拉晶人员提供一个布局合理、视野开阔、密封性好、安全可靠，且能承受炉内高温高压的观察窗口。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是关于一种非金属晶体制造设备中的一个部分，特别涉及一种改进的区熔炉观察窗口。
技术介绍
区熔炉是一种新型的单晶硅生长炉，它利用线圈将原料硅棒局部加热熔化，熔区依靠熔硅的表面张力和加热线圈提供的磁托浮力而处于悬浮态，然后从熔区下方利用旋转着的籽晶将熔硅拉制成单晶硅。悬浮区熔时，熔区呈悬浮状态，不与任何物质相接触，因而不会被沾污。此外，由于硅中杂质的分凝效应和蒸发效应，可以获得高纯硅单晶。由于区熔生长法的特殊性，到目前区熔单晶炉自动长晶工艺尚不成熟，区熔硅单晶生长的过程中，需要拉晶人员根据熔区状态进行功率、生长速度和转速等工艺参数的调整，这要求区熔炉提供一个拉晶人员便于观察的观察窗口。由于区熔炉炉内充满保护气体或掺杂气体，绝对压力达到5bar以上，这对观察窗口的密封性、安全性都提出了很高的要求:掺杂气体泄漏、观察窗口玻璃破碎等都将严重威胁拉晶人员人身安全。传统的晶体生长炉观察窗口中，最典型的是直拉硅单晶炉以及多晶硅铸锭炉观察窗口。中国专利CN 201648563U公开了一种镀金隔热单晶炉视窗，采用双层玻璃结构:内层玻璃为石英玻璃，外层玻璃采用镀金玻璃隔热，中间为空气。这种结构主要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改进的区熔炉观察窗口，包括窗口玻璃，其特征在于，所述区熔炉观察窗口还包括压板和垫片；所述压板包括内层玻璃压板、中层玻璃压板和外层玻璃压板，窗口玻璃包括内层玻璃、中层玻璃和外层玻璃；外层玻璃固定在中层玻璃压板和外层玻璃压板之间，中层玻璃固定在内层玻璃压板和中层玻璃压板之间，内层玻璃固定在内层玻璃压板和外层玻璃压板之间，垫片安装于压板和窗口玻璃之间；中层玻璃压板上有进水口和出水口。

【技术特征摘要】
1.一种改进的区熔炉观察窗口，包括窗口玻璃，其特征在于，所述区熔炉观察窗口还包括压板和垫片；所述压板包括内层玻璃压板、中层玻璃压板和外层玻璃压板，窗口玻璃包括内层玻璃、中层玻璃和外层玻璃；外层玻璃固定在中层玻璃压板和外层玻璃压板之间，中层玻璃固定在内层玻璃压板和中层玻璃压板之间，内层玻璃固定在内层玻璃压板和外层玻璃压板之间，垫片安装于压板和窗口玻璃之间；中层玻璃压板上有进水口和出水口。2.根据权利要求1所述的区熔炉观察窗口，其特征在于，所述内层玻璃压板通过焊接或者螺钉固定到炉体上，中层玻璃压板通过螺钉固定在内层玻璃压板上，外层玻璃压板通过螺钉固定在中层玻璃压板上。3.根据权利要求1所述的区熔炉观察窗口，其特征在于，所述进水口位于中层玻璃压板的下方，出水口位于中层玻璃压板的上方。4.根据权利要求1所述的区熔炉观察窗口，其特征在于，所述压板为环状结构，且至少具有一个沉肩。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳鹏根，傅林坚，曹建伟，石刚，陈明杰，王丹涛，邱敏秀，蒋庆良，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：实用新型
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