一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种籽晶夹持器，旨在提供一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器。该籽晶夹持器包括柱状的籽晶夹头本体，其底部开有向内的空腔；在籽晶夹头本体的上部沿轴向开有一个缺口，该缺口具有两个相交的轴向切割面；该籽晶夹持器还包括一个籽晶夹头滑块。本实用新型专利技术通过调整籽晶夹头调整螺钉，可以改变籽晶夹头本体与籽晶夹头滑块间的中心距，从而达到夹紧或松开籽晶的目的；夹持机构可夹持各种尺寸籽晶，只需将籽晶尾部加工成长方体即可；且籽晶与夹持机构为面接触，夹持牢固，不会产生晃动和应力集中；通过改变籽晶夹头滑块与籽晶夹头本体的相对高度，可以调整籽晶固定高度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种籽晶夹持器，特别是一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器。
技术介绍
区熔法拉制硅单晶是通过在氩气气氛或掺杂气体气氛中用高频加热线圈对多晶硅料进行加热，使其熔融后与下方的籽晶接触，按籽晶晶向结构生长成高纯度硅单晶的方法。籽晶是一种具有特定晶向的硅单晶体，一般为细长的长方体。在区熔硅单晶生长过程中，籽晶必须很好地固定，且在拉晶开始阶段需对长出的单晶起到支撑作用，因此必须要有一个可靠的籽晶夹持机构，以保证硅单晶生长过程的顺利进行。 传统的籽晶夹持机构一般由籽晶夹持器本体和金属丝两部分构成。籽晶夹持器本体为一圆柱体，上半部分垂直切去1/4圆柱，形成一直角缺口。圆柱体上开有多个细槽，安装籽晶时，将长方体籽晶的直角面与籽晶夹持器本体的直角面相配合，然后用金属丝将两者固定在一起，金属丝缠绕时沿圆柱体上的细槽，起到防止滑动的作用。这种籽晶夹持机构由于用金属丝固定籽晶，籽晶与金属丝之间为点接触，籽晶受力不均匀，容易晃动或造成断裂，且金属丝缠绕麻烦，跟换籽晶不方便。中国技术专利CN 201605348 U公开了一种籽晶夹持机构它由籽晶夹持器主体和与籽晶夹持器主体相配合的紧固套组成，籽晶夹持器主体包括上部圆锥体和下部基座，下部基座圆柱体，外部开有螺纹，紧固套内部开有与夹持器下部基座外部螺纹相匹配的螺纹。利用紧固套使夹持部分安放籽晶的空腔收缩，达到夹紧籽晶的目的。这种夹持机构只能夹持一定尺寸的籽晶，且籽晶夹持高度不能调整。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器。这种夹持器可以夹持多种大小籽晶，且操作方便，同时克服了传统籽晶夹持机构应力集中的问题。为解决技术问题，本技术的技术方案为提供一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括柱状的籽晶夹头本体，其底部开有向内的空腔；在籽晶夹头本体的上部沿轴向开有一个缺口，该缺口具有两个相交的轴向切割面；该籽晶夹持器还包括一个籽晶夹头滑块，具有下述结构中的任意一种(I)籽晶夹头滑块呈条状，具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿长度方向开有缺口，该缺口具有两个相交的切割面，各切割面分别与一个侧面相交；该籽晶夹持器还包括一个套筒，所述籽晶夹头本体和籽晶夹头滑块均位于套筒内部，籽晶夹头滑块置于籽晶夹头本体的缺口内，且籽晶夹头滑块的缺口与籽晶夹头本体的缺口相对；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的套筒上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿套筒壁设置；或者，(2)籽晶夹头滑块的外形呈柱状，其内部开设轴向的通孔，所述籽晶夹头本体贯穿于通孔内；沿通孔内壁的轴向设有凸台，凸台具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿轴向开设有缺口，该缺口具有两个相交的切割面，各切割面分别与一个侧面相交；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的籽晶夹头滑块的壁上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿籽晶夹头滑块的壁设置。作为一种改进，所述籽晶夹头本体的缺口的两个轴向切割面是垂直相交的；所述籽晶夹头滑块两个侧面是相互垂直的；所述籽晶夹头滑块的缺口的切割面是垂直相交的；所述籽晶夹头滑块的缺口的切割面与两个侧面之间是垂直相交的。作为一种改进，所述的籽晶夹头本体呈圆柱状；所述籽晶夹头本体的缺口的截面呈扇形，其最大半径为籽晶夹头本体横截面直径的1/2 3/5。作为一种改进，所述籽晶夹头滑块的中心线，籽晶夹头调整螺钉的中心线和籽晶 夹头本体的中心线位于同一平面内。作为一种改进，所述籽晶夹头本体底部的空腔是沿轴向开设的，该空腔呈圆柱形或锥形。空腔可以和区熔炉下轴内轴顶端紧密配合。本技术有益效果是通过调整籽晶夹头调整螺钉，可以改变籽晶夹头本体与籽晶夹头滑块间的中心距，从而达到夹紧或松开籽晶的目的。夹持机构可夹持各种尺寸籽晶，只需将籽晶尾部加工成长方体即可。且籽晶与夹持机构为面接触，夹持牢固，不会产生晃动和应力集中。通过改变籽晶夹头滑块与籽晶夹头本体的相对高度，可以调整籽晶固定高度。附图说明图1为籽晶夹持机构剖视图；图2为籽晶夹持机构等轴视图；图3为籽晶夹持机构截面图。附图标记1籽晶夹头本体；2籽晶夹头滑块；3籽晶夹头调整螺钉；4籽晶。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步描述。用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括圆柱状的籽晶夹头本体1，其底部开有向内的空腔；空腔是沿轴向开设的，该空腔呈圆柱形或锥形。空腔可以和区熔炉下轴内轴顶端紧密配合。在籽晶夹头本体I的上部沿轴向开有一个缺口，该缺口具有两个垂直相交的轴向切割面；因籽晶夹头本体呈圆柱状，故籽晶夹头本体的缺口的截面呈扇形；扇形缺口最大半径为籽晶夹头本体横截面直径的1/2 3/5。该籽晶夹持器还包括籽晶夹头滑块2，其外形呈圆柱状，其内部开设轴向的通孔，籽晶夹头本体I贯穿于通孔内；沿通孔内壁的轴向设有凸台，凸台具有两个相互垂直的侧面；在两个侧面的交汇处沿轴向开设有缺口，该缺口具有两个垂直相交的切割面，各切割面分别与一个侧面垂直相交；在与籽晶夹头本体I的缺口后侧相对应的籽晶夹头滑块2上设有籽晶夹头调整螺钉3，籽晶夹头调整螺钉3贯穿籽晶夹头滑块2的壁设置。在夹持前，对籽晶4进行加工，使其尾部呈长方体。夹持时，将籽晶4的直角面与籽晶夹头本体I的直角面贴紧，然后调整籽晶夹头调整螺钉3，改变籽晶夹头滑块2与籽晶夹头本体I的中心距，直至籽晶4的另一直角面与籽晶夹头滑块2缺口直角面紧贴，籽晶4固定完成。此时，籽晶夹头滑块2的中心线、籽晶夹头调整螺钉3的中心线和籽晶夹头本体I的中心线位于同一平面内。当然，本技术还可以有另一种变形，将籽晶夹头滑块2分成两个部分，一个用于固定呈条状，另一个用于夹持成为单独的套筒此时，条状的籽晶夹头滑块具有两个相互垂直的侧面；在两个侧面的交汇处沿长度方向开有缺口，该缺口具有两 个垂直相交的切割面，各切割面分别与一个侧面垂直相交；该籽晶夹持器还包括一个套筒，所述籽晶夹头本体和籽晶夹头滑块均位于套筒内部，籽晶夹头滑块置于籽晶夹头本体的缺口内，且籽晶夹头滑块的缺口与籽晶夹头本体的缺口相对；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的套筒上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿套筒壁设置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括柱状的籽晶夹头本体，其底部开有向内的空腔；其特征在于，在籽晶夹头本体的上部沿轴向开有一个缺口，该缺口具有两个相交的轴向切割面；该籽晶夹持器还包括一个籽晶夹头滑块，具有下述结构中的任意一种：（1）籽晶夹头滑块呈条状，具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿长度方向开有缺口，该缺口具有两个相交的切割面，各切割面分别与一个侧面相交；该籽晶夹持器还包括一个套筒，所述籽晶夹头本体和籽晶夹头滑块均位于套筒内部，籽晶夹头滑块置于籽晶夹头本体的缺口内，且籽晶夹头滑块的缺口与籽晶夹头本体的缺口相对；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的套筒上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿套筒壁设置；或者，（2）籽晶夹头滑块的外形呈柱状，其内部开设轴向的通孔，所述籽晶夹头本体贯穿于通孔内；沿通孔内壁的轴向设有凸台，凸台具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿轴向开设有缺口，该缺口具有两个相交的切割面，各切割面分别与一个侧面相交；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的籽晶夹头滑块的壁上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿籽晶夹头滑块的壁设置。

【技术特征摘要】
1.一种用于区熔法生长硅单晶的籽晶夹持器，包括柱状的籽晶夹头本体，其底部开有向内的空腔；其特征在于，在籽晶夹头本体的上部沿轴向开有一个缺口，该缺口具有两个相交的轴向切割面；该籽晶夹持器还包括一个籽晶夹头滑块，具有下述结构中的任意一种(1)籽晶夹头滑块呈条状，具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿长度方向开有缺口， 该缺口具有两个相交的切割面，各切割面分别与一个侧面相交；该籽晶夹持器还包括一个套筒，所述籽晶夹头本体和籽晶夹头滑块均位于套筒内部，籽晶夹头滑块置于籽晶夹头本体的缺口内，且籽晶夹头滑块的缺口与籽晶夹头本体的缺口相对；在与籽晶夹头本体的缺口后侧相对应的套筒上设有籽晶夹头调整螺钉，籽晶夹头调整螺钉贯穿套筒壁设置；或者，(2)籽晶夹头滑块的外形呈柱状，其内部开设轴向的通孔，所述籽晶夹头本体贯穿于通孔内；沿通孔内壁的轴向设有凸台，凸台具有两个侧面；在两个侧面的交汇处沿轴向开设有缺口，该缺口具有两个相交的...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，曹建伟，王丹涛，陈明杰，石刚，欧阳鹏根，邱敏秀，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：