一种区熔炉轴承仓制造技术

本实用新型专利技术涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种区熔炉轴承仓。包括轴承仓体、安装于轴承仓体内部的轴承仓密封套；轴承仓体与轴承仓密封套之间自上而下安装有轴承仓防尘端盖、轴承仓盖板、骨架密封安装架、骨架密封盖板、角接触轴承、轴承隔套、深沟球轴承、带轮隔套和带轮。本实用新型专利技术实现了在主轴上下运动的时候，与主轴的同步转动，聚四氟套使主轴上下运动更加平稳，各类密封圈与密封结构组成了一密封性能良好的系统，轴承仓设计的整体式安装使安装十分方便灵活。通过带轮能够带动轴承内圈和轴承仓密封套与主轴同步转动，使主轴与轴承仓密封套密封更加简单，更加有效。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种非金属晶体的制造设备，尤其涉及一种区熔炉轴承仓。
技术介绍
区熔炉是一种新型的单晶硅生长炉，它利用通电线圈将原料硅棒局部加热熔化，熔区依靠熔硅的表面张力和加热线圈提供的磁托浮力而处于悬浮态，然后从熔区下方利用旋转着的籽晶将熔硅拉制成单晶硅。区熔炉生长的单晶硅产品纯度高，各项性能好。单晶硅作为现代信息社会的关键支持材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电和半导体行业中的主要功能材料。轴承仓的作用如下在拉制单晶的时候，主轴需保持稳定的旋转，轴承仓里安装了各种轴承，其结构设计与材料选择可以使主轴稳定的旋转，且各密封结构为区熔炉炉室提 供良好的密封性，整体式安装使拆装、维修等更加方便。通常所用的区熔炉轴承仓结构太简单，只使用一对角接触轴承，采用普通O型圈密封，不带防尘圈，适用压力较低，洁净度低；也有部分轴承仓结构太过复杂，导致安装不便，成本高，效果也不甚理想。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种区熔炉轴承仓，在区熔炉拉制单晶的时候，使主轴既能保证稳定地转动，又能保证良好的密封，使拉出的晶体品质更好，效率更高。本技术是这样实现的提供一种区熔炉轴承仓，包括轴承仓体，还包括安装于轴承仓体内部的轴承仓密封套；轴承仓体与轴承仓密封套之间自上而下安装有轴承仓防尘端盖、轴承仓盖板、骨架密封安装架、骨架密封盖板、角接触轴承、轴承隔套、深沟球轴承、带轮隔套和带轮。作为一种改进，所述轴承仓密封套与主轴为间隙配合，间隙为O. 12 O. 18mm。作为一种改进，所述轴承仓密封套内上下分别安装聚四氟套，与主轴配合为过渡配合，为轴上下运动提供导向作用。聚四氟套具有低摩擦系数、耐磨、耐化学腐蚀、密封性良好、自润滑好、不水解、不变硬等优良性能，可以长期使用。作为一种改进，所述轴承仓安装有一个深沟球轴承，通过轴承隔套和带轮隔套固定轴承内圈，不承受轴向力。作为一种改进，所述轴承仓安装有一对精密角接触轴承，可以承受双向作用力，其固定方式为利用轴承仓体的凸肩固定轴承外圈，利用轴承仓密封套凸肩和轴承隔套固定轴承内圈，以承受轴向力。作为一种改进，所述防尘圈安装于轴承仓防尘端盖上。作为一种改进，所述骨架密封安装架与轴承仓密封套之间设旋转密封圈。作为一种改进，所述轴承仓密封套与主轴间采用X型密封圈密封，非圆形截面，避免在往复运动时产生滚动。作为一种改进，所述骨架密封安装架与轴承仓体之间设O型密封圈。旋转密封采用泛塞封。泛塞封结构精巧，可安装于标准的O形环沟槽，非常洁净，不会污染制程，摩擦系数极低，即使在极低速应用亦非常平顺，毫无滞滑效应。相对于现有技术，本技术的有益效果在于本技术实现了在主轴上下运动的时候，与主轴的同步转动，聚四氟套使主轴上下运动更加平稳，各类密封圈与密封结构组成了一密封性能良好的系统，轴承仓设计的整体式安装使安装十分方便灵活。通过带轮能够带动轴承内圈和轴承仓密封套与主轴同步转动，使主轴与轴承仓密封套密封更加简单，更加有效。附图说明图I为本技术轴承仓结构示意图； 图2为轴向剖视图； 图3为图I的俯视示意图。图中1轴承仓防尘端盖、2轴承仓盖板、3骨架密封安装架、4骨架密封盖板、5角接触轴承、6轴承隔套、7深沟球轴承、8带轮隔套、9带轮、10、聚四氟套、11轴承仓体、12轴承仓密封套、13X型密封圈、14旋转密封圈、150型密封圈、16防尘圈。 具体实施方式参见图I至3，该区熔炉轴承仓包括轴承仓防尘端盖I、轴承仓盖板2、骨架密封安装架3、骨架密封盖板4、角接触轴承5、轴承隔套6、深沟球轴承7、带轮隔套8、带轮9、聚四氟套10、轴承仓体11、轴承仓密封套12、X型密封圈13、旋转密封圈14、0型密封圈15、防尘圈16。防尘圈16安装于轴承仓防尘端盖I上，轴承仓密封套12安装于轴承仓体11内部，轴承仓体11与轴承仓密封套12之间自上而下安装有轴承仓防尘端盖I、轴承仓盖板2、骨架密封安装架3、骨架密封盖板4、角接触轴承5、轴承隔套6、深沟球轴承7、带轮隔套8和带轮9，轴承仓密封套12内部安装有聚四氟套10。轴承仓密封套12与主轴采用间隙配合，间隙约O. 12 O. 18mm,使主轴更容易安装，轴承仓密封套12内上下各安装有聚四氟套10，与主轴配合为过渡配合，为轴上下运动提供导向作用。轴承仓内安装成对角接触轴承5，可以承受双向作用力，其固定利用轴承仓体11的凸肩固定轴承外圈，轴承密封套12凸肩和轴承隔套6固定轴承内圈，以承受轴向力；下端深沟球轴承7采用轴承隔套6与带轮隔套8固定轴承内圈，不承受轴向力。本技术是这样工作的参见图3，主轴转动时，驱动主轴旋转的机构也驱动带轮9旋转,带轮9再带动轴承仓密封套12旋转,实现与主轴的同步转动,主轴上下运动时，聚四氟套10提供导向与摩擦作用，4道X型密封圈13提供良好的密封性。权利要求1.一种区熔炉轴承仓，包括轴承仓体，其特征在于，还包括安装于轴承仓体内部的轴承仓密封套；轴承仓体与轴承仓密封套之间自上而下安装有轴承仓防尘端盖，轴承仓盖板，骨架密封安装架、骨架密封盖板、角接触轴承、轴承隔套、深沟球轴承、带轮隔套和带轮。2.根据权利要求I所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述轴承仓密封套与主轴为间隙配合，间隙为0. 12 0. 18mm。3.根据权利要求I所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述轴承仓密封套内上下分别安装聚四氟套，与主轴配合为过渡配合。4.根据权利要求I所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述深沟球轴承通过轴承隔套和带轮隔套固定轴承内圈。5.根据权利要求I所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述角接触轴承有两对，其固定方式为利用轴承仓体的凸肩固定轴承外圈，利用轴承仓密封套凸肩和轴承隔套固定轴承内圈。6.根据权利要求I至5任意一项中所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述轴承仓防尘端盖内还安装有防尘圈。7.根据权利要求I至5任意一项中所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述骨架密封安装架与轴承仓密封套之间设旋转密封圈。8.根据权利要求I至5任意一项中所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述轴承仓密封套与主轴间采用X型密封圈密封。9.根据权利要求I至5任意一项中所述的区熔炉轴承仓，其特征在于，所述骨架密封安装架与轴承仓体之间设O型密封圈。专利摘要本技术涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种区熔炉轴承仓。包括轴承仓体、安装于轴承仓体内部的轴承仓密封套；轴承仓体与轴承仓密封套之间自上而下安装有轴承仓防尘端盖、轴承仓盖板、骨架密封安装架、骨架密封盖板、角接触轴承、轴承隔套、深沟球轴承、带轮隔套和带轮。本技术实现了在主轴上下运动的时候，与主轴的同步转动，聚四氟套使主轴上下运动更加平稳，各类密封圈与密封结构组成了一密封性能良好的系统，轴承仓设计的整体式安装使安装十分方便灵活。通过带轮能够带动轴承内圈和轴承仓密封套与主轴同步转动，使主轴与轴承仓密封套密封更加简单，更加有效。文档编号C30B13/00GK202576637SQ20122004066公开日2012年12月5日 申请日期2012年2月8日 优先权日2012年2月8日专利技术者石刚, 欧阳鹏根, 曹建伟, 傅林坚, 陈明杰, 王丹涛, 邱敏秀, 蒋庆良 申请人:浙江本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种区熔炉轴承仓，包括轴承仓体，其特征在于，还包括安装于轴承仓体内部的轴承仓密封套；轴承仓体与轴承仓密封套之间自上而下安装有轴承仓防尘端盖，轴承仓盖板，骨架密封安装架、骨架密封盖板、角接触轴承、轴承隔套、深沟球轴承、带轮隔套和带轮。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：石刚，欧阳鹏根，曹建伟，傅林坚，陈明杰，王丹涛，邱敏秀，蒋庆良，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：