【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶体生长，尤其是指一种晶体生长炉。
技术介绍
1、晶体生长技术是利用物质(液态、固态、气态)的物理化学性质控制相变过程，获得具有一定结构、尺寸、形状和性能的晶体的技术。
2、晶体生长炉是一种用于晶体生长培育工作的专业装置，其目的是为了通过环境调控的方式，给晶体生长提供必要条件，并提升晶体生长的速度。
3、现有的晶体生长炉，往往是通过直拉法制备单晶硅棒。直拉法制备单晶硅棒主要将原料多晶硅填入石英坩埚中，利用加热器对石英坩埚加热，以使石英坩埚中的原料多晶硅熔化为硅熔体，将籽晶(单晶)浸入硅熔体中，利用提拉系统边旋转边拉动籽晶，使硅熔体沿着拉动方向生长，从而获得满足直径和长度需求的晶棒。
4、在长晶的实际操作过程中，晶棒会同时进行上升和旋转两个运动，因此容易发生共振而导致晶棒在晶体生长炉中震荡，进而影响晶棒的生长品质和加工效率。
5、现有的晶体生长炉在提拉各种形状的晶棒时可能存在晶棒与提拉系统连接不稳的问题，从而影响晶棒的生长稳定性，进而影响加工效率。
技术实现思路
1、为了解决现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种加工效率较高的晶体生长炉。
2、为实现上述目的，本申请采用如下的技术方案：
3、一种晶体生长炉，该晶体生长炉用于生产晶棒。晶体生长炉包括炉体、提拉轴和夹持装置，提拉轴至少部分位于炉体内，提拉轴具有绕自身轴线的转动自由度以及沿提拉轴轴向的移动自由度，提拉轴用于提拉晶棒；夹持装置至少部分位于炉体内
4、进一步地，夹持组件通过一枢转轴转动连接至装置本体；夹持组件上设置有容纳枢转轴的滑动槽，滑动槽与枢转轴滑动连接。
5、进一步地，定义一个垂直于晶体生长炉高度方向的基准面，装置本体包括穿设平面以及围绕穿设平面形成的环形表面，穿设平面与基准面所成的夹角大于等于0°且小于等于30°；推动件穿设于穿设平面，推动件相对穿设平面移动以形成第一位置和第二位置，第一位置高于第二位置；当夹持组件夹持晶棒时，推动件处于第一位置，夹持组件与环形表面抵接；当夹持组件未夹持晶棒时，推动件处于第二位置，或推动件处于第一位置和第二位置之间的任一位置，夹持组件与推动件抵接。
6、进一步地，环形表面上开设有第一通孔，夹持组件至少部分穿过第一通孔后与晶棒连接或分离。
7、进一步地，装置本体内形成有容纳空间，推动件至少部分位于容纳空间中，装置本体的侧面开设有第二通孔，当夹持组件未夹持晶棒时，夹持组件至少部分穿过第二通孔后与推动件抵接。
8、进一步地，夹持装置还包括与装置本体连接的提拉管道，提拉管道至少部分位于装置本体的上侧，提拉轴至少部分位于提拉管道中，提拉轴上设置有限位件，限位件和提拉轴转动连接，限位件包括位于提拉管道中的收纳状态以及位于提拉管道外的展开状态，当夹持组件夹持晶棒时，限位件处于展开状态，且限位件抵接至装置本体。
9、进一步地，提拉轴靠近晶棒处至少部分沿提拉轴径向延伸以形成有凸台部，当限位件处于展开状态时，限位件还和凸台部抵接，以使限位件保持水平。
10、进一步地，提拉轴靠近晶棒处至少部分沿提拉轴径向延伸以形成有凸台部，提拉轴还包括弹性部件，弹性部件的两端分别连接限位件的下侧和凸台部，凸台部连接弹性部件的表面为斜面，在限位件处于展开状态的情况下，弹性部件处于初始状态；晶体生长炉还包括判断单元和偏转感应单元，偏转感应单元位于限位件上，判断单元和偏转感应单元电连接；判断单元根据偏转感应单元检测的限位件的偏转角度，以检测提拉轴的倾斜程度，以判断夹持装置对晶棒的夹持稳定性。
11、进一步地，晶体生长炉还包括稳定件，稳定件分别连接提拉轴和限位件的上侧，当限位件处于展开状态时，稳定件沿一直线延伸，以使限位件维持展开状态。
12、进一步地，晶体生长炉还包括重量感应单元，重量感应单元位于提拉轴和晶棒的连接处，重量感应单元还与判断单元电连接。
13、上述晶体生长炉的提拉轴可以通过推动件和夹持组件的相互配合，提高晶棒生产过程中的夹持稳定性且方便生产完成后的脱离，提高了晶棒的生长稳定性，进而提升了晶棒的生长品质和生产加工效率。
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1.一种晶体生长炉，用于生产晶棒，其特征在于，所述晶体生长炉包括：
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述环形表面上开设有第一通孔，所述夹持组件至少部分穿过所述第一通孔后与所述晶棒连接或分离。
5.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述装置本体内形成有容纳空间，所述推动件至少部分位于所述容纳空间中，所述装置本体的侧面开设有第二通孔，当所述夹持组件未夹持所述晶棒时，所述夹持组件至少部分穿过所述第二通孔后与所述推动件抵接。
6.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述夹持装置还包括与所述装置本体连接的提拉管道，所述提拉管道至少部分位于所述装置本体的上侧，所述提拉轴至少部分位于所述提拉管道中，所述提拉轴上设置有限位件，所述限位件和所述提拉轴转动连接，所述限位件包括位于所述提拉管道中的收纳状态以及位于所述提拉管道外的展开状态，当所述夹持组件夹持所述晶棒时，所述限位件处于所述展开状态，且所述限位件抵接
7.根据权利要求6所述的晶体生长炉，其特征在于，所述提拉轴靠近所述晶棒处至少部分沿所述提拉轴径向延伸以形成有凸台部，当所述限位件处于所述展开状态时，所述限位件还和所述凸台部抵接，以使所述限位件保持水平。
8.根据权利要求6所述的晶体生长炉，其特征在于，所述提拉轴靠近所述晶棒处至少部分沿所述提拉轴径向延伸以形成有凸台部，所述提拉轴还包括弹性部件，所述弹性部件的两端分别连接所述限位件的下侧和所述凸台部，所述凸台部连接所述弹性部件的表面为斜面，在所述限位件处于所述展开状态的情况下，所述弹性部件处于初始状态；
9.根据权利要求8所述的晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉还包括稳定件，所述稳定件分别连接所述提拉轴和所述限位件的上侧，当所述限位件处于所述展开状态时，所述稳定件沿一直线延伸，以使所述限位件维持所述展开状态。
10.根据权利要求8所述的晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉还包括重量感应单元，所述重量感应单元位于所述提拉轴和所述晶棒的连接处，所述重量感应单元还与所述判断单元电连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉，用于生产晶棒，其特征在于，所述晶体生长炉包括：
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述环形表面上开设有第一通孔，所述夹持组件至少部分穿过所述第一通孔后与所述晶棒连接或分离。
5.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述装置本体内形成有容纳空间，所述推动件至少部分位于所述容纳空间中，所述装置本体的侧面开设有第二通孔，当所述夹持组件未夹持所述晶棒时，所述夹持组件至少部分穿过所述第二通孔后与所述推动件抵接。
6.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述夹持装置还包括与所述装置本体连接的提拉管道，所述提拉管道至少部分位于所述装置本体的上侧，所述提拉轴至少部分位于所述提拉管道中，所述提拉轴上设置有限位件，所述限位件和所述提拉轴转动连接，所述限位件包括位于所述提拉管道中的收纳状态以及位于所述提拉管道外的展开状态，当所述夹持组件夹持所述晶棒时，所述限位件处于所述展开状态，...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，高宇，冯贤剑，倪军夫，阮文星，徐馨，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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