一种组合电极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电解蚀刻设备中用的一种组合电极，包括电极本体，所述电极本体上具有若干个出液通道，出液通道的出口设在电极本体的上表面，所述电极本体的上部装有若干个卡条，所述卡条的顶面高于电极本体的上表面。本实用新型专利技术能保持被电解蚀刻板下表面与电极上表面之间的间隙恒定、导电效果好。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种组合电极，包括电极本体（1），其特征在于：a、所述电极本体（1）上具有若干个出液通道（1？2），出液通道（1？2）的出口设在电极本体（1）的上表面，b、所述电极本体（1）的上部装有若干个卡条（6），所述卡条（6）的顶面高于电极本体（1）的上表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周丁政，
申请(专利权)人：常州正成机电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：