【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的第一方案涉及半导体元件表面保护膜或层间绝缘膜用的感光性树脂组合物。具体而言，本专利技术涉及半导体元件等的表面保护膜(缓冲涂膜)或层间绝缘膜(钝化膜)等的浮雕图案形成材料、使用该浮雕图案形成材料的浮雕图案的制造方法、以及具有该浮雕图案的半导体装置。本专利技术的第二方案涉及对于形成半导体装置中的表面保护膜或层间绝缘膜等而言有用的酚醛树脂组合物、使用该组合物的高耐热性的固化浮雕图案的制造方法以及具有该固化浮雕图案的半导体装置。
技术介绍
一直以来，半导体装置的表面保护膜和层间绝缘膜广泛使用兼具优异的耐热性、电特性、机械特性等的聚酰亚胺树脂或聚苯并噁唑树脂。由于这些树脂在各种溶剂中的溶解性低，因此通常以前体形式溶解在溶剂中形成组合物来使用。因此，使用时必需使前体闭环的工序。该闭环工序通常通过加热到300°C以上的热固化来进行。但是，近年来与以往产品相比耐热性差的半导体装置得到开发，对于表面保护膜或层间绝缘膜的形成材料也要求热固化温度的降低，特别是要求250°C以下时的热固化性的情况增多。对于上述要求，以下的专利文献I和2中提出了使用无需闭环工序，成本、感光性能优异、在抗蚀剂领域中广泛用作基础树脂的通过酚类与醛类缩合而得到的酚醛树脂，和用于改善该酚醛树脂的耐热冲击 性的交联性微粒或核壳聚合物的材料。另外，以下的专利文献3中，为了改善酚醛树脂的耐热冲击性，还提出了合成酚醛树脂时，使用选自由α，α 二卤代二甲苯化合物、α，α 二羟基二甲苯化合物和α, α 二烷氧基二甲苯化合物组成的组中的至少一种取代二甲苯化合物来替代醛类化合物，使其与酚类化合物缩合而得到的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.15 JP 2010-206427;2010.11.17 JP 2010-257001.一种半导体元件表面保护膜或层间绝缘膜用的感光性树脂组合物，其在溶剂中含有以下成分: 主链中具有联苯二基结构的酚醛树脂(A):100质量份； 光产酸剂⑶:1 30质量份；以及 通过由所述光产酸剂(B)产生的酸或者通过热，能够与所述(A)成分反应的化合物(C):1 60质量份。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述酚醛树脂(A)含有下述通式(I)所示的重复单元:3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述酚醛树脂(A)的重复单元的重复单元数为8以上且100以下。4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述光产酸剂(B)为酚类化合物与1，2-萘醌-2-重氮基-5-磺酸或1，2-萘醌-2-重氮基-4-磺酸的酯化物。5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述光产酸剂(B)...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木隆弘，李军，
申请(专利权)人：旭化成电子材料株式会社，
类型：
国别省市：
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